温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种多室磁控多层光学镀膜设备及方法，其设备包括依次连接的工件进出装置、预处理室、工件进出转换室和镀膜室，预处理室和多个镀膜室分布于工件进出转换室外周；工件进出转换室与预处理室之间设有第一真空门阀机构，工件进出转换室与各镀膜室之间设...
该专利属于肇庆市科润真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过肇庆市科润真空设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。