一种蒸发装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸发装置，包括坩埚本体、蒸发源挡板和移动机构，移动机构被配置为驱动蒸发源挡板在水平方向上移动，坩埚本体的一侧面上开设有喷嘴，喷嘴上放置有承载板，蒸发源挡板位于承载板上方，蒸发源挡板的边沿向外延伸形成支撑板，支撑板靠近坩埚本体的一侧面上设有第一接触部件，移动机构上设有第二接触部件，第二接触部件与第一接触部件相卡合，这样能够减少现有技术中蒸发源挡板因长久使用造成的变形和生产过程中移动机构提起和放下蒸发源挡板位置偏差等造成的设备宕机问题，进而使得蒸镀过程准确高效的运行，提高工作效率、降低企业生产成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发装置


[0001]本技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸发装置。

技术介绍

[0002]伴随着应用于汽车、手机、智能电子设备等移动显示技术的不断发展，OLED(英文全称为Organic Light Emitting Diode，即有机发光二极管)因其自发光、厚度轻薄、响应时间快、视角广等特点得到人们的广泛需求，进而促进其快速发展；在OLED显示制作工艺中，真空蒸镀技术是一项非常关键和重要的工艺步骤，该工艺技术直接影响OLED制作的成本和OLED显示器件的性能好坏；在蒸镀过程中使用坩埚将OLED有机材料蒸镀到OLED基板上，其在坩埚上部有一块不可或缺的挡板(Source shutter)，起到阻挡坩埚内OLED材料随意挥发和控制使用镀膜蒸发源的重要作用。
[0003]目前生产制造过程中使用的坩埚多数为线源坩埚，其对应挡板为长条形，两端设计开孔用于取放挡板的时候悬挂于动作机构上面；蒸镀时选用所用材料对应蒸发源，打开蒸发源上方的挡板，使得材料向上挥发蒸镀沉积至基板上面完成镀膜；在真空镀膜过程中，蒸发源挡板在不断地进行开合运动或是受到蒸发源高温的影响，容易造成弯曲或偏移形变等问题，致使无法完成真空镀膜。

技术实现思路

[0004]为了克服上述现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题是：提供一种蒸发装置。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种蒸发装置，包括坩埚本体、蒸发源挡板和移动机构，所述移动机构被配置为驱动蒸发源挡板在水平方向上移动，所述坩埚本体的一侧面上开设有喷嘴，所述喷嘴上放置有承载板，所述蒸发源挡板位于承载板上方，所述蒸发源挡板的边沿向外延伸形成支撑板，所述支撑板靠近坩埚本体的一侧面上设有第一接触部件，所述移动机构上设有第二接触部件，所述第二接触部件与第一接触部件相卡合。
[0007]进一步的，所述第一接触部件包括第一凸起，所述第一凸起固定设置在支撑板上，所述第二接触部件上设有与第一凸起相适配的第一凹槽。
[0008]进一步的，所述第一凸起的竖直截面的形状为半球形。
[0009]进一步的，所述第二接触部件包括第二凸起，所述第二凸起固定设置在支撑板上，所述第一接触部件上设有与第二凸起相适配的第二凹槽。
[0010]进一步的，所述第二凸起的竖直截面的形状为半球形。
[0011]本技术的有益效果在于：
[0012]通过在蒸发源挡板的边沿向外延伸形成支撑板，在支撑板靠近坩埚本体的一侧面上设有第一接触部件，在移动机构上设有第二接触部件，第二接触部件与第一接触部件相卡合，能够减少现有技术中蒸发源挡板因长久使用造成的变形和生产过程中移动机构提起
和放下蒸发源挡板位置偏差等造成的设备宕机问题，进而使得蒸镀过程准确高效的运行，提高工作效率、降低企业生产成本。
附图说明
[0013]图1所示为根据本技术的一种蒸镀装置的结构示意图；
[0014]图2所示为根据本技术的一种蒸镀装置的蒸发源挡板和移动机构的结构示意图；
[0015]图3所示为根据本技术的一种蒸镀装置的蒸发源挡板和移动机构的结构示意图；
[0016]标号说明：
[0017]1、坩埚本体；2、蒸发源挡板；3、移动机构；4、喷嘴；5、承载板；6、支撑板；7、第一接触部件；71、第一凸起；72、第二凸起；8、第二接触部件；81、第一凹槽；82、第二凹槽；9、镜面反光片。
具体实施方式
[0018]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0019]请参照图1所示，本技术提供的技术方案：
[0020]一种蒸发装置，包括坩埚本体、蒸发源挡板和移动机构，所述移动机构被配置为驱动蒸发源挡板在水平方向上移动，所述坩埚本体的一侧面上开设有喷嘴，所述喷嘴上放置有承载板，所述蒸发源挡板位于承载板上方，所述蒸发源挡板的边沿向外延伸形成支撑板，所述支撑板靠近坩埚本体的一侧面上设有第一接触部件，所述移动机构上设有第二接触部件，所述第二接触部件与第一接触部件相卡合。
[0021]从上述描述可知，本技术的有益效果在于：
[0022]通过在蒸发源挡板的边沿向外延伸形成支撑板，在支撑板靠近坩埚本体的一侧面上设有第一接触部件，在移动机构上设有第二接触部件，第二接触部件与第一接触部件相卡合，能够减少现有技术中蒸发源挡板因长久使用造成的变形和生产过程中移动机构提起和放下蒸发源挡板位置偏差等造成的设备宕机问题，进而使得蒸镀过程准确高效的运行，提高工作效率、降低企业生产成本。
[0023]进一步的，所述第一接触部件包括第一凸起，所述第一凸起固定设置在支撑板上，所述第二接触部件上设有与第一凸起相适配的第一凹槽。
[0024]从上述描述可知，通过第一凸起与第一凹槽相互配合，不仅结构简单，而且定位准确度高，能够进一步保证蒸镀过程准确高效的运行。
[0025]进一步的，所述第一凸起的竖直截面的形状为半球形。
[0026]从上述描述可知，通过利用圆形曲面自滑动的特点，制作半球形的第一凸起和半球形第一凹槽形成接触点，用于蒸发源挡板和其移动机构的接触悬挂，代替原来将蒸发源挡板孔洞插入支撑杆中的悬挂接触方式。
[0027]进一步的，所述第二接触部件包括第二凸起，所述第二凸起固定设置在支撑板上，所述第一接触部件上设有与第二凸起相适配的第二凹槽。
[0028]从上述描述可知，通过第二凸起与第二凹槽相互配合，不仅结构简单，而且定位准确度高，能够进一步保证蒸镀过程准确高效的运行。
[0029]进一步的，所述第二凸起的竖直截面的形状为半球形。
[0030]从上述描述可知，通过利用圆形曲面自滑动的特点，制作半球形的第二凸起和半球形第二凹槽形成接触点，用于蒸发源挡板和其移动机构的接触悬挂，代替原来将蒸发源挡板孔洞插入支撑杆中的悬挂接触方式。
[0031]请参照图1至图2所示，本技术的实施例一为：
[0032]请参照图1，一种蒸发装置，包括坩埚本体1、蒸发源挡板2和移动机构3，所述移动机构3被配置为驱动蒸发源挡板2在水平方向上移动，所述坩埚本体1的一侧面上开设有喷嘴4，所述喷嘴4上放置有承载板5，所述蒸发源挡板2位于承载板5上方，所述蒸发源挡板2的边沿向外延伸形成支撑板6，所述支撑板6靠近坩埚本体1的一侧面上设有第一接触部件7，所述移动机构3上设有第二接触部件8，所述第二接触部件8与第一接触部件7相卡合。
[0033]请参照图2，所述第一接触部件7包括第一凸起71，所述第一凸起71固定设置在支撑板6上，所述第二接触部件8上设有与第一凸起71相适配的第一凹槽81。
[0034]所述第一凸起71的竖直截面的形状为半球形。
[0035]所述蒸发装置还包括传感器，所述蒸发源挡板2上设有镜面反光片9(请参照图1)，传感器通过镜面反光片9感应到蒸发源挡板2的位置，当传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发装置，其特征在于，包括坩埚本体、蒸发源挡板和移动机构，所述移动机构被配置为驱动蒸发源挡板在水平方向上移动，所述坩埚本体的一侧面上开设有喷嘴，所述喷嘴上放置有承载板，所述蒸发源挡板位于承载板上方，所述蒸发源挡板的边沿向外延伸形成支撑板，所述支撑板靠近坩埚本体的一侧面上设有第一接触部件，所述移动机构上设有第二接触部件，所述第二接触部件与第一接触部件相卡合。2.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述第一接触部件包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙玉俊，黄逸臻，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：