阀体结构及具有其的晶圆清洗系统技术方案

本发明专利技术提供了一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。其中，阀体结构包括：阀座，具有进液口、出液口及过液口，过液口与喷液结构的喷液嘴连通；第一阀体组件，包括第一阀针，第一阀针设置在阀座内，以使进液口和过液口连通或断开连通；第二阀体组件，包括第二阀针，第二阀针可活动地设置在阀座内，以使出液口和过液口连通或断开连通；其中，当第一阀针运动至连通进液口与过液口的第一位置时，进入至进液口内的液体从过液口排出；当第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通时，缓存在喷液嘴内的液体被回吸至出液口内。本发明专利技术解决了现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题。

【技术实现步骤摘要】
阀体结构及具有其的晶圆清洗系统
本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。
技术介绍
目前，在半导体湿法清洗工艺中，通常将溶解在水中的臭氧O3作为清洗液对晶圆进行清洗。然而，在晶圆清洗系统对晶圆完成清洗后，残留在喷液结构的喷液嘴上的清洗液会滴落在晶圆上，导致晶圆上产生缺陷，影响晶圆的良品率。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统，以解决现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种阀体结构，包括：阀座，具有进液口、出液口及过液口，过液口与喷液结构的喷液嘴连通；第一阀体组件，包括第一阀针，第一阀针可活动地设置在阀座内，以使进液口和过液口连通或断开连通；第二阀体组件，包括第二阀针，第二阀针可活动地设置在阀座内，以使出液口和过液口连通或断开连通；其中，当第一阀针运动至连通进液口与过液口的第一位置时，进入至进液口内的液体从过液口排出；当第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通时，缓存在喷液嘴内的液体被回吸至出液口内。进一步地，阀座还具有第一阀腔及与第一阀腔连通的第一阀口，进液口通过第一阀口与过液口连通，第一阀针在第一阀腔内可活动地设置，以打开或关闭第一阀口。进一步地，阀座还具有第二阀腔及与第二阀腔连通的第二阀口，过液口通过第二阀口与出液口连通，第二阀针在第二阀腔内可活动地设置，以打开或关闭第二阀口。进一步地，阀座还具有：第一通道，第一通道的两端分别与进液口和第一阀口连通；第二通道，第二通道的两端分别与第一阀腔和过液口连通。进一步地，阀座还具有：第三通道，第三通道的两端分别与第一阀腔和第二阀口连通；第四通道，第四通道的两端分别与第二阀腔和出液口连通。进一步地，第二通道和第三通道分别位于第一阀腔的两侧，在第一阀针关闭第一阀口时，第二通道通过第一阀腔与第三通道连通。进一步地，第一阀体组件还包括第一套筒和第一驱动部，第一套筒具有第一进气口；第一驱动部包括：第一活塞，第一活塞可升降地设置在第一套筒内，第一进气口位于第一活塞的下方；其中，气体通过第一进气口进入至第一套筒内，以推动第一活塞带动第一阀针朝向远离第一阀口的一侧运动，进而连通第一通道和第二通道；第一弹性件，第一弹性件位于第一套筒内，以用于向第一活塞施加朝向第一阀口运动的弹性力。进一步地，阀体结构还包括：第一封堵件，可活动地设置在第一进气口处；第三驱动部，第三驱动部与第一封堵件连接，以驱动第一封堵件封堵或避让第一进气口。进一步地，第一阀体组件还包括第二套筒和第二驱动部，第二套筒具有第二进气口；第二驱动部包括：第二活塞，第二活塞可升降地设置在第二套筒内，第二进气口位于第二活塞的下方；其中，气体通过第二进气口进入至第二套筒内，以推动第二活塞带动第二阀针朝向远离第二阀口的一侧运动；第二弹性件，第二弹性件位于第二套筒内，以用于向第二活塞施加朝向第二阀口运动的弹性力。进一步地，阀体结构还包括：第二封堵件，可活动地设置在第二进气口处；第四驱动部，第四驱动部与第二封堵件连接，以驱动第二封堵件封堵或避让第二进气口。根据本专利技术的另一方面，提供了一种晶圆清洗系统，包括基座、喷液结构、连通管道及阀体结构，基座用于承载晶圆，喷液结构通过连通管道与阀体结构的过液口连通，以用于向晶圆喷射清洗液；其中，阀体结构为上述的阀体结构。应用本专利技术的技术方案，当需要喷液结构的喷液嘴向晶圆上喷射清洗液时，工作人员控制第一阀体组件和第二阀体组件，以使第一阀针运动至进液口与过液口连通、第二阀针处于初始状态或运动至出液口与过液口断开连通，则阀体结构处于送液状态，第一阀体组件将进入至进液口内的液体输送至过液口内，进入至过液口内的清洗液流入喷液结构内对晶圆进行清洗。待喷液结构即将对晶圆完成清洗时，工作人员控制第一阀体组件和第二阀体组件，以使第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通，则阀体结构处于液体回收状态，位于喷液嘴内的清洗液在第二阀体组件的作用下被回吸至出液口内，进而避免喷液嘴处残留清洗液而导致晶圆上产生缺陷，解决了现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题，提升了晶圆的良品率。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本专利技术的阀体结构的实施例的立体结构示意图；图2示出了根据本专利技术的晶圆清洗系统的实施例的局部剖视图；以及图3示出了现有技术中未对残留在喷液嘴上的清洗液进行处理与使用本申请中阀体结构对清洗液进行回吸后晶圆上产生的缺陷对比图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、阀座；11、进液口；12、出液口；13、过液口；14、第一阀腔；15、第一阀口；16、第二阀腔；17、第二阀口；181、第一通道；182、第二通道；191、第三通道；192、第四通道；20、第一阀针；30、第二阀针；40、第一套筒；41、第一进气口；50、第一驱动部；51、第一活塞；52、第一弹性件；60、第二套筒；61、第二进气口；70、第二驱动部；71、第二活塞；72、第二弹性件；80、基座；90、喷液结构；100、连通管道；110、晶圆。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。在本专利技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本专利技术。为了解决现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题，本申请提供了一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。如图1和图2所示，阀体结构包括阀座10、第一阀体组件及第二阀体组件。阀座10具有进液口11、出液口12及过液口13，过液口13与喷液结构90的喷液嘴连通。第一阀体组件包括第一阀针20，第一阀针20可活动地设置在阀座10内，以使进液口11和过液口13连通或断开连通。第二阀体组件包括第二阀针30，第二阀针30可活动地设置在阀座10内，以使出液口12和过液口13连通或断开连通。其中，当第一阀针20运动至连通进液口11与过液口13的第一位置时，进入至进液口11内的液体从过液口13排出；当第二阀针30运动至出液口12与过液口13连通、第一阀针20运动至进液口11与过液口13断开连通时，缓存在喷液嘴内的液体被回吸至出液口12内。应用本实施例的技术方案，当需要喷液结构90的喷液嘴向晶圆110上喷射清洗液时，工作人员控制第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀体结构，其特征在于，包括：/n阀座(10)，具有进液口(11)、出液口(12)及过液口(13)，所述过液口(13)与喷液结构(90)的喷液嘴连通；/n第一阀体组件，包括第一阀针(20)，所述第一阀针(20)可活动地设置在所述阀座(10)内，以使所述进液口(11)和所述过液口(13)连通或断开连通；/n第二阀体组件，包括第二阀针(30)，所述第二阀针(30)可活动地设置在所述阀座(10)内，以使所述出液口(12)和所述过液口(13)连通或断开连通；/n其中，当所述第一阀针(20)运动至连通所述进液口(11)与所述过液口(13)的第一位置时，进入至所述进液口(11)内的液体从所述过液口(13)排出；/n当所述第二阀针(30)运动至所述出液口(12)与所述过液口(13)连通、所述第一阀针(20)运动至所述进液口(11)与所述过液口(13)断开连通时，缓存在所述喷液嘴内的液体被回吸至所述出液口(12)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种阀体结构，其特征在于，包括：
阀座(10)，具有进液口(11)、出液口(12)及过液口(13)，所述过液口(13)与喷液结构(90)的喷液嘴连通；
第一阀体组件，包括第一阀针(20)，所述第一阀针(20)可活动地设置在所述阀座(10)内，以使所述进液口(11)和所述过液口(13)连通或断开连通；
第二阀体组件，包括第二阀针(30)，所述第二阀针(30)可活动地设置在所述阀座(10)内，以使所述出液口(12)和所述过液口(13)连通或断开连通；
其中，当所述第一阀针(20)运动至连通所述进液口(11)与所述过液口(13)的第一位置时，进入至所述进液口(11)内的液体从所述过液口(13)排出；
当所述第二阀针(30)运动至所述出液口(12)与所述过液口(13)连通、所述第一阀针(20)运动至所述进液口(11)与所述过液口(13)断开连通时，缓存在所述喷液嘴内的液体被回吸至所述出液口(12)内。


2.根据权利要求1所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有第一阀腔(14)及与所述第一阀腔(14)连通的第一阀口(15)，所述进液口(11)通过所述第一阀口(15)与所述过液口(13)连通，所述第一阀针(20)在所述第一阀腔(14)内可活动地设置，以打开或关闭所述第一阀口(15)。


3.根据权利要求2所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有第二阀腔(16)及与所述第二阀腔(16)连通的第二阀口(17)，所述过液口(13)通过所述第二阀口(17)与所述出液口(12)连通，所述第二阀针(30)在所述第二阀腔(16)内可活动地设置，以打开或关闭所述第二阀口(17)。


4.根据权利要求3所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有：
第一通道(181)，所述第一通道(181)的两端分别与所述进液口(11)和所述第一阀口(15)连通；
第二通道(182)，所述第二通道(182)的两端分别与所述第一阀腔(14)和所述过液口(13)连通。


5.根据权利要求4所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有：
第三通道(191)，所述第三通道(191)的两端分别与所述第一阀腔(14)和所述第二阀口(17)连通；
第四通道(192)，所述第四通道(192)的两端分别与所述第二阀腔(16)和所述出液口(12)连通。


6.根据权利要求5所述的阀体结构，其特征在于，所述第二通道(182)和所述第三通道(191)分别位于所述第一阀腔(14)的两侧，在所述第一阀针(20)关闭所述第一阀口(15)时，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：娄汉，庄武斌，张锐，沈玉柱，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42