本实用新型专利技术公开了一种单晶硅加工用高温加工装置，涉及单晶硅加工技术领域，包括加温箱，加温箱的内部放置有移动放置盒，移动放置盒内壁相对应的两侧均安装有电动伸缩固定杆，两个电动伸缩固定杆的输出端均安装有夹持固定板，加温箱内部且位于移动放置盒相对应的两侧均安装有内限位安装块，实用新型专利技术的有益效果为：该单晶硅加工用高温加工装置，通过使用滑动取出式的移动放置盒和升降式的上封闭盖组合，可以通过将移动放置盒拉出对单晶硅进行放置，并在放置完成后利用上封闭盖进行封闭，随后通过上安装箱对加温箱内部进行加热，完成对单晶硅的高温碳还原，对物料的拿取更加方便。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅加工用高温加工装置
本技术涉及单晶硅加工
，具体为一种单晶硅加工用高温加工装置。
技术介绍
半导体的导电能力介于导体和绝缘体之间，硅、锗、砷化镓和硫化镉都是半导体材料，半导体材料的电阻率随着温度升高和辐射强度的增大而减小，在半导体中加入微量的杂质，对其导电性有决定性影响，这是半导体材料的重要特性。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅，单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，在对单晶硅进行中加工的时候需要对其进行高温碳还原，但是目前使用的碳还原装置不方便对原料进行存放和拿取，使用极为不便。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种单晶硅加工用高温加工装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种单晶硅加工用高温加工装置，包括加温箱，所述加温箱的内部放置有移动放置盒，所述移动放置盒内壁相对应的两侧均安装有电动伸缩固定杆，两个所述电动伸缩固定杆的输出端均安装有夹持固定板，所述加温箱内部且位于移动放置盒相对应的两侧均安装有内限位安装块，两个所述内限位安装块靠近移动放置盒的一侧均开设有侧限位滑槽，两个所述侧限位滑槽的内部均转动连接有转动丝杆，所述侧限位滑槽的内部转动连接有连接滑块，所述转动丝杆贯穿连接滑块并与连接滑块螺纹连接，两个所述连接滑块之间安装有上封闭盖，所述上封闭盖的内部安装有温度传感器，所述加温箱内壁相对应的两侧均安装有上安装箱，所述加温箱的顶部设置有联动机构。优选的，所述加温箱内壁的底部开设有两个底滑槽，两个所述底滑槽的内部均滑动连接有底滑块，所述底滑块的顶部与移动放置盒固定连接。优选的，所述联动机构包括上安装箱，所述上安装箱的内部转动连接有转动杆，所述转动杆的外侧固定安装有第一锥齿轮，所述加温箱的顶部且位于上安装箱的内部转动连接有第二锥齿轮，所述转动丝杆与第二锥齿轮固定连接，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，所述上安装箱的一侧安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端穿入到上安装箱的内部并与转动杆固定连接。优选的，所述加温箱的一侧通过铰链转动连接有封闭门，所述封闭门上设置有观察窗，所述封闭门的一侧且位于观察窗的上方安装有把手。优选的，所述底滑槽和底滑块均为“T”字型结构。优选的，所述封闭门靠近观察窗的一侧安装有控制面板，所述电动伸缩固定杆、上安装箱和伺服电机均与控制面板电性连接。优选的，所述移动放置盒和上封闭盖均由金属铜制成。本技术提供了一种单晶硅加工用高温加工装置，具备以下有益效果：1、该单晶硅加工用高温加工装置，通过使用滑动取出式的移动放置盒和升降式的上封闭盖组合，可以通过将移动放置盒拉出对单晶硅进行放置，并在放置完成后利用上封闭盖进行封闭，随后通过上安装箱对加温箱内部进行加热，完成对单晶硅的高温碳还原，对物料的拿取更加方便。2、该单晶硅加工用高温加工装置，通过使用联动装置同时对两个转动丝杆进行连接和带动其转动，从而可以使两个连接滑块可以同步的上下运动，并带动上封闭盖平稳的上下运动，增加了高温碳还原装置运作的稳定性。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术的剖视图；图3为本技术图2中的A处放大图；图4为本技术图2中的B处放大图。图中：1、加温箱；2、移动放置盒；3、电动伸缩固定杆；4、夹持固定板；5、底滑槽；6、底滑块；7、内限位安装块；8、侧限位滑槽；9、转动丝杆；10、连接滑块；11、上封闭盖；12、温度传感器；13、上安装箱；14、转动杆；15、第一锥齿轮；16、第二锥齿轮；17、伺服电机；18、封闭门；19、观察窗；20、控制面板；21、把手。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种单晶硅加工用高温加工装置，包括加温箱1，加温箱1的内部放置有移动放置盒2，移动放置盒2内壁相对应的两侧均安装有电动伸缩固定杆3，两个电动伸缩固定杆3的输出端均安装有夹持固定板4，加温箱1内壁的底部开设有两个底滑槽5，两个底滑槽5的内部均滑动连接有底滑块6，底滑槽5和底滑块6均为“T”字型结构，增加了结构的稳定性，底滑块6的顶部与移动放置盒2固定连接，可以使移动放置盒2在加温箱1的内部平稳的移动，对移动放置盒2的位置进行限定，加温箱1内部且位于移动放置盒2相对应的两侧均安装有内限位安装块7，两个内限位安装块7靠近移动放置盒2的一侧均开设有侧限位滑槽8，两个侧限位滑槽8的内部均转动连接有转动丝杆9，侧限位滑槽8的内部转动连接有连接滑块10，转动丝杆9贯穿连接滑块10并与连接滑块10螺纹连接，两个连接滑块10之间安装有上封闭盖11，移动放置盒2和上封闭盖11均由金属铜制成，提高了移动放置盒2和上封闭盖11的导热性，上封闭盖11的内部安装有温度传感器12，加温箱1内壁相对应的两侧均安装有上安装箱13，加温箱1的顶部设置有联动机构，联动机构包括上安装箱13，上安装箱13的内部转动连接有转动杆14，转动杆14的外侧固定安装有第一锥齿轮15，加温箱1的顶部且位于上安装箱13的内部转动连接有第二锥齿轮16，转动丝杆9与第二锥齿轮16固定连接，第一锥齿轮15与第二锥齿轮16啮合，上安装箱13的一侧安装有伺服电机17，伺服电机17的输出端穿入到上安装箱13的内部并与转动杆14固定连接，可以利用联动装置同时带动两个转动丝杆9转动，加温箱1的一侧通过铰链转动连接有封闭门18，封闭门18上设置有观察窗19，封闭门18靠近观察窗19的一侧安装有控制面板20，电动伸缩固定杆3、上安装箱13和伺服电机17均与控制面板20电性连接，可以直接利用控制面板20控制高温碳还原装置，使用更加方便，封闭门18的一侧且位于观察窗19的上方安装有把手21，可以利用封闭门18对加温箱1进行封闭，避免热量的流失。综上，该单晶硅加工用高温加工装置，使用时，首先将移动放置盒2向外拉拽，并将需要进行碳还原的单晶硅放入到移动放置盒2的内部，并将移动放置盒2推回到加温箱1的内部，并关闭封闭门18，当放置完成后可以利用控制面板20控制移动放置盒2伸长，对移动放置盒2内部的单晶硅进行夹持，同时启动伺服电机17，并在第一锥齿轮15和第二锥齿轮16的传动下带动转动丝杆9转动，使连接滑块10向下移动，并使上封闭盖11盖在移动放置盒2的上方，对移动放置盒2进行封闭，并利用上安装箱13对加温箱1内的温度进行提高，对移动放置盒2内部的单晶硅进行碳还原。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其实用新本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种单晶硅加工用高温加工装置，包括加温箱(1)，其特征在于：所述加温箱(1)的内部放置有移动放置盒(2)，所述移动放置盒(2)内壁相对应的两侧均安装有电动伸缩固定杆(3)，两个所述电动伸缩固定杆(3)的输出端均安装有夹持固定板(4)，所述加温箱(1)内部且位于移动放置盒(2)相对应的两侧均安装有内限位安装块(7)，两个所述内限位安装块(7)靠近移动放置盒(2)的一侧均开设有侧限位滑槽(8)，两个所述侧限位滑槽(8)的内部均转动连接有转动丝杆(9)，所述侧限位滑槽(8)的内部转动连接有连接滑块(10)，所述转动丝杆(9)贯穿连接滑块(10)并与连接滑块(10)螺纹连接，两个所述连接滑块(10)之间安装有上封闭盖(11)，所述上封闭盖(11)的内部安装有温度传感器(12)，所述加温箱(1)内壁相对应的两侧均安装有上安装箱(13)，所述加温箱(1)的顶部设置有联动机构。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅加工用高温加工装置，包括加温箱(1)，其特征在于：所述加温箱(1)的内部放置有移动放置盒(2)，所述移动放置盒(2)内壁相对应的两侧均安装有电动伸缩固定杆(3)，两个所述电动伸缩固定杆(3)的输出端均安装有夹持固定板(4)，所述加温箱(1)内部且位于移动放置盒(2)相对应的两侧均安装有内限位安装块(7)，两个所述内限位安装块(7)靠近移动放置盒(2)的一侧均开设有侧限位滑槽(8)，两个所述侧限位滑槽(8)的内部均转动连接有转动丝杆(9)，所述侧限位滑槽(8)的内部转动连接有连接滑块(10)，所述转动丝杆(9)贯穿连接滑块(10)并与连接滑块(10)螺纹连接，两个所述连接滑块(10)之间安装有上封闭盖(11)，所述上封闭盖(11)的内部安装有温度传感器(12)，所述加温箱(1)内壁相对应的两侧均安装有上安装箱(13)，所述加温箱(1)的顶部设置有联动机构。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置，其特征在于：所述加温箱(1)内壁的底部开设有两个底滑槽(5)，两个所述底滑槽(5)的内部均滑动连接有底滑块(6)，所述底滑块(6)的顶部与移动放置盒(2)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置，其特征在于：所述联动机构包括上安装箱(13)，所述上安装箱(13)的内部转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：万文，
申请(专利权)人：安徽环巢光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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