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本实用新型公开一种分体式的蒸发镀膜电极,主要包括电极块和电极载板;电极载板主要由底板构成;电极块的数量为2个以上,坐落在电极载板的底板上,构成电极块阵列;每个电极块上设置有1个以上的容腔,用于容纳蒸发镀膜用的膜材。蒸发电源给电极载板供电,电...该专利属于泊肃叶科技(沈阳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泊肃叶科技(沈阳)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种分体式的蒸发镀膜电极,主要包括电极块和电极载板;电极载板主要由底板构成;电极块的数量为2个以上,坐落在电极载板的底板上,构成电极块阵列;每个电极块上设置有1个以上的容腔,用于容纳蒸发镀膜用的膜材。蒸发电源给电极载板供电,电...