一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法技术

本发明专利技术属于材料技术领域，尤其涉及一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：用磁控溅射的办法，利用金属钒靶，以氩气为反应气体，在石英玻璃上制备了较为致密的金属钒薄膜，然后将钒膜置于一定浓度的酸中处理，除去结晶性较差的金属钒颗粒，再把钒膜放入退火炉中热处理得到二氧化钒薄膜。操作简单，克服了原有钒膜过于致密的缺点，又不用引入其他掺杂元素，简化了制备工艺，在不影响太阳光调制效率的前提下得到了可见光透过率较高的二氧化钒薄膜，且得到的二氧化钒薄膜耐久性较好，具有十分广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法
本专利技术属于材料
，具体涉及一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法。
技术介绍
随着工业化进程的不断发展，能源消耗过大，污染问题越来越严重，如何节能减排，是当今社会各行各业需要解决的问题。目前建筑物能耗过大，市场上推出了low-E玻璃，用以减小建筑物能耗。其主要的工作原理是：在建筑玻璃的表面镀上一层特殊的膜层，在夏季天热时，表面的膜层会反射太阳光中部分的红外光，使室内温度不会上升很快。二氧化钒薄膜可以发挥类似的作用，在冬天即气温较低的时候引入太阳光中的红外光使室内温度升高，达到冬暖夏凉的效果，并可节约室内空调电能的用量。二氧化钒作为一种典型的热致变色材料，其相变温度约为68℃，当温度由低温进入高温时,二氧化钒会由单斜相(M相)转变为四方金红石相(R相)，此时对红外光的透过率急剧下降，而可见光部分的透过率基本不变，不会影响室内的正常采光。但二氧化钒用做智能窗主要存在以下几个技术问题：可见光透过率偏低、太阳光调制效率较低、相变温度过高、薄膜颜色偏黄、薄膜耐久性一般。中国专利CN本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：/n(1)基片准备：清洁基片；/n(2)制备纯钒膜：以金属钒靶为溅射靶材，氩气为反应气体，在基底上沉积得到纯钒膜；/n(3)酸处理：将纯钒膜至于酸中浸泡，取出后用去离子水冲洗，放入无水乙醇中超声；/n(4)烘干：将超声后的薄膜烘干2-10min；/n(5)退火：置于退火炉中处理，取出后即得。/n

【技术特征摘要】
1.一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：
(1)基片准备：清洁基片；
(2)制备纯钒膜：以金属钒靶为溅射靶材，氩气为反应气体，在基底上沉积得到纯钒膜；
(3)酸处理：将纯钒膜至于酸中浸泡，取出后用去离子水冲洗，放入无水乙醇中超声；
(4)烘干：将超声后的薄膜烘干2-10min；
(5)退火：置于退火炉中处理，取出后即得。


2.根据权利要求1所述的一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中所用的金属钒靶纯度为99.99wt％，氩气的纯度为99.9wt％。


3.根据权利要求1所述的一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中背底真空度为1×10-3-4×10-3Pa，溅射功率为50-100W，金属钒靶溅射的时间为5-20min。


4.根据权利要求1所述的一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中酸为盐酸。


5.根据权利要求4所述的一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：田守勤，王哲，李彬，刘秋芬，周学东，赵修建，
申请(专利权)人：武汉理工大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42