一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置，包括工作箱、连接块以及喷头，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置箱门，所述工作空腔底端设置工作台，所述工作台顶端设置支撑杆，所述支撑杆顶端设置夹具，所述工作空腔左侧侧壁滑动设置固定板，所述固定板底端设置定位板，所述定位板顶端设置液压杆，所述液压杆输出端与固定板连接，所述固定板右端设置固定槽，所述固定槽内转动设置螺纹杆，所述固定板后端设置驱动电机，所述驱动电机输出端与螺纹杆连接，通过固定板、连接块以及安装块的设置，可以便于调整喷头的位置，从而提升涂覆效果，通过限位杆以及限位孔的设置，可以便于对喷头进行拆卸安装，从而提升涂覆效率。从而提升涂覆效率。从而提升涂覆效率。
【技术实现步骤摘要】
一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置
[0001]本技术涉及晶圆涂覆
，具体为一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置。
技术介绍
[0002]通常，已知为用于将诸如树脂的液体涂覆到基板或基板上的部件的装置的液体涂覆装置从用于供给基板的料斗取出涂覆液体前的基板以将基板运送到作业位置、将液体涂覆到处于作业位置的基板、然后将基板运离作业位置以使基板容纳在用于收集基板的料斗中，但是在喷嘴发生损坏时不方便及时更换，从而影响涂覆效率。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置，包括工作箱、连接块以及喷头，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置箱门，所述工作空腔底端设置工作台，所述工作台顶端设置支撑杆，所述支撑杆顶端设置夹具，所述工作空腔左侧侧壁滑动设置固定板，所述固定板底端设置定位板，所述定位板顶端设置液压杆，所述液压杆输出端与固定板连接，所述固定板右端设置固定槽，所述固定槽内转动设置螺纹杆，所述固定板后端设置驱动电机，所述驱动电机输出端与螺纹杆连接，所述连接块内置螺纹孔，所述连接块可滑动设置在固定槽内且螺纹杆穿过螺纹孔，所述连接块右侧设置安装块，所述安装块右侧设置更换槽，所述更换槽槽上下两侧侧壁设置限位孔，所述喷头左侧的上下两端分别设置安装槽，所述安装槽内滑动设置限位杆，所述安装槽内设置复位弹簧，所述复位弹簧一端与限位杆连接，复位弹簧另一端与安装槽槽底连接，所述工作箱顶端设置水箱，所述水箱内设置待涂覆的液体，所述工作箱顶端位于水箱一侧设置水泵，所述水泵输入端与水箱连接，所述水泵输出端与喷头连接。
[0007]为了便于对晶圆进行夹持，本技术改进有，所述夹具包括夹持杆以及横杆，所述支撑杆上方设置夹持孔，所述夹持孔左右两侧分别滑动设置横杆，所述夹持孔内设置夹持弹簧，所述夹持弹簧两端分别与横杆连接，所述横杆远离夹持弹簧一侧的顶端设置夹持杆。
[0008]为了便于使涂覆过程中工作空腔内的气流稳定，本技术改进有，所述工作空腔右侧侧壁设置出气孔。
[0009]为了防止外界环境中的杂质进入工作空腔，本技术改进有，所述出气孔内设置过滤网。
[0010]为了控制晶圆进行旋转，从而提升涂覆效果，本技术改进有，所述支撑杆与工作台转动连接，所述工作台内设置旋转电机，所述旋转电机输出端与支撑杆连接。
[0011]为了便于工作箱的移动，本技术改进有，所述工作箱底端设置万向轮。
[0012]为了便于观察涂覆过程，本技术改进有，所述箱门设置观察窗。
[0013](三)有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置，具备以下有益效果：
[0015]该喷嘴快速更换的液体涂覆装置，通过固定板、连接块以及安装块的设置，可以便于调整喷头的位置，从而提升涂覆效果，通过限位杆以及限位孔的设置，可以便于对喷头进行拆卸安装，从而在喷嘴发生损坏时可以及时更换，从而提升涂覆效率。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术俯视大结构示意图；
[0018]图3为本技术主视图；
[0019]图4为本技术图1中A处的局部放大结构示意图；
[0020]图中：1、工作箱；2、连接块；3、喷头；4、工作空腔；5、箱门；6、工作台；7、支撑杆；8、夹具；9、固定板；10、定位板；11、液压杆；12、固定槽；13、螺纹杆；14、驱动电机；15、安装块；16、限位孔；17、安装槽；18、限位杆；19、复位弹簧；20、水箱；21、水泵；22、夹持杆；23、横杆；24、夹持弹簧；25、出气孔；26、万向轮；27、观察窗。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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4，一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置，包括工作箱1、连接块2以及喷头3，所述工作箱1内置工作空腔4，所述工作空腔4前端设置箱门5，所述工作空腔4底端设置工作台6，所述工作台6顶端设置支撑杆7，所述支撑杆7顶端设置夹具8，所述工作空腔4左侧侧壁滑动设置固定板9，所述固定板9底端设置定位板10，所述定位板10顶端设置液压杆11，所述液压杆11输出端与固定板9连接，所述固定板9右端设置固定槽12，所述固定槽12内转动设置螺纹杆13，所述固定板9后端设置驱动电机14，所述驱动电机14输出端与螺纹杆13连接，所述连接块2内置螺纹孔，所述连接块2 可滑动设置在固定槽12内且螺纹杆13穿过螺纹孔，所述连接块2右侧设置安装块15，所述安装块15右侧设置更换槽，所述更换槽上下两侧侧壁设置限位孔16，所述喷头3左侧的上下两端分别设置安装槽17，所述安装槽17内滑动设置限位杆18，所述安装槽17内设置复位弹簧19，所述复位弹簧19一端与限位杆18连接，复位弹簧19另一端与安装槽17槽底连接，所述工作箱 1顶端设置水箱20，所述水箱20内设置待涂覆的液体，所述工作箱1顶端位于水箱20一侧设置水泵21，所述水泵21输入端与水箱20连接，所述水泵 21输出端与喷头3连接。
[0023]所述夹具8包括夹持杆22以及横杆23，所述支撑杆7上方设置夹持孔，所述夹持孔左右两侧分别滑动设置横杆23，所述夹持孔内设置夹持弹簧24，所述夹持弹簧24两端分别与横杆23连接，所述横杆23远离夹持弹簧24一侧的顶端设置夹持杆22,便于对晶圆进行夹
持。
[0024]所述工作空腔4右侧侧壁设置出气孔25,便于使涂覆过程中工作空腔4内的气流稳定。
[0025]所述出气孔25内设置过滤网,可以防止外界环境中的杂质进入工作空腔 4。
[0026]所述支撑杆7与工作台6转动连接，所述工作台6内设置旋转电机，所述旋转电机输出端与支撑杆7连接，可以控制晶圆进行旋转，从而提升涂覆效果。
[0027]所述工作箱1底端设置万向轮26，便于工作箱1的移动。
[0028]所述箱门5设置观察窗27，便于观察涂覆过程。
[0029]综上所述，该喷嘴快速更换的液体涂覆装置，在使用时，操作人员将晶圆夹持在夹持杆22之间，之后操作人员控制水泵21工作，水泵21带动带涂覆的液体通过喷头3向晶圆表面进行涂覆，之后操作人员控制液压杆11工作，带动喷头3进行上下方向的移动，同时控制驱动电机14工作，驱动电机14 输出端带动螺纹杆13进行转动，从而带动连接杆进行左右方向的移动，从而带动喷头3进行左右方向的移动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置，包括工作箱(1)、连接块(2)以及喷头(3)，其特征在于：所述工作箱(1)内置工作空腔(4)，所述工作空腔(4)前端设置箱门(5)，所述工作空腔(4)底端设置工作台(6)，所述工作台(6)顶端设置支撑杆(7)，所述支撑杆(7)顶端设置夹具(8)，所述工作空腔(4)左侧侧壁滑动设置固定板(9)，所述固定板(9)底端设置定位板(10)，所述定位板(10)顶端设置液压杆(11)，所述液压杆(11)输出端与固定板(9)连接，所述固定板(9)右端设置固定槽(12)，所述固定槽(12)内转动设置螺纹杆(13)，所述固定板(9)后端设置驱动电机(14)，所述驱动电机(14)输出端与螺纹杆(13)连接，所述连接块(2)内置螺纹孔，所述连接块(2)可滑动设置在固定槽(12)内且螺纹杆(13)穿过螺纹孔，所述连接块(2)右侧设置安装块(15)，所述安装块(15)右侧设置更换槽，所述更换槽上下两侧侧壁设置限位孔(16)，所述喷头(3)左侧的上下两端分别设置安装槽(17)，所述安装槽(17)内滑动设置限位杆(18)，所述安装槽(17)内设置复位弹簧(19)，所述复位弹簧(19)一端与限位杆(18)连接，复位弹簧(19)另一端与安装槽(17)槽底连接，所述工作箱(1)顶端设置水箱(20)，所述水箱(20)内设置待涂覆的液体，所述工作箱(1)顶端位于水箱...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯嘉荔，
申请(专利权)人：冯嘉荔，
类型：新型
国别省市：
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