【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的观察窗
[0001]本技术属于真空
，特别涉及一种用于真空镀膜机的观察窗。
技术介绍
[0002]近年来，真空镀膜技术在光学、电子、新能源储能、半导体等领域的产品制备中发挥着越来越重要的作用。在真空镀膜过程中，往往需要通过真空镀膜机上的观察窗来观察真空室内的镀膜工作情况，然而在镀膜过程中，膜材易于附着在观察窗上造成视界污染，从而影响观察窗的观察使用。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种用于真空镀膜机的观察窗，主要包括座体、窗玻璃、压盖和保护装置；座体设置在真空镀膜机的真空室壁上或镀膜机门上，并通过焊接固定，座体内腔与真空室相通；窗玻璃安装在座体内腔的一端，并通过压盖压紧；保护装置包括旋转体和手柄转动机构；保护装置可通过旋转体的旋转对窗玻璃起到屏蔽镀膜污染的作用。
[0004]窗玻璃的材质为选自石英玻璃、耐热玻璃和钢化玻璃中的一种，在窗玻璃与座体之间还设置有密封胶圈。
[0005]座体内腔为圆柱形或圆台形；保护装置的旋转体设置在座体内腔中。旋转体为球状，旋转体的外缘与座体内腔相切；旋转体可在手柄转动机构的驱动下在座体内腔内旋转，旋转体的旋转角度在0
°
至90
°
；旋转体内设置有喇叭状的观察通道，观察通道贯穿旋转体。通过调节旋转体的旋转角度，还可以调节变换真空室内的观察区域。旋转体的旋转轴线与座体内腔的轴线相互垂直。
[0006]旋转体旋转到观察相位时，观察通道开口较小的一端处于窗玻璃的观察区域内，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的观察窗，主要包括座体、窗玻璃、压盖和保护装置，其特征在于：座体设置在真空镀膜机的真空室壁上或镀膜机门上，座体内腔与真空室相通；窗玻璃安装在座体内腔的一端，并通过压盖压紧；保护装置包括旋转体和手柄转动机构；保护装置可通过旋转体的旋转对窗玻璃起到屏蔽镀膜污染的作用。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：座体内腔为圆柱形或圆台形；保护装置的旋转体设置在座体内腔中。3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：窗玻璃的材质为选自石英玻璃、耐热玻璃和钢化玻璃中的一种，在窗玻璃与座体之间还设置有密封胶圈。4.根据权利要求2所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：旋转体为球状，旋转体的外缘与座体内腔相切；旋转体可在手柄转动机构的驱动下在座体内腔内旋转，旋转体的旋转角度在...
【专利技术属性】
技术研发人员：李成林，杜雪峰，郝明，
申请(专利权)人：泊肃叶科技沈阳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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