一种环形触点射频微机械开关及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，开关包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构及用于直流驱动的驱动结构。共面波导结构包括位于中间的输入信号线、输出信号线和位于两侧的地线。悬臂梁右顶端下方有环形触点，悬臂梁下面的衬底结构表面有驱动电极。制备方法包括：在衬底上溅射金属并刻蚀形成共面波导结构和驱动结构；在共面波导结构和驱动结构上涂覆一层牺牲层；各向异性刻蚀牺牲层形成环形凹槽；各向同性刻蚀，拓展凹槽形成圆环形触点；在牺牲层上溅射一层金属并刻蚀出悬臂梁结构，然后电镀增厚；腐蚀牺牲层释放结构获得开关。本发明专利技术环形触点结构大大增加触点接触面积，从而提高开关导通态性能。

【技术实现步骤摘要】
一种环形触点射频微机械开关及其制备方法
本专利技术涉及一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，属于射频微机械开关

技术介绍
国际上对于射频微机械开关的研究已有二十多年。从开关方式上，射频微机械开关大致可以分为两类：接触式开关和电容式开关。其中，(1)接触式开关的一般结构是：采用静电或其它驱动方式控制信号线的接触或断开，达到控制开关通断的效果，其隔离度决定于断开部分的寄生电容。接触式开关的寄生电容随着频率的上升，迅速增大，导致开关的隔离度随之迅速恶化。(2)电容式开关的一般结构是：采用静电驱动方式控制膜桥的运动，达到改变跨接在信号线和地线之间的电容的大小的效果，来控制信号的通断。与一般接触式开关相比电容式开关在某个频率范围表现出较高的隔离度，其隔离度决定于膜桥的寄生电阻。且由于趋肤效应，随着频率的上升，寄生电阻迅速恶化导致其隔离度下降。接触式射频微机械开关的导通态性能主要决定于其触点结构。目前的触点技术是采用点式结构，这种结构的加工步骤较为简单，但是点式结构接触面较小。触点的另一个问题是其可靠性问题。触点的表面态，接触疲劳和大电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种环形触点射频微机械开关，其特征在于，所述射频微机械开关包括衬底结构(1)、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构以及用于直流驱动的驱动结构；所述共面波导结构包括输入信号线(2)、输出信号线(3)、第一地线(4)和第二地线(5)，所述悬臂梁结构包括L型悬臂梁(7)和环形触点(8)，所述驱动结构为驱动电极(6)；衬底结构(1)的上表面的形状为矩形，输入信号线(2)和输出信号线(3)均设置于衬底结构(1)的上表面的中间，且输入信号线(2)和输出信号线(3)均垂直于衬底结构(1)的宽边，输入信号线(2)和输出信号线(3)之间存在间距，第一地线(4)和第二地线(5)均设置于衬底结构(1...

【技术特征摘要】
1.一种环形触点射频微机械开关，其特征在于，所述射频微机械开关包括衬底结构(1)、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构以及用于直流驱动的驱动结构；所述共面波导结构包括输入信号线(2)、输出信号线(3)、第一地线(4)和第二地线(5)，所述悬臂梁结构包括L型悬臂梁(7)和环形触点(8)，所述驱动结构为驱动电极(6)；衬底结构(1)的上表面的形状为矩形，输入信号线(2)和输出信号线(3)均设置于衬底结构(1)的上表面的中间，且输入信号线(2)和输出信号线(3)均垂直于衬底结构(1)的宽边，输入信号线(2)和输出信号线(3)之间存在间距，第一地线(4)和第二地线(5)均设置于衬底结构(1)的上表面，第一地线(4)和第二地线(5)分别位于输入信号线(2)两侧，同时，第一地线(4)和第二地线(5)分别位于输出信号线(3)两侧，输入信号线(2)的一端靠近衬底结构(1)的宽边缘，L型悬臂梁(7)的短臂与输入信号线(2)垂直，且L型悬臂梁(7)的短臂端部与输入信号线(2)的另一端相连，L型悬臂梁(7)的长臂与衬底结构(1)平行，L型悬臂梁(7)的长臂端部下表面设有环形触点(8)，驱动电极(6)设置于衬底结构(1)的上表面，且位于L型悬臂梁(7)的长臂下方；
所述驱动电极(6)通电从而驱动L型悬臂梁(7)...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜理利，黄镇，王冬蕊，吴杰，黄旼，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十五研究所，
类型：发明
国别省市：江苏;32