【技术实现步骤摘要】
无需退火的全固态电致变色器件透明导电极的制作方法
本专利技术涉及电致变色
，具体涉及一种无需退火的全固态电致变色器件透明导电极的制作方法。
技术介绍
电致变色技术的研发和应用在过去几十年取得了长足的发展，由于建筑门窗、大尺寸交通工具天窗和侧窗对环境温度、紫外辐照、光线调控幅度以及寿命的具有较为严格要求，全固态无机电致变色薄膜技术成为了主流的产业化技术。全固态电致变色器件的结构如图1所示，是由大约5层功能膜层组成的三明治结构，其中TCO-1、TCO-2为透明导电极，EC为电致变色层，CE为反向电致变色层。当电压加载在两个透明导电极之间时，会驱动功能离子在EC和CE层之间运动，引发可逆的氧化还原反应，导致电致变色器件开始着色或则褪色。对于无机全固态电致变色技术路线，所有膜层都积附在玻璃或者透明柔性基板材料上，例如涤纶树脂、聚酰亚胺树脂等；而部分有机与无机相结合的技术路线，其TCO-2仍附着在另一片玻璃或有机透明的基板上。电致变色器件对透明导电极的导电率和透光率要求较高，特别是大尺寸的电致变色器件，透...
【技术保护点】
1.一种无需退火的全固态电致变色器件透明导电极的制作方法，其特征在于：使用磁控溅射工艺在玻璃基板上镀透明导电极时，将银金属靶材和透明导电极靶材共同溅射到玻璃基板上且不进行退火处理，使得透明导电极的方阻不超过10ohm/□，且透过率大于或者等于86.5％。/n
【技术特征摘要】
1.一种无需退火的全固态电致变色器件透明导电极的制作方法，其特征在于：使用磁控溅射工艺在玻璃基板上镀透明导电极时，将银金属靶材和透明导电极靶材共同溅射到玻璃基板上且不进行退火处理，使得透明导电极的方阻不超过10ohm/□，且透过率大于或者等于86.5％。
2.根据权利要求1所述无需退火的全固态电致变色器件透明导电极的制作方法，其特征在于，银金属与透明导电极的质量比为0.8％。
3.根据权利要求1所述无需退火的全固态电致变色器件透明...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵勇，
申请(专利权)人：苏州光昛智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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