一种多室磁控多层光学镀膜设备及镀膜方法技术

本发明专利技术公开一种多室磁控多层光学镀膜设备及方法，其设备包括依次连接的工件进出装置、预处理室、工件进出转换室和镀膜室，预处理室和多个镀膜室分布于工件进出转换室外周；工件进出转换室与预处理室之间设有第一真空门阀机构，工件进出转换室与各镀膜室之间设有第二真空门阀机构，预处理室朝向工件进出装置的一侧设有旋转门机构。其方法是先由预处理室对工件架上的工件进行离子表面处理，然后进入工件进出转换室并提升至上部，其中一个镀膜室镀膜完成后通过工件进出转换室将工件架及工件送出，待镀膜的工件架下降并送入镀膜室。本发明专利技术可有效改善各镀膜室之间的真空度均匀性，从而改善镀膜后工件膜层性能的一致性，提高工件镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
一种多室磁控多层光学镀膜设备及镀膜方法
本专利技术涉及真空镀膜
，特别涉及一种多室磁控多层光学镀膜设备及镀膜方法。
技术介绍
在真空镀膜
中，传统的真空镀膜设备多采用单炉体的结构形式或直线式多室串联的结构形式。在实际生产中，单炉体结构形式的真空镀膜设备由于只有一个真空室，在每次镀膜结束后都需要向炉体内充入大气，而每次真空室大门打开的时间长短不一，因此容易对真空室内的气氛变化产生影响，真空度波动较大，最终每炉加工后的工件膜层性能都会有所区别，工件膜层质量不一。而直线式多室串联的真空镀膜设备中，各镀膜室通常采用矩形结构，镀膜室内的磁控靶只能分布在镀膜室的两侧壁上，难以实现均匀布置，同时，因工件架需要进出各镀膜室，因此相邻镀膜室之间的通道一般较大，镀膜作业时需要对镀膜室进行工作气体充气，隔气板的布置难度相当大，各镀膜室中的工作气氛状态不一，工作气体在磁控靶上的均匀性也就难以得到控制，最终也容易影响工件的镀膜质量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种多室磁控多层光学镀膜设备，该设备可有效改善各镀膜室之间的真空度均匀性，从而改善镀膜后工件膜层性能的一致性，提高工件镀膜质量及产量。本专利技术的另一目的在于提供一种通过上述设备实现的多室磁控多层光学镀膜方法。本专利技术的技术方案为：一种多室磁控多层光学镀膜设备，包括依次连接的工件进出装置、预处理室、工件进出转换室和镀膜室，其中镀膜室有多个，预处理室和各镀膜室分布于工件进出转换室的外周；工件进出转换室与预处理室之间的连接处设有第一真空门阀机构，工件进出转换室与各镀膜室之间的连接处分别设有第二真空门阀机构，预处理室朝向工件进出装置的一侧设有旋转门机构。所述工件进出装置为旋转升降台机构，工件进出装置的外侧还分别连接有工件装片平台和工件卸片平台。工件进出装置可采用市面上已有的旋转升降台，具有升降功能和旋转切换功能。在镀膜设备运行过程中，当预处理室的旋转门机构需要开启或关闭而发生摆动时，工件进出装置下降，为旋转门机构的摆动提供空间，避免产生干涉，当工件进出装置需要向预处理室内输送工件时，工件进出装置上升至其平台与预处理室内的平台相平齐。利用工件进出装置的旋转切换功能，工件进出装置可在工件装片平台和工件卸片平台之间进行切换，以实现工件送入或送出。所述工件进出转换室内设有工件架升降机构和工件架旋转机构，工件架升降机构设于工件进出转换室的上部，工件架旋转机构设于工件进出转换室的下部。所述工件架升降机构包括升降篮架、第一卷扬机和第一导向轮，第一卷扬机安装于工件进出转换室的顶部，第一卷扬机的钢丝绳一端与升降篮架顶部固定连接，工件架置于升降篮架内，升降篮架的外侧分布有若干与工件进出转换室内壁相接的第一导向轮。其中，升降篮架为框架式结构，第一卷扬机采用传统结构的卷扬机即可，根据设备的实际需求，第一卷扬机的数量可进行调整，第一卷扬机带动升降篮架和工件架进行升降运动时，为避免升降篮架产生晃动而对工件架及其上的工件造成影响，通过在升降篮架外壁设置第一导向轮，在第一导向轮沿工件进出转换室内壁进行上下移动的过程中，使升降篮架平稳地进行升降运动。沿第一导向轮的运动轨迹，所述工件进出转换室内壁还设有与第一导向轮相配合的第一导轨。第一导轨可为第一导向轮提供更加稳定的移动路径，进一步提高升降篮架和工件架升降时的平稳定，确保工件在工件架上的安装稳定性。所述工件架旋转机构包括旋转托盘和旋转驱动组件，旋转托盘位于工件进出转换室内，旋转托盘底部设置旋转驱动组件，旋转托盘顶面还设有若干排水平输送滚轮，水平输送滚轮的输送方向随旋转托盘的转动进行切换。其中，旋转驱动组件的具体结构和驱动方式均与现有同类设备的旋转驱动组件相同，可采用电机驱动，也可采用气缸驱动；旋转托盘作为工件架的接收平台和方向切换平台，使工件架可通过水平输送滚轮送至分布于工件进出转换室外周的预处理室和各镀膜室。所述第一真空门阀机构和第二真空阀门机构的主体结构相同，分别包括门阀本体、第二卷扬机、第二导向轮和门阀压紧气缸，门阀本体设于工件进出转换室的通道外侧，门阀本体外侧设有门阀压紧气缸，第二卷扬机安装于工件进出转换室顶部，第二卷扬机的钢丝绳一端与门阀本体的顶部固定连接，门阀本体两侧还设有第二导向轮。该结构中，工件进出转换室的通道两侧还向外延伸有侧壁，第二导向轮与这些侧壁相接，第二卷扬机采用传统结构的卷扬机即可，根据设备的实际需求，第二卷扬机的数量可进行调整，第二卷扬机带动门阀本体进行升降运动的过程中，为避免门阀本体产生晃动而影响门阀本体的定位，通过门阀本体两侧所设的第二导向轮，在第二导向轮沿工件进出转换室的侧壁进行上下移动的过程中，使门阀本体可平稳地进行升降运动(为进一步提高其稳定性，还可以在侧壁上设置与第二导向轮相配合的第二导轨)；在门阀本体落在工件进出转换室的通道外侧形成封闭结构时，门阀本体的外侧通过至少一个门阀压紧气缸将其进行压紧，使工件进出转换室与预处理室或镀膜室之间形成密封隔离且相互独立的真空室。作为一种优选方案，所述第一真空阀门机构中，门阀本体与工件进出转换室的相接面上还设有第一密封圈，第一密封圈的截面呈带圆角的三角形，第一密封圈固定安装于门阀本体上，其中一个圆尖端朝向工件进出转换室。工件进出转换室与预处理室之间是真空侧与大气侧之间的密封，门阀本体是依靠门阀压紧气缸进行压紧密封，由于门阀压紧气缸的压力有限，当预处理室充入大气的瞬间，门阀压紧气缸的压力往往不够，若采用截面为圆形或方形的传统密封圈，在压力不够的情况下，其截面变形量不够，这就容易影响门阀本体的密封效果，因此工件进出转换室容易产生漏气现象；若采用上述结构的第一密封圈，由于圆尖端在较小的压力下即可达到较大的压缩变形量，因此可形成非常好的密封效果，从而避免漏气现象的发生。作为另一种优选方案，所述第二真空阀门机构中，门阀本体与工件进出转换室的相接面上还设有第二密封圈，第二密封圈的截面呈Y型，第二密封圈固定安装于门阀本体上，第二密封圈的开口朝向工件进出转换室。工件进出转换室与镀膜室之间是真空侧与真空侧之间的密封，门阀本体两侧的压差较小，因此发生气体渗漏的现象也较少，采用上述结构的第二密封圈，在压紧力较小的情况下即可达到较好的密封隔离效果，因此可减少门阀压紧气缸的使用量，简化设备结构。本专利技术通过上述设备实现一种多室磁控多层光学镀膜方法，包括以下步骤：(1)工件架带着各工件，由工件进出装置送入预处理室进行离子表面处理；(2)完成离子表面处理后，打开第一真空门阀机构，等待工件镀膜的工件架进入工件进出转换室中，然后关闭第一真空门阀机构；(3)等待工件镀膜的工件架提升至工件进出转换室上部；(4)其中一个镀膜室镀膜完成后，先打开第二真空门阀机构并送出已完成工件镀膜的工件架，然后关闭第二真空门阀机构，打开第一真空门阀机构将已完成工件镀膜的工件架送出至预处理室中；(5)关闭第一真空门阀机构后，等待工件镀膜的工件架下落至工件进出转换室下部；然后打开第二真空门阀机构，将等待工件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多室磁控多层光学镀膜设备，其特征在于，包括依次连接的工件进出装置、预处理室、工件进出转换室和镀膜室，其中镀膜室有多个，预处理室和各镀膜室分布于工件进出转换室的外周；工件进出转换室与预处理室之间的连接处设有第一真空门阀机构，工件进出转换室与各镀膜室之间的连接处分别设有第二真空门阀机构，预处理室朝向工件进出装置的一侧设有旋转门机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种多室磁控多层光学镀膜设备，其特征在于，包括依次连接的工件进出装置、预处理室、工件进出转换室和镀膜室，其中镀膜室有多个，预处理室和各镀膜室分布于工件进出转换室的外周；工件进出转换室与预处理室之间的连接处设有第一真空门阀机构，工件进出转换室与各镀膜室之间的连接处分别设有第二真空门阀机构，预处理室朝向工件进出装置的一侧设有旋转门机构。


2.根据权利要求1所述一种多室磁控多层光学镀膜设备，其特征在于，所述工件进出装置为旋转升降台机构，工件进出装置的外侧还分别连接有工件装片平台和工件卸片平台。


3.根据权利要求1所述一种多室磁控多层光学镀膜设备，其特征在于，所述工件进出转换室内设有工件架升降机构和工件架旋转机构，工件架升降机构设于工件进出转换室的上部，工件架旋转机构设于工件进出转换室的下部。


4.根据权利要求3所述一种多室磁控多层光学镀膜设备，其特征在于，所述工件架升降机构包括升降篮架、第一卷扬机和第一导向轮，第一卷扬机安装于工件进出转换室的顶部，第一卷扬机的钢丝绳一端与升降篮架顶部固定连接，工件架置于升降篮架内，升降篮架的外侧分布有若干与工件进出转换室内壁相接的第一导向轮。


5.根据权利要求4所述一种多室磁控多层光学镀膜设备，其特征在于，沿第一导向轮的运动轨迹，所述工件进出转换室内壁还设有与第一导向轮相配合的第一导轨。


6.根据权利要求3所述一种多室磁控多层光学镀膜设备，其特征在于，所述工件架旋转机构包括旋转托盘和旋转驱动组件，旋转托盘位于工件进出转换室内，旋转托盘底部设置旋转驱动组件，旋转托盘顶面还设有若干排水平输送滚轮，水平输送滚轮的输送方向随旋转托盘的转动进行切换。


7.根据权利要求1所述一种多室磁控多层光学镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱建明，
申请(专利权)人：肇庆市科润真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44