【技术实现步骤摘要】
一种铸造单晶硅的热场结构
本技术属于硅片生产设备领域,具体涉及一种铸造单晶硅的热场结构。
技术介绍
晶体硅是生产太阳能电池最主要的材料,目前主要使用多晶硅材料,相比之下采用单晶硅制作太阳能电池的光电转换效率明显的优于多晶硅材料。但是就铸造角度上看,单晶硅铸造过程中对热场要求很高,由于长晶固液界面为凸界面和凹界面都易导致位错快速的增值,将会严重影响铸造单晶质量。且目前铸造单晶热场结构都是沿用常规多晶的热场结构,并不完全适应单晶硅制作过程中的散热要求。
技术实现思路
针对上述问题,本技术提出一种在改造多晶硅铸锭炉的基础上获得适用于铸造单晶硅的热场结构。实现上述技术目的,达到上述技术效果,本技术通过以下技术方案实现:一种铸造单晶硅的热场结构,包括隔热笼,设置在隔热笼内部的耐高温坩埚,设置在耐高温坩埚底端的石墨底板、DSS石墨导热板,隔热条和石墨导热条,所述DSS石墨导热板的上端面为凸台结构,所述的隔热条设置在所述DSS石墨导热板四周的边缘且悬挂在所述石墨底板的下方,所述的石墨导热条设置在所述石墨底板、DSS石墨导热板和隔热条三者合围的空隙中;在所述隔热笼的底部设有至少三层石墨硬毡隔热板,所述石墨硬毡隔热板的边缘自下而上呈台阶状逐级缩减。作为本技术的进一步改进,所述石墨底板的边长大于所述DSS石墨导热板的最大边长。作为本技术的进一步改进,所述隔热条侧面与所述DSS石墨导热板的端面接触,相对的另一侧面与所述的石墨底板的边缘齐平,所述隔热条的上端面所述石墨底板的底面接触。< ...
【技术保护点】
1.一种铸造单晶硅的热场结构,其特征在于:包括隔热笼(1),设置在隔热笼(1)内部的耐高温坩埚(4),设置在耐高温坩埚(4)底端的石墨底板(6)、DSS石墨导热板(5),隔热条(2)和石墨导热条(3),所述DSS石墨导热板(5)的上端面为凸台结构,所述的隔热条(2)设置在所述DSS石墨导热板(5)四周的边缘且悬挂在所述石墨底板(6)的下方,所述的石墨导热条(3)设置在所述石墨底板(6)、DSS石墨导热板(5)和隔热条(2)三者合围的空隙中;/n在所述隔热笼(1)的底部设有至少三层石墨硬毡隔热板(100),所述石墨硬毡隔热板(100)的边缘自下而上呈台阶状逐级缩减。/n
【技术特征摘要】
1.一种铸造单晶硅的热场结构,其特征在于:包括隔热笼(1),设置在隔热笼(1)内部的耐高温坩埚(4),设置在耐高温坩埚(4)底端的石墨底板(6)、DSS石墨导热板(5),隔热条(2)和石墨导热条(3),所述DSS石墨导热板(5)的上端面为凸台结构,所述的隔热条(2)设置在所述DSS石墨导热板(5)四周的边缘且悬挂在所述石墨底板(6)的下方,所述的石墨导热条(3)设置在所述石墨底板(6)、DSS石墨导热板(5)和隔热条(2)三者合围的空隙中;
在所述隔热笼(1)的底部设有至少三层石墨硬毡隔热板(100),所述石墨硬毡隔热板(100)的边缘自下而上呈台阶状逐级缩减。
2.根据权利要求1所述的一种铸造单晶硅的热场结构,其特征在于:所述石墨底板(6)的边长大于所述DSS石墨导热板(5)的最大边长。
3.根据权利要求2所述的一种铸造单晶硅的热场结构,其特征在于:所述隔热条(2)侧面与所述DSS石墨导热板(5)的端面接触,相对的另一侧面与所述的石墨底板(6)的边缘齐平,所述隔热条(2)的上端面与所述石墨底板(6)的底面接触。
4.根据权利要求3所述的一种铸造单...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈红荣,孙庚昕,蒋利洋,居发亮,胡动力,张华利,
申请(专利权)人:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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