一种使用方便的晶圆表面改性装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种使用方便的晶圆表面改性装置，包括工作箱，所述工作箱内设置有空腔，所述空腔周侧固定有预热片，所述工作箱上固定有控制器，所述控制器与所述预热片连接，所述工作箱上方固定有真空泵，所述真空泵与所述控制器连接，所述储气罐设置在所述工作槽周侧，所述储气罐通过第二连接管与所述工作槽连接，该使用方便的晶圆表面改性装置，装置密封性好，药液可以均匀的喷到晶圆上，升降台上具有对晶圆保护作用的凸缘，通过第一电磁阀方便控制药液的喷洒量，通过第二电磁阀方便控制补充气体的量，同时利用升降台可以进一步控制气体的补充量，装置内具有预热装置，方便晶圆加工。

【技术实现步骤摘要】
一种使用方便的晶圆表面改性装置
本技术涉及半导体晶片加工装置
，具体为一种使用方便的晶圆表面改性装置。
技术介绍
众所周知，现有的晶圆表面改性装置一种用于晶圆加工的辅助装置，其在半导体晶片加工装置领域中得到了广泛的应用。例如公开号为“CN108109936A”专利名称为：“正压晶圆表面改性装置”的专利，专利公开了“本专利技术涉及半导体晶片加工领域，具体地说是一种正压晶圆表面改性装置，包括上密封盖、下密封体和加热盘，其中加热盘设置于下密封体中，上密封盖设置于所述下密封体上方，在所述上密封盖的中部设有进气口，在所述上密封盖的边缘设有排废口，在所述下密封体边缘设有补充气体口，且所述排废口和补充气体口与所述上密封盖和下密封体之间的密封反应腔室相通；装置工作时加工用药液气体由所述进气口流入，氮气由补充气体口流入。本专利技术可以快速安全的对加工晶圆进行表面改性处理，将原有技术对机械部件装配调试的复杂过程简化，并且减少药液的使用量，提升药液在晶圆表面的有效面积内的沉积均匀性”。现有的正压晶圆表面改性装置在使用中发现，其装置结构简单，无法保证装置的密封性，同时装置内没有预热装置，对晶圆进行加工时使晶圆改性效果不好，导致其使用局限性较高。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种使用方便的晶圆表面改性装置。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种使用方便的晶圆表面改性装置，包括工作箱，所述工作箱内设置有空腔，所述空腔周侧固定有预热片，所述工作箱上固定有控制器，所述控制器与所述预热片连接，所述工作箱上方固定有真空泵，所述真空泵与所述控制器连接，所述空腔内固定有压力传感器，所述压力传感器控制器连接，所述空腔内固定有工作台，所述工作台上固定有支架，所述支架上固定有药液箱，所述支架上固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆与所述控制器连接，所述药液箱与第一连接管的一端连接，所述第一连接管固定在所述电动伸缩杆上，所述第一连接管的另一端与喷头连接，所述喷头固定在所述电动伸缩杆上，所述工作台上设置有工作槽，所述工作槽内固定有升降台，所述升降台与所述控制器连接，所述升降台上固定有加热板，所述加热板与所述控制器连接，所述升降台上固定有凸缘，所述凸缘设置在所述加热板周侧，所述加热板上固定有晶圆，所述工作台上固定有储气罐，所述储气罐设置在所述工作槽周侧，所述储气罐通过第二连接管与所述工作槽连接。为了了解空腔内的温度，本技术改进有，所述凸缘上固定有温度传感器，所述温度传感器与所述控制器连接。为了方便控制药液的排出，本技术改进有，所述第一连接管上固定有第一电磁阀，所述第一电磁阀与所述控制器连接。为了方便控制补充气体的排出，本技术改进有，所述第二连接管上固定有第二电磁阀，所述第二电磁阀与所述控制器连接。为了方便对废气进行处理，本技术改进有，所述工作箱上方固定有排气管，所述排气管设置在所述真空泵周侧。为了方便排气管排气，本技术改进有，所述排气管上固定有第三电磁阀，所述第三电磁阀与所述控制器连接。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种使用方便的晶圆表面改性装置，具备以下有益效果：该使用方便的晶圆表面改性装置，装置密封性好，药液可以均匀的喷到晶圆上，升降台上具有对晶圆保护作用的凸缘，通过第一电磁阀方便控制药液的喷洒量，通过第二电磁阀方便控制补充气体的量，同时利用升降台可以进一步控制气体的补充量，装置内具有预热装置，方便晶圆加工。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术图1中局部放大结构示意图；图3为本技术结构正视图。图中：1、工作箱；2、空腔；3、预热片；4、控制器；5、真空泵；6、压力传感器；7、工作台；8、支架；9、药液箱；10、电动伸缩杆；11、第一连接管；12、喷头；13、工作槽；14、升降台；15、加热板；16、凸缘；17、晶圆；18、储气罐；19、第二连接管；20、温度传感器；21、第一电磁阀；22、第二电磁阀；23、排气管；24、第三电磁阀。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，一种使用方便的晶圆17表面改性装置，包括工作箱1，所述工作箱1内设置有空腔2，所述空腔2周侧固定有预热片3，所述工作箱1上固定有控制器4，所述控制器4与所述预热片3连接，所述工作箱1上方固定有真空泵5，所述真空泵5与所述控制器4连接，所述空腔2内固定有压力传感器6，所述压力传感器6控制器4连接，所述空腔2内固定有工作台7，所述工作台7上固定有支架8，所述支架8上固定有药液箱9，所述支架8上固定有电动伸缩杆10，所述电动伸缩杆10与所述控制器4连接，所述药液箱9与第一连接管11的一端连接，所述第一连接管11固定在所述电动伸缩杆10上，所述第一连接管11的另一端与喷头12连接，所述喷头12固定在所述电动伸缩杆10上，所述工作台7上设置有工作槽13，所述工作槽13内固定有升降台14，所述升降台14与所述控制器4连接，所述升降台14上固定有加热板15，所述加热板15与所述控制器4连接，所述升降台14上固定有凸缘16，所述凸缘16设置在所述加热板15周侧，所述加热板15上固定有晶圆17，所述工作台7上固定有储气罐18，所述储气罐18设置在所述工作槽13周侧，所述储气罐18通过第二连接管19与所述工作槽13连接。所述凸缘16上固定有温度传感器20，所述温度传感器20与所述控制器4连接，为了了解空腔2内的温度。所述第一连接管11上固定有第一电磁阀21，所述第一电磁阀21与所述控制器4连接，为了方便控制药液的排出。所述第二连接管19上固定有第二电磁阀22，所述第二电磁阀22与所述控制器4连接，为了方便控制补充气体的排出。所述工作箱1上方固定有排气管23，所述排气管23设置在所述真空泵5周侧，为了方便对废气进行处理。所述排气管23上固定有第三电磁阀24，所述第三电磁阀24与所述控制器4连接，为了方便排气管23排气。综上所述，该使用方便的晶圆表面改性装置，在使用时，将晶圆17放置到工作台7的升降台14上，升降台14设置在工作槽13中，在晶圆17下方固定有加热板15，晶圆17有升降台14上的凸缘16防护，凸缘16上固定有温度传感器20，晶圆17加工之前首先经过预热板进行预热，通过真空泵5调整空腔2内的压力，工作台7支架8上的药液箱9中的药液在第一连接管11上的第一电磁阀21打开后经过喷头12喷向晶圆17，在电动伸缩杆10的协调下使药液喷射更准，调整升降台14的高度，并控制第二连接管19上第二电磁阀22的开关控制气体与药液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使用方便的晶圆表面改性装置，包括工作箱(1)，其特征在于：所述工作箱(1)内设置有空腔(2)，所述空腔(2)周侧固定有预热片(3)，所述工作箱(1)上固定有控制器(4)，所述控制器(4)与所述预热片(3)连接，所述工作箱(1)上方固定有真空泵(5)，所述真空泵(5)与所述控制器(4)连接，所述空腔(2)内固定有压力传感器(6)，所述压力传感器(6)控制器(4)连接，所述空腔(2)内固定有工作台(7)，所述工作台(7)上固定有支架(8)，所述支架(8)上固定有药液箱(9)，所述支架(8)上固定有电动伸缩杆(10)，所述电动伸缩杆(10)与所述控制器(4)连接，所述药液箱(9)与第一连接管(11)的一端连接，所述第一连接管(11)固定在所述电动伸缩杆(10)上，所述第一连接管(11)的另一端与喷头(12)连接，所述喷头(12)固定在所述电动伸缩杆(10)上，所述工作台(7)上设置有工作槽(13)，所述工作槽(13)内固定有升降台(14)，所述升降台(14)与所述控制器(4)连接，所述升降台(14)上固定有加热板(15)，所述加热板(15)与所述控制器(4)连接，所述升降台(14)上固定有凸缘(16)，所述凸缘(16)设置在所述加热板(15)周侧，所述加热板(15)上固定有晶圆(17)，所述工作台(7)上固定有储气罐(18)，所述储气罐(18)设置在所述工作槽(13)周侧，所述储气罐(18)通过第二连接管(19)与所述工作槽(13)连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种使用方便的晶圆表面改性装置，包括工作箱(1)，其特征在于：所述工作箱(1)内设置有空腔(2)，所述空腔(2)周侧固定有预热片(3)，所述工作箱(1)上固定有控制器(4)，所述控制器(4)与所述预热片(3)连接，所述工作箱(1)上方固定有真空泵(5)，所述真空泵(5)与所述控制器(4)连接，所述空腔(2)内固定有压力传感器(6)，所述压力传感器(6)控制器(4)连接，所述空腔(2)内固定有工作台(7)，所述工作台(7)上固定有支架(8)，所述支架(8)上固定有药液箱(9)，所述支架(8)上固定有电动伸缩杆(10)，所述电动伸缩杆(10)与所述控制器(4)连接，所述药液箱(9)与第一连接管(11)的一端连接，所述第一连接管(11)固定在所述电动伸缩杆(10)上，所述第一连接管(11)的另一端与喷头(12)连接，所述喷头(12)固定在所述电动伸缩杆(10)上，所述工作台(7)上设置有工作槽(13)，所述工作槽(13)内固定有升降台(14)，所述升降台(14)与所述控制器(4)连接，所述升降台(14)上固定有加热板(15)，所述加热板(15)与所述控制器(4)连接，所述升降台(14)上固定有凸缘(16)，所述凸缘(16)设置在所述加热板(15)周侧，所述加热板(15)上固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯嘉荔，
申请(专利权)人：冯嘉荔，
类型：新型
国别省市：广东;44