一种分体式的蒸发镀膜电极制造技术

本实用新型专利技术公开一种分体式的蒸发镀膜电极，主要包括电极块和电极载板；电极载板主要由底板构成；电极块的数量为2个以上，坐落在电极载板的底板上，构成电极块阵列；每个电极块上设置有1个以上的容腔，用于容纳蒸发镀膜用的膜材。蒸发电源给电极载板供电，电极载板通过底部接触给坐落在电极载板上的电极块供电，电极块通电后产生电阻热对容腔内的膜材进行加热熔融，使其达到蒸发的目的。蒸发镀膜电极还包括保温层，保温层设置在电极块阵列的两侧。该分体式的蒸发镀膜电极可降低由于工艺不稳定性对蒸发镀膜电极带来的整体脆裂以及膜材熔液腐蚀失效风险，延长蒸发镀膜电极服役时间。间。间。

A split evaporation coating electrode

【技术实现步骤摘要】
一种分体式的蒸发镀膜电极


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体涉及真空蒸发镀膜机中使用的一种分体式的蒸发镀膜电极。

技术介绍

[0002]真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中发展最早、应用最广的，在真空镀膜技术中处于相当重要的地位，在半导体、电子、平板显示、光学及储能等领域的薄膜产品生产中得到广泛应用。
[0003]在真空蒸发镀膜机中，蒸发镀膜电极由蒸发电源通电后产生电阻热获得高温来熔融膜材，使其达到蒸发的目的。在现有蒸发镀膜技术中，尤其是高熔点膜材的蒸发镀膜工艺中，蒸发镀膜电极的使用面临着两个技术难题：一是由于电极需要承载极高的电功率，温度的升高导致电极与其配套元件易发生形变脆裂；二是膜材稳定性难以控制，部分活性物质在熔化蒸发过程中极易发生喷溅进而腐蚀电极，从而导致电极损坏无法再利用。对于上述问题，现有技术一般采取延长加热时间的方式，降低功率突变造成的电极脆裂，但这样会大幅延长工艺时间，拖慢生产节奏；另外还通过采用电极表面涂层的形式，增加电极的抗腐蚀能力，但是经过2～3次工艺过程后就需要对电极重新进行涂层，无法耐久使用。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：该蒸发镀膜电极主要包括电极块和电极载板；电极载板主要由底板构成；电极块的数量为2个以上，坐落在电极载板的底板上，构成电极块阵列；电极块上设置有1个以上的容腔，用于容纳蒸发镀膜用的膜材。2.根据权利要求1所述的分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：电极载板还包括伸出端；伸出端上设置有接线端子，蒸发镀膜电极通过接线端子与蒸发电源相连。3.根据权利要求1所述的分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：电极载板和电极块的材质均为选自石墨、钼和钨中的一种。4.根据权利要求1所述的分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：蒸发镀膜电极还包括保温层，保温层设置在电极块阵列的两侧；保温层的材质为选自陶瓷纤维保温棉、碳毡和耐高温陶瓷中的一种。5.根据权利要求1所述的分体式的蒸发镀膜电极，其特征在于：电极载板还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成林，许靖，
申请(专利权)人：泊肃叶科技沈阳有限公司，
类型：新型
国别省市：