沉积装置和用于使用沉积装置检查喷嘴的方法制造方法及图纸

本申请涉及沉积装置和用于使用沉积装置检查喷嘴的方法。检查喷嘴的方法包括：测量喷嘴的温度；将喷嘴的温度与基准温度比较；基于喷嘴的温度确定喷嘴是否被堵塞。喷嘴的温度确定喷嘴是否被堵塞。喷嘴的温度确定喷嘴是否被堵塞。

【技术实现步骤摘要】
沉积装置和用于使用沉积装置检查喷嘴的方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年3月5日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
‑
2020
‑
0027630的优先权和权益，其内容通过引用以其整体并入本文中。


[0003]本专利技术的一些示例实施例的各方面涉及一种沉积装置以及用于使用沉积装置检查喷嘴的方法。

技术介绍

[0004]有机发光显示设备是其中从阴极注入的电子和从阳极注入的空穴重新结合到有机薄膜以形成激子并且使用了通过来自所形成的激子的能量来生成特定波长的光的现象的显示设备。
[0005]真空沉积方法可用作用于在有机发光显示设备中沉积有机物质或用作电极的金属的方法。真空沉积方法可包括以下操作：将要在其上形成有机薄膜的基板放置在真空室内部；附接具有与要形成的薄膜相同的图案的沉积掩模；以及然后，使用沉积源单元来蒸发或升华诸如有机材料的沉积材料以将其沉积在基板上。
[0006]在此
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于增强对背景的理解，并且因此，在此
技术介绍
部分中讨论的信息不一定构成现有技术。

技术实现思路

[0007]本专利技术的一些示例实施例的各方面包括一种包括能够通过测量喷嘴单元的温度来检查喷嘴是否被堵塞的喷嘴检查单元的沉积装置以及一种用于使用沉积装置检查喷嘴是否被堵塞的方法。
[0008]本专利技术的一些示例实施例的各方面还可包括一种沉积装置，该沉积装置可通过将激光选择性地照射已发生喷嘴堵塞的喷嘴来清除喷嘴的堵塞。
[0009]然而，根据本专利技术的实施例的各方面不限于本文中所阐述的那些。通过参照以下给出的本专利技术的详细描述，本专利技术的上述和其他方面对于本专利技术所属领域的普通技术人员将变得更加显而易见。
[0010]根据一些示例实施例的用于检查喷嘴的方法包括：测量喷嘴的温度；以及将喷嘴的温度与基准温度进行比较，以确定喷嘴是否被堵塞。
[0011]根据一些示例实施例，用于检查喷嘴的方法包括：当确定喷嘴被堵塞时，清除喷嘴的喷嘴堵塞。
[0012]根据一些示例实施例，在清除喷嘴堵塞中，使用激光器向喷嘴照射激光束。
[0013]根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞还包括：当喷嘴的温度不低于基准温度时，确定喷嘴未被堵塞。
[0014]根据一些示例实施例，一种用于检查喷嘴的方法包括：通过热成像相机拍摄喷嘴
以生成包括喷嘴的温度信息的热图像数据，并且基于热图像数据确定喷嘴是否被堵塞。
[0015]根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞包括：将根据热图像数据来展示喷嘴的颜色与展示基准温度的颜色进行比较。
[0016]根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞还包括：当展示喷嘴的颜色是展示低于基准温度的温度的颜色时，确定喷嘴被堵塞。
[0017]根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞包括根据热图像数据计算喷嘴的温度；并且将计算出的喷嘴的温度与基准温度进行比较。
[0018]根据一些示例实施例，确定喷嘴是否被堵塞还包括当计算出的喷嘴的温度低于基准温度时确定喷嘴被堵塞。
[0019]根据一些示例实施例，当确定喷嘴被堵塞时，清除喷嘴的喷嘴堵塞。
[0020]依据根据本公开的一些示例实施例，一种沉积装置包括：沉积源，包括沿一方向布置的至少一个喷嘴；温度测量单元，用于测量喷嘴的温度；以及确定单元，用于基于温度测量单元的测量数据确定喷嘴是否被堵塞。
[0021]根据一些示例实施例，温度测量单元包括热成像相机，热成像相机用于拍摄喷嘴以生成热图像数据，其中，热成像相机布置成与喷嘴间隔开。
[0022]根据一些示例实施例，确定单元根据热图像数据计算喷嘴的温度，并且将计算出的喷嘴的温度与基准温度进行比较，以确定喷嘴是否被堵塞。
[0023]根据一些示例实施例，当计算出的喷嘴的温度低于基准温度时，确定单元确定喷嘴被堵塞。
[0024]根据一些示例实施例，确定单元根据热图像数据计算展示喷嘴的颜色，并且将展示喷嘴的颜色与展示基准温度的颜色进行比较，以确定喷嘴是否被堵塞。
[0025]根据一些示例实施例，当展示喷嘴的颜色是展示低于基准温度的温度的颜色时，确定单元确定喷嘴被堵塞。
[0026]根据一些示例实施例，沉积装置包括：修复单元，包括布置成与喷嘴间隔开的激光器；以及修复控制器，电连接到修复单元以在确定喷嘴被堵塞时施加控制信号。
[0027]根据一些示例实施例，温度测量单元还包括布置在热成像相机和沉积源之间的保护盖。
[0028]根据一些示例实施例，掩模组件布置在沉积源上方并且包括穿透部分和掩膜。
[0029]示例实施例的其他示例特性包括在详细描述和附图中。
[0030]在根据本专利技术的一些示例实施例的用于使用沉积装置检查喷嘴是否被堵塞的方法中，可通过使用热成像相机测量喷嘴单元的温度并且使用基于喷嘴单元的温度所生成的热图像来确定喷嘴是否被堵塞。在沉积材料沉积在喷嘴以及喷嘴的外围区域中的情况下，随着喷嘴的外围区域中的温度降低，可能发生喷嘴堵塞的现象。因此，在根据一些示例实施例的用于检查喷嘴的方法中，通过使用通过热成像相机而生成的喷嘴单元的热图像中包括的喷嘴单元的温度信息，当喷嘴的表面温度低于基准温度时，可确定在喷嘴中已发生喷嘴堵塞。因此，与通过分析喷嘴单元的光学图像并且识别或确认污染物来确定喷嘴是否被污染的方法相比，可确定喷嘴是否被堵塞，并且因此，可提高检查效率。
[0031]另外，在根据本专利技术的一些示例实施例的用于使用沉积装置检查喷嘴的方法中，当确定已发生喷嘴堵塞时，可通过将能量选择性地传送到已发生喷嘴堵塞的喷嘴来清除喷
嘴堵塞。可通过照射激光束来传送能量。通过将激光选择性地照射到需要修复的喷嘴，可防止或减少由于沉积源的不必要的温度而导致的通过控制沉积源的温度而可能发生的诸如沉积材料的变性和坩埚中的压力升高的问题。
[0032]根据示例实施例的特性不受以上描述的特性的限制，并且本文中包括更多各种特性。
附图说明
[0033]通过参照附图更详细地描述本专利技术的示例实施例，根据本专利技术的示例实施例的以上和其他的方面以及特征将变得更加显而易见，在附图中：
[0034]图1是示出根据一些示例实施例的沉积装置的示意性配置视图；
[0035]图2是根据一些示例实施例的沉积装置的示意性剖面视图；
[0036]图3是用于说明其中图2的沉积装置的温度测量单元测量喷嘴单元的温度的示例的示意性剖面视图；
[0037]图4是示意性示出根据一些示例实施例的喷嘴检查单元与沉积源之间的关系的剖面视图；
[0038]图5是用于说明根据一些示例实施例的热成像相机和保护盖的平面视图；
[0039]图6是示出根据一些示例实施例的用于使用沉积装置检查喷嘴的方法的示例的流程图；
[0040]图7是基于热图像数据的喷嘴的热图像的示例；
[0041]图8是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于检查喷嘴的方法，包括：测量所述喷嘴的温度；将所述喷嘴的温度与基准温度进行比较；以及基于所述喷嘴的所述温度确定所述喷嘴是否被堵塞。2.根据权利要求1所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞包括：响应于所述喷嘴的所述温度低于所述基准温度而确定所述喷嘴被堵塞。3.根据权利要求2所述的方法，还包括：响应于确定所述喷嘴被堵塞而清除所述喷嘴的喷嘴堵塞。4.根据权利要求3所述的方法，其中，在清除所述喷嘴堵塞中，使用激光器向所述喷嘴照射激光束。5.根据权利要求1所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞还包括：响应于所述喷嘴的所述温度不低于所述基准温度而确定所述喷嘴未被堵塞。6.一种用于检查喷嘴的方法，包括：通过热成像相机拍摄所述喷嘴以生成包括所述喷嘴的温度信息的热图像数据；以及根据所述热图像数据确定所述喷嘴是否被堵塞。7.根据权利要求6所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞包括：将根据所述热图像数据来展示所述喷嘴的颜色和展示基准温度的颜色进行比较。8.根据权利要求7所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞还包括：响应于展示所述喷嘴的所述颜色是展示低于所述基准温度的温度的颜色而确定所述喷嘴被堵塞。9.根据权利要求6所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞还包括：根据所述热图像数据计算所述喷嘴的温度；以及将计算出的所述喷嘴的所述温度和基准温度进行比较。10.根据权利要求9所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞还包括：响应于计算出的所述喷嘴的所述温度低于所述基准温度而确定所述喷嘴被堵塞。11.根据权利要求6所述的方法，还包括：响应于确定所述喷嘴被堵塞而清除所述喷嘴的喷嘴堵塞。12.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秀奂，奇永培，金珉雨，成沄澈，安秉九，河在秀，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：