一种真空蒸镀机的视窗结构制造技术

本申请提供一种真空蒸镀机的视窗结构，回转轴不漏气，使用寿命长，容易更换回转玻璃，不容易引起人体眼部的不适；所述真空蒸镀机的视窗结构，设置在真空蒸镀机的腔体门上，从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和防着板，防着板固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴，回转玻璃能够跟随回转轴同步旋转，防着板上设置有观察孔，其特征在于，所述回转轴为一体式磁流体密封回转轴，回转轴从前到后包括：首端部、螺纹杆体部、平滑杆体部、凸起部和尾端部，回转轴的尾端部与回转玻璃固定，外层玻璃位于靠近凸起部的平滑杆体部上，所述外层玻璃的外侧还设置有滤光片在平滑杆体部上。上。上。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀机的视窗结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的视窗结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的过程中，可以通过视窗目视观察真空蒸镀机的腔体内的运行状况，特别是电子束的运行状况，镀锅的回转情况，加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的视窗一般为，通过视窗没有光学反射的、直接的观察，视窗结构从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃和防着板，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。并且由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，回转玻璃大部分都没镀膜后，没法再进行观察，就需要更换腔体门内的回转玻璃。
[0004]但是，由于现有技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机的视窗结构，设置在真空蒸镀机的腔体门上，从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃(1)、回转玻璃(3)和防着板(4)，防着板(4)固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃(1)上设有一贯穿外层玻璃(1)并可转动的回转轴(2)，回转轴(2)与回转玻璃(3)连接固定，回转玻璃(3)能够跟随回转轴(2)同步旋转，防着板(4)上设置有观察孔(41)，其特征在于，所述回转轴(2)为一体式磁流体密封回转轴，回转轴(2)从前到后包括：首端部(21)、螺纹杆体部(22)、平滑杆体部(23)、凸起部(24)和尾端部(25)，回转轴(2)的尾端部(25)与回转玻璃(3)通过螺钉固定，外层玻璃(1)位于靠近凸起部(24)的平滑杆体部(23)上，所述外层玻璃(1)的外侧还设置有滤光片(5)在平滑杆体部(23)上。2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的视窗结构，其特征在于，所述真空蒸镀机的视窗结构还包括把手(6)，回转轴(2)的首端部(21)内具有第一螺纹孔(211)，把手(6)通过第一螺钉(7)与第一螺纹孔(211)连接而固定在首端部(21)上，通过旋转把手(6)，带动回转轴(2)和回转玻璃(3)同步旋转。3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的视窗结构，其特征在于，在把手(6)与螺纹杆体部(22)之间还设置有橡胶垫圈(8)。4.如权利要求3所述的真空蒸镀机的视窗结构，其特征在于，把手(6)的形状包括：中空圆形、中空正方形、中空长方形、中空六边形、或中空三角凹陷中的一种，把手(6)的外表面还设置有螺纹。5.如权利要求1所述的真空蒸镀机的视窗结构，其特征在于，滤光片(5)与外层玻璃...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：