一种分体式的蒸发镀膜电极制造技术

本实用新型专利技术公开一种分体式的蒸发镀膜电极，主要包括电极块和电极载板；电极载板主要由底板构成；电极块的数量为2个以上，坐落在电极载板的底板上，构成电极块阵列；每个电极块上设置有1个以上的容腔，用于容纳蒸发镀膜用的膜材。蒸发电源给电极载板供电，电极载板通过底部接触给坐落在电极载板上的电极块供电，电极块通电后产生电阻热对容腔内的膜材进行加热熔融，使其达到蒸发的目的。蒸发镀膜电极还包括保温层，保温层设置在电极块阵列的两侧。该分体式的蒸发镀膜电极可降低由于工艺不稳定性对蒸发镀膜电极带来的整体脆裂以及膜材熔液腐蚀失效风险，延长蒸发镀膜电极服役时间。间。间。

A split evaporation coating electrode

【技术实现步骤摘要】
一种分体式的蒸发镀膜电极


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体涉及真空蒸发镀膜机中使用的一种分体式的蒸发镀膜电极。

技术介绍

[0002]真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中发展最早、应用最广的，在真空镀膜技术中处于相当重要的地位，在半导体、电子、平板显示、光学及储能等领域的薄膜产品生产中得到广泛应用。
[0003]在真空蒸发镀膜机中，蒸发镀膜电极由蒸发电源通电后产生电阻热获得高温来熔融膜材，使其达到蒸发的目的。在现有蒸发镀膜技术中，尤其是高熔点膜材的蒸发镀膜工艺中，蒸发镀膜电极的使用面临着两个技术难题：一是由于电极需要承载极高的电功率，温度的升高导致电极与其配套元件易发生形变脆裂；二是膜材稳定性难以控制，部分活性物质在熔化蒸发过程中极易发生喷溅进而腐蚀电极，从而导致电极损坏无法再利用。对于上述问题，现有技术一般采取延长加热时间的方式，降低功率突变造成的电极脆裂，但这样会大幅延长工艺时间，拖慢生产节奏；另外还通过采用电极表面涂层的形式，增加电极的抗腐蚀能力，但是经过2～3次工艺过程后就需要对电极重新进行涂层，无法耐久使用。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术提出一种分体式的蒸发镀膜电极，该蒸发镀膜电极可实现灵活组装拆卸，降低由于工艺不稳定性对蒸发镀膜电极带来的整体脆裂以及膜材熔液腐蚀失效风险，延长蒸发镀膜电极服役时间，还能应对不同工艺实现灵活的电极排布方式。
[0005]本技术的分体式的蒸发镀膜电极主要包括电极块和电极载板；电极载板主要由底板构成；电极块的数量为2个以上，坐落在电极载板的底板上，构成电极块阵列。每个电极块上设置有1个以上的容腔，用于容纳蒸发镀膜用的膜材。
[0006]在一种优选的实施方式中，电极载板还包括伸出端，伸出端上设置有接线端子，蒸发镀膜电极通过接线端子与蒸发电源相连；伸出端位于底板的两端。在另一种实施方式中，蒸发电源可以通过直接与电极载板相连给电极载板供电。
[0007]蒸发镀膜电极还包括保温层，保温层设置在电极块阵列的两侧。保温层的材质为选自陶瓷纤维保温棉、碳毡和耐高温陶瓷中的一种。保温层用于耐热隔温，提高对膜材加热的热效率，保证容腔内膜材的温度均匀性。
[0008]所述的分体式的蒸发镀膜电极通过采用分体式组合的形式，将原有的整体式蒸发镀膜电极分体成电极载板和多个电极块，通过灵活式组合形式，降低工艺温度聚集造成整体式电极结构性断裂发生的风险，同时多个电极块组合而成的电极块阵列形式可以使加热温度分布更为均匀，进而提升膜材的蒸发稳定性，使薄膜产品质量大幅提升。
[0009]电极块阵列可由1列电极块组成，也可以由2列以上的电极块组成，在比较优选的
实施方式中，电极块阵列包括2
‑
12个电极块。每个电极块上可以包括1个容腔，也可以设置有2
‑
12个容腔。
[0010]电极载板和电极块的材质均为选自石墨、钼和钨中的一种。
[0011]电极载板还包括2个端部挡板，端部挡板位于电极块阵列的两端；在电极载板上还包括1个以上的定位凸起或凹槽，定位凸起或凹槽设置在2个端部挡板之间。电极块的底部设置有与电极载板的定位凸起或凹槽形状互补的定位结构。定位凸起或凹槽用于对坐落在电极载板的底板上的电极块进行定位。
[0012]蒸发电源给电极载板供电，电极载板通过底部接触给坐落在电极载板上的电极块供电。电极块通电后产生电阻热对容腔内的膜材进行加热熔融，使其达到蒸发的目的。在一种优选的实施方式中，相邻的两个电极块之间设置有绝缘层，绝缘层为柔性材质。
[0013]相邻的两个电极块之间设置有0.1~3mm的间隙。电极块阵列的一端或两端与相邻的端部挡板之间设置有0.1~10mm的间隙。上述间隙是为电极块受热产生形变预留的，防止电极块之间或电极块与电极载板之间由于受热膨胀产生应力挤压而发生断裂。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]1. 分体式的蒸发镀膜电极通过采用分体式电极组合的形式，分体成电极载板和多个电极块，通过灵活式组合形式，降低工艺温度集中造成电极块断裂的风险，同时多个电极块组合的形式可使加热温度分布更为均匀，进而提升膜材的蒸发稳定性，使薄膜产品质量大幅提升。
[0016]2.在蒸发镀膜过程中，现有技术中的蒸发镀膜电极在遇到膜材喷溅腐蚀情况时产生局部失效，就要对整个蒸发镀膜电极进行更换。而本技术中的分体式蒸发镀膜电极采用多个电极块分体式组合的形式，当遇到上述情况时，只需要对产生缺陷失效的电极块进行更换即可，降低了蒸发镀膜生产成本。
附图说明
[0017]图1为本技术的分体式的蒸发镀膜电极的结构示意图。
[0018]图2为本技术的蒸发镀膜电极移除电极块后的结构示意图。
[0019]图3为本技术中的电极块的结构示意图。
具体实施方式
[0020]下面结合附图详细说明本技术的实施方式。
[0021]如图1和图2所示，在一种优选的实施方式中，本技术的分体式的蒸发镀膜电极主要包括电极块1、电极载板2、保温层3和接线端子4。电极载板2包括底板5和伸出端6，伸出端位于底板的两端；电极块的数量为2个以上，坐落在电极载板的底板上，构成电极块阵列；接线端子4安装在电极载板的伸出端6上，蒸发镀膜电极通过接线端子与蒸发电源相连。保温层3设置在电极块阵列的两侧。电极块数量为2
‑
12个；电极块上设置有1个以上的容腔。电极块阵列可由1列电极块组成，也可以由2列以上的电极块组成。每个电极块上可以包括1个容腔，也可以设置有2
‑
12个容腔，该容腔用于容纳蒸发镀膜用的膜材。图1所示的实施方式中，电极块阵列由1列电极块组成，该列电极块包括3个电极块，每个电极块设置有4个容腔。在其它的实施方式中，根据需要，电极块阵列还可以包括2
‑
4列电极块，每列可以包括2
‑
12个电极块，每个电极块可以设置1
‑
10个容腔。
[0022]通过采用分体式组合的形式，将原有的整体式蒸发镀膜电极分体成电极载板和多个电极块，通过灵活式组合形式，降低工艺温度聚集造成整体式电极结构性断裂发生的风险，同时多个电极块组合而成的电极块阵列形式可以使加热温度分布更为均匀，进而提升膜材的蒸发稳定性，使薄膜产品质量大幅提升。
[0023]电极载板和电极块可选取石墨、钼和钨等高熔点导电材料制成。
[0024]保温层的材质可选用陶瓷纤维保温棉、碳毡和氧化锆等耐高温陶瓷等材料制成。保温层用于耐热隔温，提高对膜材加热的热效率，保证容腔内膜材的温度均匀性。
[0025]如图2所示，电极载板还包括2个端部挡板7，端部挡板位于电极块阵列的两端；在电极载板上还包括1个以上的定位凸起8，定位凸起8设置在2个端部挡板之间。定位凸起用于对坐落在电极载板的底板上的电极块进行定位。如图3所示，电极块的底部设置有与定位凸起形状互补的槽状定位结构。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：该蒸发镀膜电极主要包括电极块和电极载板；电极载板主要由底板构成；电极块的数量为2个以上，坐落在电极载板的底板上，构成电极块阵列；电极块上设置有1个以上的容腔，用于容纳蒸发镀膜用的膜材。2.根据权利要求1所述的分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：电极载板还包括伸出端；伸出端上设置有接线端子，蒸发镀膜电极通过接线端子与蒸发电源相连。3.根据权利要求1所述的分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：电极载板和电极块的材质均为选自石墨、钼和钨中的一种。4.根据权利要求1所述的分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：蒸发镀膜电极还包括保温层，保温层设置在电极块阵列的两侧；保温层的材质为选自陶瓷纤维保温棉、碳毡和耐高温陶瓷中的一种。5.根据权利要求1所述的分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：电极载板还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成林，许靖，
申请(专利权)人：泊肃叶科技沈阳有限公司，
类型：新型
国别省市：