一种铝蒸镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种铝蒸镀膜装置，包括：真空室，真空室的一端开设有一进出口；密封环，密封环设置于真空室的一端；上罗茨泵组，上罗茨泵组与真空室的上部连接；下罗茨泵组，下罗茨泵组与真空室的下部连接；蒸发系统，蒸发系统设置于真空腔的底部；轨道，轨道设置于真空室的外侧；动力车，动力车设置于轨道上；密封板，密封板设置于动力车靠近真空室的一端，密封板可操作地抵于密封环上并封闭进出口；卷绕系统，卷绕系统设置于密封板靠近真空室的一端。通过对本实用新型专利技术的应用，可快速便捷地完成将卷绕系统由真空室内移出并对完成镀铝的薄膜进行更替，且通过密封环与密封隔板的匹配保证了真空室的密封性，进一步提升了镀铝薄膜的生产效率。的生产效率。的生产效率。

An aluminum evaporation coating device

【技术实现步骤摘要】
一种铝蒸镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种铝蒸镀膜装置。

技术介绍

[0002]在薄膜的生产过程中，应客户的实际需求往往需要在薄膜的表面镀上一层具有金属光彩的铝镀膜。传统的铝蒸镀膜装置中普遍包括有用于进行镀铝的真空室、用于生成铝蒸汽的蒸发系统和用于卷绕并固定待镀薄膜的卷绕系统，在镀膜过程中，具体地采用通过高温使纯铝融化蒸发生成铝蒸汽，并对真空室的内部抽气至一合适的真空环境的方法从而在待镀薄膜表面形成一具有良好外观的铝层。然而，在镀铝薄膜的实际生产过程中，往往由于在制备过程中，铝蒸汽会在真空室内形成一定的铝废渣，不易进行清理；且真空室不易进行打开，对待镀铝膜的更换往往较为麻烦，采用一般的可打开的真空室结构又会对真空室的密封性造成不当影响。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，为解决上述问题，本技术的目的在于提供一种铝蒸镀膜装置，其特征在于，包括：
[0004]真空室，所述真空室的内部形成有一真空腔，所述真空室的一端开设有一进出口；
[0005]密封环，所述密封环呈环形结构设置，所述密封环设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铝蒸镀膜装置，其特征在于，包括：真空室，所述真空室的内部形成有一真空腔，所述真空室的一端开设有一进出口；密封环，所述密封环呈环形结构设置，所述密封环设置于所述真空室的一端，所述密封环沿所述进出口的外缘环向设置；上罗茨泵组，所述上罗茨泵组通过第一管道与所述真空室的上部连接；下罗茨泵组，所述下罗茨泵组通过第二管道与所述真空室的下部连接；蒸发系统，所述蒸发系统设置于所述真空腔的底部；轨道，所述轨道设置于所述真空室的一端的外侧，且所述轨道沿所述进出口的轴向设置；动力车，所述动力车设置于所述轨道上；密封板，所述密封板设置于所述动力车靠近所述真空室的一端，所述密封板可操作地抵于所述密封环上并封闭所述进出口；卷绕系统，所述卷绕系统设置于所述密封板靠近所述真空室的一端。2.根据权利要求1所述的铝蒸镀膜装置，其特征在于，所述上罗茨泵组包括：上室机械泵、上室罗茨泵和主抽气罗茨泵，所述上室机械泵、所述上室罗茨泵和所述主抽气罗茨泵依次设置于所述第一管道上，且所述上室机械泵、所述上室罗茨泵和所述主抽气罗茨泵通过第一管道与所述真空室连接。3.根据权利要求1所述的铝蒸镀膜装置，其特征在于，所述下罗茨泵组包括：下室机械泵、下室罗茨泵和扩散泵，所述下室机械泵、所述下室罗茨泵和所述扩散泵依次设置于所述第二管道上，且所述下室机械泵、所述下室罗茨泵和所述扩散泵通过所述第二管道与所述真空室连接。4.根据权利要求3所述的铝蒸镀膜装置，其特征在于，所述下罗茨泵组还包括：第三管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘念，张华，
申请(专利权)人：上海睿途新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：