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本发明提供一种单向阀及具有该单向阀的真空设备，属于真空设备技术领域，其中，单向阀包括：阀体，所述阀体沿轴向依次设有进气口和出气口；所述阀体内设有阀芯，所述阀芯上连接有弹性件，所述弹性件具有驱动阀芯对所述阀体内的气体通道进行封闭的弹性力，所述...
该专利属于中科九微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科九微科技有限公司授权不得商用。

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