一种蒸镀坩埚及其取放装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部以及处于坩埚侧部内部的锅体，所述锅体的顶部预留有开口，并形成有出气口，用于气体的排出，所述锅体的内部放置有内置材料，所述锅体的底部设置有底座，所述锅体两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝，在锅体两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝；本发明专利技术设计具有吊环的蒸镀坩埚，同时设计一种取放装置，结构简单，易于制作，二者配合使用可解决现有在做保养或更换添加材料而人为操作导致的碰撞损坏侧部加热丝、加热丝固定块或坩埚的问题，同时也提高了作业效率，改善了长时间开腔导致的材料被污染或腔体氛围变差的而影响器件效果的问题。体氛围变差的而影响器件效果的问题。体氛围变差的而影响器件效果的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀坩埚及其取放装置


[0001]本专利技术属于蒸镀坩埚
，具体涉及一种蒸镀坩埚及其取放装置。

技术介绍

[0002]随着技术的进步，显示行业主流技术也从早期的LCD逐渐往OLED甚至Micro LED、QLED等方向发展，各种技术在市场中扮演着不同的角色，其中OLED由于其超薄柔性可折叠、广色域、宽视角等特性，成为当今中小尺寸手机屏最为主流的技术；目前量产OLED制备器件最主要采用蒸镀的方式，通过加热使有机材料升华或气化逸出，最终遇冷凝结沉积在玻璃基板上，形成所需要的功能膜层，不同功能膜层搭配最终在电流的驱动下发出肉眼可见的颜色。当前阴极金属层普遍采用点源坩埚进行蒸镀，其是设备保养、添加或更换材料作业过程中拆装最为频繁的组件；现有点源腔体内，由于为了为保证加热与保温效果，石墨制造的点源坩埚与腔体侧壁距离非常狭窄，通常坩埚与侧壁上的加热丝及加热丝固定环距离仅有不到1cm，侧面的加热丝通常为易脆性材质，作业人员在取放坩埚时需用手指深入坩埚出气口，在取放时必须小心翼翼保持垂直地上下，稍有不慎倾斜即会导致石墨坩埚撞坏侧壁的加热丝或固定环，甚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部（200）以及处于坩埚侧部（200）内部的锅体（100），所述锅体（100）的顶部预留有开口，并形成有出气口（101），所述锅体（100）的内部放置有内置材料（102），所述锅体（100）的底部设置有底座（205），其特征在于：所述锅体（100）两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝（203），在锅体（100）两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝（202），所述侧壁上侧加热丝（202）与侧壁下侧加热丝（203）之间设置有固定环（204），在所述坩埚侧部（200）的顶部开设有三个定位槽（301），在所述锅体（100）的顶部还固定有吊环口（314），所述吊环口（314）的顶部设置有保险扣（315）。2.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚及其取放装置，其特征在于：所述定位槽（301）围绕锅体（100）的中心呈等间距三角阵列排布。3.一种蒸镀坩埚的取放装置，包括与权1中坩埚侧部（200）连接的支撑组件，以及设置在支撑组件内侧的滑轮提升组件，其特征在于：所述支撑组件包括插入定位槽（301）中的主体支架（304），所述主体支架（304）的顶部设置有顶盖（307），所述顶盖（307）与主体支架（304）的连接处设置有连接螺栓（308），所述顶盖（307）的顶部安装有固定螺栓（306），所述顶盖（307）的底部设置有与固定螺栓（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：林志斌，林泽，吴晟远，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：