一种便捷加料的真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种便捷加料的真空镀膜设备，包括真空腔体、坩埚、坩埚加热单元和穿过真空腔体侧壁的加料装置；所述加料装置包括储料盒、储料盒挡板、挡板拉杆、磁性导环和固定于真空腔体侧壁上的拉杆套筒；储料盒位于真空腔体内的一端设有开口，储料盒位于真空腔体外的一端由储料盒盲板密封；所述储料盒的开口处设置有控制开口开合的储料盒挡板，挡板拉杆下端连接于储料盒挡板，挡板拉杆上端连接于拉杆套筒，拉杆套筒外表面设置有磁性导环。本实用新型专利技术提供的便捷加料的真空镀膜设备通过磁性导环的磁性牵引金属挡板拉杆，进而移动储料盒挡板完成自主加料，显著延长了设备破空开腔周期，提高了设备利用效率，保证了连续生产，降低了生产成本。了生产成本。了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种便捷加料的真空镀膜设备


[0001]本技术属于真空镀膜领域，具体涉及一种便捷加料的真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在真空腔室内通过加热使材料原子从加热源蒸发或升华，然后沉积到所需镀膜基板上的过程。此项技术广泛用于半导体激光器、半导体集成电路、通讯等行业。
[0003]现有的真空镀膜设备的使用流程通常是在膜料消耗完后对设备破真空、开腔、加膜料、恢复设备真空、继续正常使用。例如中国专利文献CN210438819U提供一种方便进料的真空镀膜设备，包括镀膜机壳、进料门、转轴、把手、防滑软套、密封槽、密封圈、固定块、减震垫以及螺纹柱，镀膜机壳前端面安装有进料门，进料门左端面连接有转轴，进料门前端面安装有把手，把手外表面套设有防滑软套，镀膜机壳内部前侧开设有密封槽，密封槽内部粘接有密封圈，密封圈内部连接有固定块，密封圈后侧设置有减震垫，减震垫内部安装有螺纹柱。但是该技术提供的真空设备使用过程繁琐，需要频繁的进行破空、开腔，导致设备故障率增加，缩短设备使用寿命，同时也增加设备配件消耗；对超高真空(真空度要求E
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10Torr以上)镀膜设备来说，恢复设备真空过程需要对高真空泵体(如离子泵)长时间烘烤，破坏了生产连续性造成产能降低，延长了生产周期，大大增加了生产成本。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供一种便捷加料的真空镀膜设备，在真空环境下即可自主加料，无需对设备进行破空，保证了生产的连续性，延长了设备开腔保养周期，降低生产成本，同时最大程度的保持了设备稳定状态，延长其使用寿命。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]一种便捷加料的真空镀膜设备，包括真空腔体、坩埚、坩埚加热单元和穿过真空腔体侧壁的加料装置；所述加料装置包括储料盒、储料盒挡板、挡板拉杆、磁性导环和固定于真空腔体侧壁上的拉杆套筒；
[0007]储料盒位于真空腔体内的一端设有开口，储料盒位于真空腔体外的一端由储料盒盲板密封；所述储料盒的开口处设置有控制开口开合的储料盒挡板，挡板拉杆下端连接于储料盒挡板，挡板拉杆上端连接于拉杆套筒，拉杆套筒外表面设置有磁性导环。
[0008]根据本技术优选的，所述储料盒的开口处的上侧壁上设置有通孔，储料盒挡板插设在通孔内。抽拉储料盒挡板既可以控制出料。
[0009]根据本技术优选的，所述储料盒的开口处的上侧壁、下侧壁上均设置有通孔，储料盒挡板上设置有出料孔，储料盒挡板贯穿上侧壁、下侧壁的通孔。抽拉储料盒挡板使出料孔与储料盒开口重合，既可以控制出料。
[0010]根据本技术优选的，所述坩埚设置于坩埚加热单元顶部，加料装置位于坩埚上方。
[0011]根据本技术优选的，所述坩埚加热单元与真空腔体底面的倾斜角度为45～75
°
。
[0012]根据本技术优选的，所述储料盒向坩埚方向倾斜，储料盒与真空腔体侧壁的倾斜角度为40～80
°
。
[0013]根据本技术优选的，所述储料盒开口端边缘与坩埚边缘平齐，储料盒开口端边缘与坩埚的距离为3～10cm。避免储料盒遮挡坩埚的蒸发角度。
[0014]根据本技术优选的，所述储料盒盲板通过螺丝及密封圈进行固定密封。待储料盒内的膜料完全用尽后破空腔体，拆下盲板，向储料盒内加入膜料；储料盒的容积可根据需要制作成不同容量。
[0015]根据本技术优选的，所述的挡板拉杆为金属拉杆，进一步的，挡板拉杆的材质为镍。通过拉杆套筒上的磁性导环进行上下移动。
[0016]根据本技术优选的，所述储料盒、拉杆套筒通过密封焊接的方式固定于真空腔体侧壁。
[0017]本技术提供的便捷加料的真空镀膜设备在需要向坩埚内添加膜料时，操作人员只需通过磁性导环的磁性牵引金属挡板拉杆，进而移动储料盒挡板，打开储料盒开口或使储料盒挡板的出料孔与储料盒开口重合，即可控制出料。
[0018]本技术尤其适用于添加颗粒状、块状膜料。
[0019]本技术具有以下优点：
[0020]1、本技术提供的便捷加料的真空镀膜设备，结构设计合理，操作简单，通过磁性导环的磁性牵引金属挡板拉杆，进而移动储料盒挡板，便可完成自主加料，无需对真空设备破空、开腔，保证了连续生产，延长了设备开腔周期，缩短了设备真空恢复过程的时间成本，提高了设备使用效率；同时降低了因频繁破空开腔造成的设备故障率，延长了设备寿命。
[0021]2、本技术提供的便捷加料的真空镀膜设备对于需要蒸镀多种材料的真空镀膜设备，可设置多组储料盒，分别储存不同的膜料，同时满足不同膜料的添加需求；
[0022]3、本技术在使用过程中，膜料是储存在真空环境中的储料盒中，避免了因储存在大气环境中造成的吸潮、氧化、落尘污染等问题，保证了膜料质量。
附图说明
[0023]图1为本技术结构示意图。
[0024]图2为本技术结构正视图。
[0025]图3为本技术结构俯视图。
[0026]图4为本技术中加料装置的结构示意图。
[0027]图中：10
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真空腔体、20
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坩埚加热单元、21
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坩埚、30
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储料盒、31
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储料盒盲板、40
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储料盒挡板、41
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挡板拉杆、42
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出料孔、50
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磁性导环、60
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拉杆套筒。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]实施例1
[0030]如图1～4所示，一种便捷加料的真空镀膜设备，包括真空腔体10、坩埚21、坩埚加热单元20和穿过真空腔体10侧壁的加料装置；所述坩埚21设置于坩埚加热单元20顶部，加料装置位于坩埚21上方；所述加料装置包括储料盒30、储料盒挡板40、挡板拉杆41、磁性导环50和固定于真空腔体侧壁10上的拉杆套筒60；
[0031]储料盒30位于真空腔体10内的一端设有开口，储料盒30位于真空腔体10外的一端由储料盒盲板31密封；所述储料盒30的开口处的上侧壁、下侧壁上均设置有通孔，储料盒挡板上设置有出料孔42，储料盒挡板40贯穿上侧壁、下侧壁的通孔，挡板拉杆41下端连接于储料盒挡板40，挡板拉杆41上端连接于拉杆套筒60，拉杆套筒60外表面设置有磁性导环50。
[0032]所述坩埚加热单元20与真空腔体10底面的倾斜角度为60
°
，所述储料盒30向坩埚21方向倾斜，储料盒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，包括真空腔体、坩埚、坩埚加热单元和穿过真空腔体侧壁的加料装置；所述加料装置包括储料盒、储料盒挡板、挡板拉杆、磁性导环和固定于真空腔体侧壁上的拉杆套筒；储料盒位于真空腔体内的一端设有开口，储料盒位于真空腔体外的一端由储料盒盲板密封；所述储料盒的开口处设置有控制开口开合的储料盒挡板，挡板拉杆下端连接于储料盒挡板，挡板拉杆上端连接于拉杆套筒，拉杆套筒外表面设置有磁性导环。2.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述储料盒的开口处的上侧壁上设置有通孔，储料盒挡板插设在通孔内。3.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述储料盒的开口处的上侧壁、下侧壁上均设置有通孔，储料盒挡板上设置有出料孔，储料盒挡板贯穿上侧壁、下侧壁的通孔。4.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述坩埚设置于坩埚加热单元顶部，加...

【专利技术属性】
技术研发人员：任夫洋，苏建，崔庆尚，陈吉慧，郑兆河，
申请(专利权)人：山东华光光电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：