下载一种蒸镀坩埚及其取放装置的技术资料

文档序号:34079114

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本发明公开了一种蒸镀坩埚,包括坩埚侧部以及处于坩埚侧部内部的锅体,所述锅体的顶部预留有开口,并形成有出气口,用于气体的排出,所述锅体的内部放置有内置材料,所述锅体的底部设置有底座,所述锅体两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝,在锅体两侧顶...
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