一种单向阀及具有该单向阀的真空设备制造技术

本发明专利技术提供一种单向阀及具有该单向阀的真空设备，属于真空设备技术领域，其中，单向阀包括：阀体，所述阀体沿轴向依次设有进气口和出气口；所述阀体内设有阀芯，所述阀芯上连接有弹性件，所述弹性件具有驱动阀芯对所述阀体内的气体通道进行封闭的弹性力，所述阀芯具有克服弹性件的弹性力朝向出气口的方向进行移动的开启位置；本发明专利技术的单向阀，当安装在真空设备上后，可用于连通真空设备的高压腔和低压腔，并且在阀体内设置的阀芯通过弹性件保持在封闭状态，当真空设备的高压腔的压力过高时，可推动阀芯克服弹性件的弹性力朝向开启位置移动，从而使部分气体通过单向阀的气体通道回流到低压腔，以实现第一时间应对真空设备的突发工况。发工况。发工况。

【技术实现步骤摘要】
一种单向阀及具有该单向阀的真空设备


[0001]本专利技术涉及真空设备
，具体涉及一种单向阀及具有该单向阀的真空设备。

技术介绍

[0002]在某些特殊工况中，需要工艺气体有条件的单向流动。一般采用真空设备或压缩设备，如罗茨鼓风机、罗茨压缩机、罗茨真空泵等。上述设备在工作时，当前级气体压力异常增大，罗茨转子会卡死或功耗超警戒值停机。常见的解决方案是：通过调节罗茨的转速来改变压缩率。但是现有方法的控制逻辑复杂，不能实现第一时间应对突发工况。

技术实现思路

[0003]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的真空设备，不能第一时间应对突发工况的缺陷，从而提供一种单向阀及具有该单向阀的真空设备。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种单向阀，用于连接在真空设备的壳体上，包括：阀体，所述阀体沿轴向依次设有进气口和出气口；
[0005]所述阀体内设有阀芯，所述阀芯上连接有弹性件，所述弹性件具有驱动所述阀芯对所述阀体内的气体通道进行封闭的弹性力；
[0006]所述阀芯在所述气体通道内朝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单向阀，其特征在于，用于连接在真空设备的壳体(1)上，包括：阀体(5)，所述阀体(5)沿轴向依次设有进气口(6)和出气口(7)；所述阀体(5)内设有阀芯(8)，所述阀芯(8)上连接有弹性件(9)，所述弹性件(9)具有驱动所述阀芯(8)对所述阀体(5)内的气体通道进行封闭的弹性力；所述阀芯(8)在所述气体通道内朝向所述进气口(6)的方向设置，所述阀芯(8)具有克服所述弹性件(9)的弹性力朝向所述出气口(7)的方向进行移动的开启位置。2.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述进气口(6)设置在所述阀体(5)的侧壁上。3.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述出气口(7)设置在所述阀体(5)的侧壁上。4.根据权利要求3所述的单向阀，其特征在于，所述出气口(7)在所述阀体(5)的侧壁上具有对称设置的两个。5.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述阀体(5)上具有法兰件(10)，所述法兰件(10)用于与真空设备的壳体(1)连接。6.根据权利要求5所述的单向阀，其特征在于，所述阀体(5)的外壁上，在所述法兰件(10)与所述进气口(6)之...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，岳向成，王国梁，
申请(专利权)人：中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：