温度检测装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本申请公开了一种温度检测装置及蒸镀设备，其中，温度检测装置，包括第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。由于连接选择单元可以通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接，就可以在工作腔不停机的情况下来定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线。线。线。

【技术实现步骤摘要】
温度检测装置及蒸镀设备


[0001]本专利技术一般涉及蒸镀设备
，具体涉及一种温度检测装置及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]蒸镀是一种用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。例如，在OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode；有机发光二极管)制备工艺中，通过蒸镀设备将工作腔(蒸发腔)中的材料蒸镀到玻璃基板或对应的附着层上，完成蒸镀工艺。在蒸镀过程中，工作腔内的温度可以达到500℃～1200℃，为了监控工作腔内的温度，会在工作腔中设置热电偶来进行温度检测。
[0003]在蒸镀过程中，工作腔内温度的稳定性是保证膜厚和均一性的重要指标，因此需要根据热电偶所检测的温度，对工作腔的温度进行调节，但是，当热电偶或与热电偶连接的热电偶补偿导线发生异常时，其所反馈的温度示数也会出现波动，这时基于测量温度调控的其他参数如Power(电源)便会受到影响，最终影响速率的稳定，从而导致无法进行正常工艺。
[0004]目前，在所检测的温度示数出现波动时，无法直接定位异常是出现在热电偶，还是出现在与热电偶连接的热电偶补偿导线，这用情况下，需要对蒸镀设备进行停机，采用人工拆解工作腔，并对热电偶进行检测，在拆解的过程中，存在对工作腔造成损坏的风险，另外，在对工作腔进行拆解后，工作腔处于冷却状态，无法重现异常发生时的波动状态，同样难以定位异常位置，导致无效操作，且因停机对生产进度造成严重损失。

技术实现思路

[0005]本申请期望提供一种温度检测装置及蒸镀设备，用以解决现有技术中，在所检测的温度示数出现波动时，无法直接定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线的问题。
[0006]第一方面，本专利技术提供一种温度检测装置，包括：
[0007]第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；
[0008]第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；
[0009]测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；
[0010]连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。
[0011]作为一种可实现方式，所述第一温度检测单元及所述第二温度检测单元均为热电偶。
[0012]作为一种可实现方式，所述连接导线为热电偶补偿导线。
[0013]作为一种可实现方式，所述测量单元为二次仪表。
[0014]作为一种可实现方式，所述连接选择单元包括基体，所述基体上设置有电磁铁、衔
铁以及衔铁复位弹性件，所述电磁铁用于吸引所述衔铁向靠近所述电磁铁的方向运动，所述衔铁复位弹性件用于驱动所述衔铁向远离所述电磁铁的方向运动；
[0015]所述衔铁上设置有绝缘件，所述绝缘件上设置有分别能与所述第一温度检测单元和所述第二温度检测单元电连接的第一触点，所述第一触点与所述连接导线电连接。
[0016]作为一种可实现方式，所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件分置于，所述衔铁与所述基体转动中心的两侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的拉簧。
[0017]作为一种可实现方式，所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件设置于，所述衔铁与所述基体转动中心的同侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的压簧。
[0018]作为一种可实现方式，所述衔铁与所述基体或所述电磁铁滑动配合，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体或所述电磁铁之间的压簧。
[0019]作为一种可实现方式，所述绝缘件在其运动方向上，相背的两侧分别设置有所述第一触点，其中一侧的所述第一触点正对与所述第一温度检测单元连接的第二触点设置，另一侧的所述第一触点正对与所述第二温度检测单元连接的第三触点设置。
[0020]第二方面，本专利技术提供一种蒸镀设备，包括上述的温度检测装置。
[0021]上述方案，由于连接选择单元可以通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接，就可以在工作腔不停机的情况下来定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线。例如，在工作腔工作时，连接选择单元通过连接导线，选择性的将第一温度检测单元与测量单元电连接，以检测工作腔的工作温度，在检测的温度示数出现波动时，连接选择单元通过连接导线，选择性的将第二温度检测单元与测量单元电连接，若此时检测的温度示数无波动，则可以确定第一温度检测单元存在故障，若此时检测的温度示数仍存在波动，那么至少可以确定连接导线存在故障，可以对连接导线进行更换，并在更换后，再次由连接选择单元通过跟换后的连接导线，选择性的将第一温度检测单元与测量单元电连接，若此时检测的温度示数仍存在波动，则可以确定第一温度检测单元亦存在故障，否则，第一温度检测单元不存在故障。可见，在对第一温度检测单元及连接导线进行故障定位过程中，无需进行停机，亦无需对工作腔进行拆解，因此，可以避免在拆解的过程中，存在对工作腔造成损坏的风险发生，另外，由于工作腔未停机，因此可以重现异常发生时的波动状态，对故障进行准确定位，还可以保证在第一温度检测单元正常的情况下生产进度的顺利进行。
附图说明
[0022]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0023]图1为本专利技术实施例提供的温度检测装置的使用状态的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术实施例提供的温度检测装置的另一使用状态的结构示意图；
[0025]图3为本专利技术另一实施例提供的温度检测装置的使用状态的结构示意图；
[0026]图4为本专利技术又一实施例提供的温度检测装置的使用状态的结构示意图。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0028]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0029]至少如图1、图2所述，本专利技术实施例示出的一种温度检测装置，包括：
[0030]第一温度检测单元1，用于设置在所需测温的工作腔9内；例如，第一温度检测单元1通过法兰6设置在工作腔9内。第一温度检测单元1用来检测工作腔9内的工作温度。工作腔9例如但不限于蒸镀设备的蒸镀腔，蒸镀腔内设置坩埚8，坩埚8内放置所要蒸镀的材料。坩埚8外侧设置电加热丝7以对坩埚8进行加热，电加热丝7可以但不限于设置为上下两层。第一温度检测单元1例如但不限于设置在坩埚8的下方，当然，还可以根据具体的需要来设置第一温度检测单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温度检测装置，其特征在于，包括：第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。2.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述第一温度检测单元及所述第二温度检测单元均为热电偶。3.根据权利要求2所述的温度检测装置，其特征在于，所述连接导线为热电偶补偿导线。4.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述测量单元为二次仪表。5.根据权利要求1
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4任一项所述的温度检测装置，其特征在于，所述连接选择单元包括基体，所述基体上设置有电磁铁、衔铁以及衔铁复位弹性件，所述电磁铁用于吸引所述衔铁向靠近所述电磁铁的方向运动，所述衔铁复位弹性件用于驱动所述衔铁向远离所述电磁铁的方向运动；所述衔铁上设置有绝缘件，所述绝缘件上设置有分别能与所述第一温度检测单元和所述第二温度检测单元电...

【专利技术属性】
技术研发人员：李元星，刘金彪，肖昂，罗楠，晋亚杰，胡斌，加新星，刘文豪，周杰，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：