下载一种铝蒸镀膜装置的技术资料

文档序号:29308801

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本实用新型公开了一种铝蒸镀膜装置,包括:真空室,真空室的一端开设有一进出口;密封环,密封环设置于真空室的一端;上罗茨泵组,上罗茨泵组与真空室的上部连接;下罗茨泵组,下罗茨泵组与真空室的下部连接;蒸发系统,蒸发系统设置于真空腔的底部;轨道,轨...
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