一种具有双泵结构的真空蒸镀机制造技术

本申请提供一种具有双泵结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体与主阀连接，抽真空泵启动主腔体内的空气通过排气通口进入主阀，坩埚部内的蒸镀材料在镀膜时以散射角a并呈圆锥体形状向上蒸发，将镀锅上固定的被镀膜工件镀膜，所述抽真空泵有两个，以坩埚部内的蒸镀材料上表面的中心点为圆心、角度为散射角a形成圆弧，并且将与镀锅的上表面的中心点重合的圆弧记为圆弧M，坩埚部内的蒸镀材料上表面的中心点与镀锅的上表面的中心点之间的连线为ES，其距离为ES距离，以镀锅的上表面的中心点作垂直线L，该垂直线L与ES之间的夹角为入射角b,入射角b大于等于0

【技术实现步骤摘要】
一种具有双泵结构的真空蒸镀机


[0001]本专利技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种具有双泵结构的真空蒸镀机。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。在镀膜的过程中，需要先对真空蒸镀机的主腔室内抽真空，主腔室与主阀连接，主阀内设置有抽真空泵，抽真空泵用于将主腔室和主阀内的空气抽真空，先进行初抽再进行精抽，由于镀膜时对真空度的要求高，因此在现有的抽真空泵条件下，主腔体不能太大，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有双泵结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体(1)与主阀(2)连接，主腔体(1)的后壁的中下部具有一个排气通口(11)，主阀(2)的内部设置有抽真空泵(3)，抽真空泵(3)启动主腔体(1)内的空气通过排气通口(11)进入主阀(2)，主腔体(1)的底板上设置有坩埚部(4)，主腔体(1)内部的上部设置有一个或多个伞面状的镀锅(5)，坩埚部(4)内的蒸镀材料在镀膜时以散射角a并呈圆锥体形状向上蒸发，将镀锅(5)上固定的被镀膜工件镀膜，其特征在于，所述抽真空泵(3)有两个，以坩埚部(4)内的蒸镀材料上表面的中心点为圆心、角度为散射角a形成圆弧，并且将与镀锅(5)的上表面的中心点重合的圆弧记为圆弧M，坩埚部(4)内的蒸镀材料上表面的中心点与镀锅(5)的上表面的中心点之间的连线为ES，其距离为ES距离，以镀锅(5)的上表面的中心点作垂直线L，该垂直线L与ES之间的夹角为入射角b,入射角b大于等于0
°
并且小于等于35
°
。2.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述入射角b大于等于0
°
并且小于等于25
°
。3.如权利要求2所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述入射角b大于等于0
°
并且小于等于10
°
。4.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，两个ES连线之间的夹角为夹角c，夹角c为可综合保证蒸镀材料均匀性的最大蒸发散射角度，夹角c为55
°‑
90
°
。5.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述主腔体(1)和主阀(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：