【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀机的防着板固定结构
[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的防着板固定结构。
技术介绍
[0002]在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括设置在腔体下方的坩埚、以及设置在坩埚上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成薄膜(镀膜)。
[0003]但是，在此过程中，有很多汽化的蒸镀材料会镀膜到腔体内壁上。当腔体内壁上的镀膜层累积过多时，腔体内壁上的镀膜层材料会脱离形成颗粒释放到腔体中，从而污染被镀膜工件产品。因此，现有技术在腔体内壁上设置防着板(用于对蒸镀材料分子进行阻挡，以避免蒸镀材料分子接触到腔室的内壁以及蒸镀腔室内的机械结构的板子)，来防止蒸镀材料分子污染蒸镀腔室，然后定期或者不定期更换防着板，防止长时间使用后防着板上的镀膜层释放而污染被镀膜工件产品。
[0004]在现有技术中，防着板通过...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机的防着板固定结构，其特征在于，所述防着板固定结构包括防着板(1)和挂钩(2)，防着板(1)设置在真空蒸镀机的腔体内壁的内侧，挂钩(2)有多个，固定在真空蒸镀机的腔体内壁上，所述挂钩(2)包括杆体部(21)、凸出部(22)和端部(23)，凸出部(22)和端部(23)的直径大于杆体部(21)的直径，凸出部(22)与端部(23)之间具有间距，所述防着板(1)上具有葫芦状通孔(11)和设置在葫芦状通孔(11)上的凸出板(12)，葫芦状通孔(11)及凸出板(12)的位置和数量与挂钩(2)相对应，凸出板(12)对着真空蒸镀机的腔室，将防着板(1)的葫芦状通孔(11)放置在挂钩(2)的凸出部(22)和端部(23)之间，防着板(1)由于重力的作用与挂钩(2)连接固定，凸出板(12)防止挂钩(2)被镀膜。2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的防着板固定结构，其特征在于，防着板(1)的葫芦状通孔(11)包括第一半圆部(111)、第二半圆部(112)、和梯形部(113)，第二半圆部(112)的直径大于第一半圆部(111)的直径，第一半圆部(111)的直径大于等于挂钩(2)的杆体部(21)的直径。3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的防着板固定结构，其特征在于，挂钩(2)的杆体部(21)的直径为5
‑
8mm，凸出部(22)和端部(23)的直径比杆体部(21)的直径大2
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5mm,凸出部(22)和端部(23)之间的间距为2
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4mm。4.如权利要求3所述的真空蒸镀机的防着板固定结构，其特征在于，凸出部...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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