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本发明属于电子半导体技术领域，特别涉及一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构。包括外壳、手指、推杆、直线驱动机构及位置检测机构，其中手指的一端与外壳连接，另一端设有手指定位块；直线驱动机构和位置检测机构设置于外壳内，推杆的一端与直线驱动机构连接...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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