一种单晶硅加工用高温炭还原装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅加工用高温炭还原装置，涉及单晶硅加工技术领域，包括工作台，工作台内腔的底部转动连接有转动柱，工作台内腔的底部远离转动柱的一端固定连接有第一伺服电机，第一伺服电机的输出端固定套有主动锥齿轮，本实用新型专利技术的有益效果为：该单晶硅加工用高温炭还原装置，通过设置有连接板、筒盖以及顶盖，当单晶硅还原完成后，第二伺服电机的输出端带动螺纹杆进行转动，螺纹杆带动滑块沿着转动柱内腔向上滑动，带动连接板向上移动，使连接板带动筒盖向上移动，使筒盖带动顶盖上移，使得固定在顶盖底部的单晶硅从高温筒内部取出，不需要工作人员人工从高温筒内部取出，从而提高了本装置对单晶硅的高温炭还原加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅加工用高温炭还原装置
本技术涉及单晶硅加工
，具体为一种单晶硅加工用高温炭还原装置。
技术介绍
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。但是现有的高温炭还原装置需要人工将单晶硅取出，高温炭还原装置内部温度较高，容易使得工作人员受伤，同时使得工作人员的劳动强度增加，使得现有的高温炭还原装置对单晶硅进行高温炭还原加工效率较低。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种单晶硅加工用高温炭还原装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种单晶硅加工用高温炭还原装置，包括工作台，所述工作台内腔的底部转动连接有转动柱，所述工作台内腔的底部远离转动柱的一端固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端固定套有主动锥齿轮，所述转动柱的外侧固定套接有从动锥齿轮，所述转动柱的顶端延伸至工作台的上方，所述转动柱的顶端固定连接有第二伺服电机，所述转动柱的内部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端与第二伺服电机的输出端固定连接，所述螺纹杆的外侧通过螺纹连接有滑块，所述滑块远离第一伺服电机的一侧延伸至转动柱的外侧，所述滑块的一侧固定连接有连接板，所述工作台的顶部且位于连接板的下方固定连接有高温筒，所述高温筒的内腔的底部固定连接有石英坩埚，所述石英坩埚的外侧套有电加热体，所述高温筒的顶部放置有筒盖，所述石英坩埚的顶端放置有顶盖，所述筒盖的底部与顶盖的顶部固定连接，所述筒盖的顶部与连接板的底部固定连接，所述高温筒远离转动柱的一侧设置有真空泵。优选的，所述顶盖的内部开设有移动槽，所述移动槽内壁的一侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有夹持板，所述夹持板的底部延伸至顶盖的下方，所述顶盖的底部远离夹持板的一端固定连接有固定板。优选的，所述工作台内壁的底部远离第一伺服电机的一端转动连接有连接柱，所述工作台内壁的底部远离连接柱的一端固定连接有第三伺服电机，所述连接柱的外侧固定套接有从动齿轮，所述第三伺服电机的输出端固定套有主动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮啮合连接，所述从动齿轮的直径与主动齿轮的直径之比为二比一。优选的，所述连接柱的顶端延伸至工作台的上方，所述连接柱靠近转动柱的一侧固定连接有储存筒，所述连接柱远离转动柱的一侧固定连接有存放筒，所述储存筒与存放筒均和工作台的顶部转动连接。优选的，所述存放筒与储存筒内腔的底部均固定连接有气缸，所述气缸的顶端均固定连接有移动板，两个所述移动板分别与储存筒和存放筒的内腔滑动连接，所述移动板的顶部均固定连接有固定夹板，且固定夹板的数量设置为六个。优选的，所述从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，所述从动锥齿轮的直径与主动锥齿轮的直径之比为三比一。本技术提供了一种单晶硅加工用高温炭还原装置，具备以下有益效果：1、该单晶硅加工用高温炭还原装置，通过设置有连接板、筒盖以及顶盖，当单晶硅还原完成后，此时第二伺服电机的输出端带动螺纹杆进行转动，此时螺纹杆带动滑块沿着转动柱内腔向上滑动，使得滑块带动连接板向上移动，使得连接板带动筒盖向上移动，使得筒盖带动顶盖上移，使得固定在顶盖底部的单晶硅从高温筒内部取出，不需要工作人员人工从高温筒内部取出，从而提高了本装置对单晶硅的高温炭还原加工效率。2、该单晶硅加工用高温炭还原装置，通过设置有移动槽、存放筒以及连接柱，固定在顶盖底部的单晶硅从高温筒内部取出后可以放置在储存筒内部，然后第三伺服电机的输出端使得主动齿轮转动，带动从动齿轮转动，从而使得连接柱带动存放筒移动至连接板的下方，然后可以将存放筒内部待加工的单晶硅固定在顶盖的底部，然后再进行高温炭还原加工，从而使得本装置不需要人工对单晶硅进行上料以及下料，从而提高了本装置对单晶硅的高温炭还原加工效率。附图说明图1为本技术内部结构示意图；图2为本技术高温筒内部结构示意图；图3为本技术储存筒内部结构示意图；图4为本技术图2的A处放大图。图中：1、工作台；2、转动柱；3、从动锥齿轮；4、主动锥齿轮；5、第一伺服电机；6、螺纹杆；7、第二伺服电机；8、滑块；9、连接板；10、筒盖；11、高温筒；12、电加热体；13、石英坩埚；14、顶盖；15、移动槽；16、电动伸缩杆；17、固定板；18、夹持板；19、真空泵；20、连接柱；21、从动齿轮；22、第三伺服电机；23、主动齿轮；24、存放筒；25、储存筒；26、移动板；27、固定夹板；28、气缸。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种单晶硅加工用高温炭还原装置，包括工作台1，工作台1内腔的底部转动连接有转动柱2，工作台1内腔的底部远离转动柱2的一端固定连接有第一伺服电机5，第一伺服电机5的输出端固定套有主动锥齿轮4，转动柱2的外侧固定套接有从动锥齿轮3，转动柱2的顶端延伸至工作台1的上方，转动柱2的顶端固定连接有第二伺服电机7，转动柱2的内部转动连接有螺纹杆6，螺纹杆6的顶端与第二伺服电机7的输出端固定连接，螺纹杆6的外侧通过螺纹连接有滑块8，滑块8远离第一伺服电机5的一侧延伸至转动柱2的外侧，滑块8的一侧固定连接有连接板9，工作台1的顶部且位于连接板9的下方固定连接有高温筒11，高温筒11的内腔的底部固定连接有石英坩埚13，石英坩埚13的外侧套有电加热体12，高温筒11的顶部放置有筒盖10，石英坩埚13的顶端放置有顶盖14，筒盖10的底部与顶盖14的顶部固定连接，筒盖10的顶部与连接板9的底部固定连接，高温筒11远离转动柱2的一侧设置有真空泵19。顶盖14的内部开设有移动槽15，移动槽15内壁的一侧固定连接有电动伸缩杆16，电动伸缩杆16的输出端固定连接有夹持板18，夹持板18的底部延伸至顶盖14的下方，顶盖14的底部远离夹持板18的一端固定连接有固定板17，使得单晶硅能够稳定的固定在固定板17与夹持板18之间，工作台1内壁的底部远离第一伺服电机5的一端转动连接有连接柱20，工作台1内壁的底部远离连接柱20的一端固定连接有第三伺服电机22，连接柱20的外侧固定套接有从动齿轮21，第三伺服电机22的输出端固定套有主动齿轮23，从动齿轮21与主动齿轮23啮合连接，从动齿轮21的直径与主动齿轮23的直径之比为二比一，使得主动齿轮23带动从动齿轮21转动的更为精准，从而使得从动齿轮21带动连接柱20转动的角度更为精确，连接柱20的顶端延伸至工作台1的上方，连接柱20靠近转动柱2的一侧固定连接有储存筒25，连接柱2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅加工用高温炭还原装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)内腔的底部转动连接有转动柱(2)，所述工作台(1)内腔的底部远离转动柱(2)的一端固定连接有第一伺服电机(5)，所述第一伺服电机(5)的输出端固定套有主动锥齿轮(4)，所述转动柱(2)的外侧固定套接有从动锥齿轮(3)，所述转动柱(2)的顶端延伸至工作台(1)的上方，所述转动柱(2)的顶端固定连接有第二伺服电机(7)，所述转动柱(2)的内部转动连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的顶端与第二伺服电机(7)的输出端固定连接，所述螺纹杆(6)的外侧通过螺纹连接有滑块(8)，所述滑块(8)远离第一伺服电机(5)的一侧延伸至转动柱(2)的外侧，所述滑块(8)的一侧固定连接有连接板(9)，所述工作台(1)的顶部且位于连接板(9)的下方固定连接有高温筒(11)，所述高温筒(11)的内腔的底部固定连接有石英坩埚(13)，所述石英坩埚(13)的外侧套有电加热体(12)，所述高温筒(11)的顶部放置有筒盖(10)，所述石英坩埚(13)的顶端放置有顶盖(14)，所述筒盖(10)的底部与顶盖(14)的顶部固定连接，所述筒盖(10)的顶部与连接板(9)的底部固定连接，所述高温筒(11)远离转动柱(2)的一侧设置有真空泵(19)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅加工用高温炭还原装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)内腔的底部转动连接有转动柱(2)，所述工作台(1)内腔的底部远离转动柱(2)的一端固定连接有第一伺服电机(5)，所述第一伺服电机(5)的输出端固定套有主动锥齿轮(4)，所述转动柱(2)的外侧固定套接有从动锥齿轮(3)，所述转动柱(2)的顶端延伸至工作台(1)的上方，所述转动柱(2)的顶端固定连接有第二伺服电机(7)，所述转动柱(2)的内部转动连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的顶端与第二伺服电机(7)的输出端固定连接，所述螺纹杆(6)的外侧通过螺纹连接有滑块(8)，所述滑块(8)远离第一伺服电机(5)的一侧延伸至转动柱(2)的外侧，所述滑块(8)的一侧固定连接有连接板(9)，所述工作台(1)的顶部且位于连接板(9)的下方固定连接有高温筒(11)，所述高温筒(11)的内腔的底部固定连接有石英坩埚(13)，所述石英坩埚(13)的外侧套有电加热体(12)，所述高温筒(11)的顶部放置有筒盖(10)，所述石英坩埚(13)的顶端放置有顶盖(14)，所述筒盖(10)的底部与顶盖(14)的顶部固定连接，所述筒盖(10)的顶部与连接板(9)的底部固定连接，所述高温筒(11)远离转动柱(2)的一侧设置有真空泵(19)。


2.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温炭还原装置，其特征在于：所述顶盖(14)的内部开设有移动槽(15)，所述移动槽(15)内壁的一侧固定连接有电动伸缩杆(16)，所述电动伸缩杆(16)的输出端固定连接有夹持板(18)，所述夹持板(18)的底部延伸至顶盖(14)的下方，所述顶盖(14)的底部远离夹持板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：万文，
申请(专利权)人：安徽环巢光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34