批量生产移交支持系统及半导体制造系统技术方案

一种通过网路（２０）将管理在半导体装置的试制过程中生成或取得的信息的试制管理计算机（１０）和管理半导体装置的批量生产的批量生产管理计算机（３０）连接的批量生产移交支持系统，将批量生产移交源管理计算机（１０）接收的质量和制法信息移交给批量生产移交目的地计算机（３０），同时，机差改正信息输入接收装置（１４）接收对因批量生产移交源和批量生产移交目的地的半导体制造装置之间的机差而引起的半导体装置的产品质量的差异进行修正的机差改正信息的输入，利用机差改正信息提供装置（１６）将该接收的机差改正信息存储到批量生产移交目的地管理计算机（３０）可访问的数据库（４０）中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及支持将半导体装置交付批量生产的批量生产移交支持系统及进行半导体装置的批量生产移交的半导体制造系统。
技术介绍
近年来，多数半导体器件制造商将以SOC(在片系统)为代表的系统LSI作为主力产品制造。该系统LSI大多在开始生产时就决定了其一生的生产数量。因此，对于半导体器件的制造商，为了获取最大利润，即使是生产新产品，从一开始就以适当的批量进行生产并在短时间内完成生产，这一点很重要。因此，在试制完成后，希望迅速转向批量生产。过去，通过移交质量信息和制法信息来进行新产品的批量生产移交。但是，实际的批量生产移交只有质量信息和制法信息是不够的。这是因为，因半导体制造装置(以下简称‘制造装置’)的制造商不同或制造装置的规格不同、即制造装置间存在‘机差’故半导体器件的产品不同。作为解决该机差的方法，有美国Intel公司的精密复制(CopyExactly)(例如，参照非专利文献1)。该方法是通过一次大量购入同一制造商的制造装置并使该制造装置的规格完全一致来尽可能减小机差。非专利文献“利用0.25微米加工技术生产业界第1个闪速存储器”，平成10年2月3日，平成15年12月9日检索，因特网址<URL:http://www.intel.co.jp/jp/intel/pr/press98/025FLASH.htm> 但是，上述方法因必须一次投入大量的资金故几乎所有的半导体器件制造商实际上都不能采用。因此，在实际批量生产移交时，将从事新产品开发或试制的工程师派往批量生产移交单位，去解决上述机差的问题。即，通过该工程师的工作经验去解决上述机差的问题，通过在批量生产移交单位生产出和试制品相同的产品来进行批量生产移交。此外，因半导体装置的制造工艺有很多精密加工，故和其它制造领域相比容易受机差的影响，必须解决上述机差的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种批量生产移交支持系统及半导体制造系统，可以顺利地进行半导体装置的批量生产移交。本专利技术的批量生产移交支持系统是通过网路将管理在半导体装置的试制过程中生成或取得的信息的批量生产移交源管理计算机和管理半导体装置的批量生产的批量生产移交目的地管理计算机连接的批量生产移交支持系统，其特征在于将批量生产移交源管理计算机接收的质量和制法信息移交给批量生产移交目的地计算机，同时，机差改正信息输入接收装置接收对因批量生产移交源和批量生产移交目的地的半导体制造装置之间的机差而引起的半导体装置的产品质量的差异进行修正的机差改正信息的输入，利用机差改正信息提供装置将该接收的机差改正信息存储到批量生产移交目的地管理计算机可访问的数据库中。在本专利技术的批量生产移交支持系统中，当数据库与批量生产移交目的地计算机连接时，批量生产移交目的地管理计算机通过数据库登录装置将经网路接收的机差改正信息登录到数据库中，将由检索要求数据输入接收装置接收的检索要求数据作为检索关键词，利用数据检索装置对数据库存储的机差改正信息进行检索，再输出检索结果数据。此外，在本专利技术的批量生产移交支持系统中，当数据库与批量生产移交源管理计算机连接时，批量生产移交源管理计算机通过数据库登录装置将从存储装置读出的机差改正信息登录到数据库中，当经网路接收到由批量生产移交目的地管理计算机发送的检索要求数据时，将接收的检索要求数据作为检索关键词，利用数据库检索装置对数据库存储的机差改正信息进行检索，再向批量生产移交目的地管理计算机发送检索结果数据，批量生产移交目的地管理计算机经网路接收从批量生产移交源管理计算机发送来的检索结果数据，并输出接收的检索结果数据。在本专利技术的批量生产移交支持系统中，当无论是批量生产移交源管理计算机还是批量生产移交目的地管理计算机，数据库都是与和网路连接的远端计算机连接时，批量生产移交源管理计算机向远端计算机发送从存储装置读出的机差改正信息，远端计算机通过数据库登录装置将经网路接收的机差改正信息登录到数据库中，当经网路接收到由批量生产移交目的地管理计算机发送的检索要求数据时，将接收的检索要求数据作为检索关键词，利用数据库检索装置对数据库存储的机差改正信息进行检索，再向批量生产移交目的地管理计算机发送检索结果数据，批量生产移交目的地管理计算机经网路接收从批量生产移交源管理计算机发送来的检索结果数据，并输出接收的检索结果数据。在本专利技术的批量生产移交支持系统中，上述批量生产移交目的地计算机接收从批量生产得到的机差改正信息，并将其登录到批量生产移交源管理计算机可访问的数据库中。本专利技术如上所述，通过除了质量信息和制法信息之外还移交机差改正信息，可以顺利地进行半导体装置的批量生产移交。此外，通过对基于作为检索结果数据的机差改正信息的制造方法数据进行修正，可以使批量生产制造的半导体装置产品和批量生产移交时的质量信息相同，可以顺利地进行半导体装置的批量生产移交。附图说明图1是用来说明本专利技术实施形态1的半导体装置的制造工作流程的图。图2是表示移交给批量生产线的质量信息和制法信息的图。图3是表示移交给批量生产线的机差改正信息的图。图4是用来说明本专利技术实施形态1的批量生产移交支持系统的方框图。图5是用来说明本专利技术实施形态1的第2变形例的方框图。图6是用来说明本专利技术实施形态1的第3变形例的方框图。图7是用来说明本专利技术实施形态2的批量生产移交支持系统的方框图。图8是用来说明本专利技术实施形态2的第2变形例的方框图。图9是用来说明本专利技术实施形态2的第3变形例的方框图。图10是用来说明本专利技术实施形态3的批量生产移交支持系统的方框图。图11是用来说明本专利技术实施形态3的第2变形例的方框图。图12是用来说明本专利技术实施形态3的第3变形例的方框图。图13是用来说明本专利技术实施形态4的机差改正信息生成装置的方框图。图14是用来说明本专利技术实施形态5的半导体制造系统的方框图。图15是用来说明本专利技术实施形态5的变形例的方框图。图16是用来说明本专利技术实施形态6的半导体制造系统的方框图。图17是用来说明本专利技术实施形态6的变形例的方框图。图18是用来说明本专利技术实施形态7的半导体制造系统的方框图。图19是用来说明本专利技术实施形态7的变形例的方框图。图20是表示本专利技术实施形态8的已登录在数据库中的机差改正信息的图。图21是用来说明本专利技术实施形态9的蚀刻加工的机差改正的概念图。图22是用来说明本专利技术实施形态9的变形例的方框图。专利技术的具体实施例方式实施形态1. 首先，在本专利技术的实施形态1中，说明半导体器件制造商的半导体装置的制造工作流程。图1是在本专利技术的实施形态1中，用来说明半导体器件制造商的半导体装置的制造工作流程的图。如图1所示，设计者和顾客之间讨论半导体装置的规格，规格决定后，便进行电路模拟试验和电路设计。电路设计一结束，便做成各层的电路图形数据。做成的图形数据送给半导体器件制造商的掩膜设计部门或掩膜业者，加工成掩膜数据。然后，掩膜业者根据该掩膜数据做成光掩膜。与该光掩膜的制作并行，进行使用了工艺模拟的工艺设计，决定首次试制规格方案。在该首次试制规格方案的基础上，担任像晶体管或电容那样的模块和将该模块集成后的产品的整个工艺设计的集成工程师(以下称作‘I-Eng’)和从事像光刻或干腐蚀那样的元器件技术工作的元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种批量生产移交支持系统，是通过网路将管理在制造半导体装置的试制品的过程中生成或取得的信息的批量生产移交源管理计算机和管理半导体装置的批量生产的批量生产移交目的地管理计算机连接的批量生产移交支持系统，其特征在于，上述批量生产移交源管理计算机具有：接收表示半导体装置的质量的质量信息的输入和用来实现该半导体装置的质量的制法信息的输入的质量／制法信息输入接收装置；经网络对上述批量生产管理计算机发送由上述质量／制法信息接收装置接收的上述质量和制法信息的质量／制法信息发 送装置；接收修正因担任制造半导体装置的结构工序的半导体制造装置产生的机差引起的半导体装置的质量的差异的机差改正信息的输入的机差改正信息输入接收装置；将由上述机差改正信息输入接收装置接收的上述机差改正信息存储在规定的存储装置中 的机差改正信息存储装置；从上述存储装置中读出由上述机差改正信息存储装置存储在上述存储装置中的上述机差改正信息再将其存储到上述批量生产移交目的地管理计算机可访问的数据库中的机差改正信息提供装置，上述批量生产移交目的地管理计算机 具有：经上述网络接收由上述批量生产移交源管理计算机的上述质量／制法信息发送装置发送的上述质量和制法信息的质量／制法信息接收装置；将由上述质量／制法信息接收装置接收的上述质量和制法信息存储在规定的存储装置中的质量和制法信息存储 装置。...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋森裕之，大山泰，西村英孝，小林秀，
申请(专利权)人：半导体先端科技株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]