一种蒸镀机的水冷隔热机构制造技术

技术编号:30008041 阅读:19 留言:0更新日期:2021-09-11 05:00
为了解决如何提高蒸镀机内部的降温效果的问题,本实用新型专利技术提出一种蒸镀机的水冷隔热机构,通过在蒸镀机的内壁的主阀腔上装有水冷隔热机构,水冷隔热机构包括:多片散热片,散热片上设有呈矩形列阵排列的通孔,多片散热片通过水冷管串联,水冷管的进水口与水冷机的出水口连接,水冷管的出水口与水冷机的进水口连接,水冷管与水冷机形成一个循环通路,降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射,散热片上增加很多通孔,既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量,从而提高了真空泵抽真空的速度。空的速度。空的速度。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀机的水冷隔热机构


[0001]本技术涉及蒸镀机
,较为具体的,涉及到一种蒸镀机的水冷隔热机构。

技术介绍

[0002]水冷机的工作原理:事先向机内水箱注入一定量的水,通过冷水机制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备,冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。
[0003]由于真空主腔体内部热源对主泵(低温泵)的热辐射,造成低温泵温度上升,抽速减慢,故需要对蒸镀机内部进行降温处理,现有的蒸镀机是通过内置的风扇进行散热降温,或者通过水冷机连接整块蒸镀机内板对蒸镀机进行内部降温,现有的降温方式的降温效果差且不利于拆卸,如何提高蒸镀机内部的降温效果成了当下需要解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,为了解决如何提高蒸镀机内部的降温效果的问题,本技术提出一种蒸镀机的水冷隔热机构,通过在蒸镀机的内壁的主阀腔1上装有水冷隔热机构,水冷隔热机构包括:多片散热片2,散热片2上设有呈矩形列阵排列的通孔21,多片散热片2通过水冷管3串联,水冷管3的进水口与水冷机的出水口连接,水冷管3的出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机的水冷隔热机构,包括主阀腔(1)、多片散热片(2)和水冷管(3),蒸镀机的内壁处设有主阀腔(1),其特征在于:多个散热片(2)固定安装在主阀腔(1)的底板上,所述多个散热片(2)呈百叶型排列,相邻的两片散热片(2)相互间隔平行,所述散热片(2)设有多个通孔(21),所述通孔(21)呈矩形列阵排列,所述散热片(2)的两端通过水冷管(3)串接,所述水冷管(3)的一端为进水口,水冷管(3)的另一端为出水口,所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒(31),所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒(35),第一螺栓套筒(31)和第二螺栓套筒(35)分别与主阀腔(1)的底板可拆卸连接。2.如权利要求1所述的蒸镀机的水冷隔热机构,其特征在于:进水口与第一螺栓套筒(31)焊接,出水口与第二螺栓套筒(35)焊接,增加蒸镀机的密封性。3.如权利要求1所述的蒸镀机的水冷隔热机构,其特征在于:主阀腔(1)的底板上设有第一连接孔(11)和第二连接孔(12),第一螺栓套筒(31)穿过第一连接孔(11)与主阀腔(1)的底板可拆卸连接,第二螺栓套筒(35)穿过第二连接孔(12)与主阀腔(1)的底板可拆卸连接。4.如权利要求1所述的蒸镀...

【专利技术属性】
技术研发人员:薛蒙晓
申请(专利权)人:苏州佑伦真空设备科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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