一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构制造技术

本发明专利技术属于电子半导体技术领域，特别涉及一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构。包括外壳、手指、推杆、直线驱动机构及位置检测机构，其中手指的一端与外壳连接，另一端设有手指定位块；直线驱动机构和位置检测机构设置于外壳内，推杆的一端与直线驱动机构连接，另一端穿出外壳且与推块连接；推块与手指定位块协同作用夹持放置于手指上的晶圆；位置检测机构用于检测推块是否到达夹持位置或初始位置。本发明专利技术可根据晶圆自身的强度调节夹持机构的夹持力度，同时调节夹持速度使夹持过程不对晶圆造成损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构
本专利技术属于电子半导体
，特别涉及一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构。
技术介绍
在电子半导体生产加工设备中，晶圆搬运机器人负责晶圆在各个工位之间的传递，是机台的核心运动部件，其运动精度直接决定晶圆摆放位置的准确性，而其速度则决定了整个机台的产能，机器人的末端执行器分为真空、夹持两大类。夹持机构现大多使用电机控制推杆伸缩达到夹持的目的，电机控制器放在夹持机构内部，电机自身无法调节推杆力度，因此推杆前端加装弹簧以防止推力过大导致晶圆损伤。现有机器人晶圆夹持机构都存在以下一种或多种设计缺陷，如夹持力不可控、夹持力度生硬，夹持器推杆速度无法调节，无法确认夹持动作结束后是否夹住晶圆，夹持机构不耐腐蚀等缺点。同时现有夹持机构推杆大多采用电机驱动，不但成本较高而且腐蚀性气体进入腔体内部易对电机及电机驱动造成损坏。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，以解决现有机器人晶圆夹持机构存在夹持力不可控、夹持力度生硬，以及夹持器推杆速度无法调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，包括外壳、手指(5)、推杆(7)、直线驱动机构及位置检测机构，其中手指(5)的一端与外壳连接，另一端设有手指定位块(6)；直线驱动机构和位置检测机构设置于外壳内，推杆(7)的一端与直线驱动机构连接，另一端穿出外壳且与推块(4)连接；推块(4)与手指定位块(6)协同作用夹持放置于手指(5)上的晶圆；所述位置检测机构用于检测推块(4)是否到达夹持位置或初始位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，包括外壳、手指(5)、推杆(7)、直线驱动机构及位置检测机构，其中手指(5)的一端与外壳连接，另一端设有手指定位块(6)；直线驱动机构和位置检测机构设置于外壳内，推杆(7)的一端与直线驱动机构连接，另一端穿出外壳且与推块(4)连接；推块(4)与手指定位块(6)协同作用夹持放置于手指(5)上的晶圆；所述位置检测机构用于检测推块(4)是否到达夹持位置或初始位置。


2.根据权利要求1所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述推杆(7)位于所述手指(5)的下方；所述推块(4)和所述手指定位块(6)均为与晶圆外圆周相适应的弧形结构；所述推块(4)的两端向上设有凸起部，两个凸起部位于所述手指(5)的两侧。


3.根据权利要求1所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述外壳包括底座(1)及设置于底座(1)顶部的上盖(2)；
所述推杆(7)通过直线轴承结构与所述底座(1)连接；或通过花键轴结构与所述底座(1)连接。


4.根据权利要求3所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述直线驱动机构包括气缸(11)和中间滑动块(15)，其中气缸(11)设置于所述底座(1)内，且输出端通过浮动接头(12)与中间滑动块(15)，所述中间滑动块(15)与所述推杆(7)连接。


5.根据权利要求4所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述中间滑动块(15)两侧设有导向机构；所述导向机构包括导向轴(14)及连接在导向轴(14)两端的导向轴座(13)；所述导向轴(14)与所述气缸(11)的输出方向平行，所述中间滑动块(15)与所述导向轴(14)滑动连接。


6.根据权利要求4所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述位置检测机构包括传感器A(23)、传...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天尧，李舒驰，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21