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一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法技术
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文档序号:28931254
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本发明属于材料技术领域,尤其涉及一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法,其特征在于:用磁控溅射的办法,利用金属钒靶,以氩气为反应气体,在石英玻璃上制备了较为致密的金属钒薄膜,然后将钒膜置于一定浓度的酸中处理,除去结晶性较差的金属钒颗粒,再把钒膜...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。
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