一种真空蒸镀机的加热灯结构制造技术

本申请提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的辐射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便；所述真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，所述加热灯结构包括：竖杆、连接件、折弯件、和加热灯盒，竖杆的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，折弯件的一端通过连接件与竖杆连接，通过连接件能够调节折弯件与竖杆连接的高度位置，从而调节加热灯盒的高度，折弯件的另一端与加热灯盒连接，加热灯盒能够相对折弯件运动，从而调节加热灯盒的角度，折弯件包括水平部和倾斜部，倾斜部与加热灯盒连接，倾斜部向着真空蒸镀机的腔室的中心，加热灯盒相对倾斜部运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。线。线。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀机的加热灯结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的加热灯结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括设置在腔体下方的坩埚、以及设置在坩埚上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成薄膜(镀膜)。
[0004]但是，在此过程中，因为蒸镀的蒸镀材料相对敏感，若蒸镀时其蒸镀腔体内的水蒸汽含量比较高，会对蒸镀效果以及面板的光电指标及器件寿命造成不利的影响。因此，目前在蒸镀前，利用相关方式加速腔体内水蒸汽的蒸发，降低腔体内的水蒸汽含量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，其特征在于，所述加热灯结构包括：竖杆(1)、连接件(2)、折弯件(3)、和加热灯盒(4)，竖杆(1)的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，折弯件(3)的一端通过连接件(2)与竖杆(1)连接，通过连接件(2)能够调节折弯件(3)与竖杆(1)连接的高度位置，从而调节加热灯盒(4)的高度，折弯件(3)的另一端与加热灯盒(4)连接，加热灯盒(4)能够相对折弯件(3)运动，从而调节加热灯盒(4)的角度，折弯件(3)包括水平部(31)和倾斜部(32)，倾斜部(32)与加热灯盒(4)连接，倾斜部(32)向着真空蒸镀机的腔室的中心，加热灯盒(4)相对倾斜部(32)运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，所述加热灯结构有一个或者多个。3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，所述加热灯结构有4个，分别位于真空蒸镀机的腔室的底面板的四个边角。4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，竖杆(1)的中上部为四边形杆体，折弯件(3)和连接件(2)设置在竖杆(1)中上部的四边形杆体上，竖杆(1)的底面直接与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，或者竖杆(1)的底面通过其他部件与真空蒸镀机的腔室的底面板固定。5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，竖杆(1)的底面还设置有板块(11)，竖杆(1)的底面与板块(11)固定，板块(11)通过螺丝与真空蒸镀机的腔室的底面板固定。6.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，连接件(2)由第一连接块(21)和第二连接块(22)组成，第一连接块(21)与第二连接块(22)结构相同，第二连...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：