一种螺杆真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种螺杆真空泵，包括泵壳、螺杆转子和轴承组件，螺杆转子设置在泵壳内；轴承组件设置于螺杆转子和泵壳之间，轴承组件包括固定设置在泵壳内的轴承座；轴承座的内周和/或螺杆转子的外周沿轴向间隔设有若干环形密封槽，若干环形密封槽适于在轴承座和螺杆转子装配后在二者之间形成若干用于阻挡气流的环形扰流腔，以实现轴承座与螺杆转子的转动密封。通过上述设计，气体在流经轴承座和螺杆转子之间的间隙时会在扰流腔内产生涡流，从而对气体的流动产生阻碍，形成有效的密封，避免了传统的密封圈密封在高温高速转动下磨损严重，导致密封性降低或失效的问题，有效地防止油雾进入真空腔内，提高了泵内真空环境的稳定性和抽真空效果。抽真空效果。抽真空效果。

【技术实现步骤摘要】
一种螺杆真空泵


[0001]本专利技术涉及真空泵
，具体涉及一种螺杆真空泵。

技术介绍

[0002]随着现代工业技术的发展，越来越多的产业需要使用真空技术。例如，半导体生产、太阳能技术、航空航天工业、电子器件制造、高科技医疗等领域都需要高质量的真空设备。螺杆真空泵是一种常见的真空泵，与其他类型的真空泵相比，其最大特点是能够实现非常高的真空度，并且广泛用于各种真空元件的制造和工业生产中。
[0003]干式螺杆真空泵是一种容积式无油真空泵，现有结构的干式螺杆真空泵在使用过程中由于转速较高，端盖内的润滑油在高转速驱动下会产生油雾气体，油雾气体会沿转子与端盖之间的缝隙进入真空腔内。传统的干式双螺杆真空泵轴封通常采用轴套和密封圈对上述间隙进行密封，然而在高温和高转速的工况下，密封圈在运行过程中会有相对旋转运动，与端盖或轴套间产生相对摩擦，长时间运行会影响密封圈使用寿命，进而导致螺杆真空泵的密封性能和使用寿命降低。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于现有真空泵的密封结构在运行过程相对摩擦，影响密封性能和使用寿命。
[0005]本专利技术提供了一种螺杆真空泵，包括泵壳、螺杆转子和轴承组件，所述螺杆转子可转动地设置在所述泵壳内；所述轴承组件设置于所述螺杆转子和所述泵壳之间，所述轴承组件包括固定设置在泵壳内的轴承座；所述轴承座的内周和/或所述螺杆转子的外周沿轴向间隔设有若干环形密封槽，若干所述环形密封槽适于在所述轴承座和螺杆转子装配后在二者之间形成若干用于阻挡气流的环形扰流腔，以实现所述轴承座与所述螺杆转子的转动密封。
[0006]可选地，上述的螺杆真空泵，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述轴承座的内周若干第一环形密封槽，所述第一环形密封槽适于在所述轴承座和螺杆转子装配后与所述螺杆转子的外周面配合形成所述环形扰流腔；
[0007]或者，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述螺杆转子的外周若干第二环形密封槽，所述第二环形密封槽适于在所述轴承座和螺杆转子装配后与所述轴承座的内周面配合形成所述环形扰流腔；
[0008]或者，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述轴承座的内周若干第一环形密封槽以及对应设置在所述螺杆转子的外周的若干第二环形密封槽，若干所述第一环形密封槽和若干所述第二环形密封槽一一对应配合，以在所述轴承座和所述螺杆转子之间形成所述环形扰流腔。
[0009]可选地，上述的螺杆真空泵，所述螺杆转子包括：螺杆主体和密封轴套，所述密封轴套套设固定于所述螺杆主体上，所述环形密封槽包括成型于所述密封轴套的外周的第二
环形密封槽。
[0010]可选地，上述的螺杆真空泵，所述轴承组件包括设置在所述螺杆转子两端的第一轴承结构和第二轴承结构；所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在第一轴承座和第二轴承座的内周的若干第一环形密封槽以及对应设置在所述螺杆转子两端的若干第二环形密封槽，若干所述第一环形密封槽和若干所述第二环形密封槽一一对应配合，以在所述螺杆转子两端分别形成若干环形扰流腔。
[0011]可选地，上述的螺杆真空泵，所述螺杆真空泵还包括驱动组件，所述驱动组件设置在所述泵壳的一端，适于驱动所述螺杆转子转动，以抽取待抽真空对象内的介质；所述第一轴承结构设置在远离所述驱动组件的一端，所述第一轴承结构还包括设置在第一轴承座内的第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和第二轴承沿轴向依次转动配合于所述螺杆转子远离驱动组件的一端外周；所述第二轴承结构设置在靠近所述驱动组件的一端，所述第二轴承结构还包括设置在第二轴承座内的第三轴承，所述第三轴承转动配合于所述螺杆转子靠近所述驱动组件的一端外周。
[0012]可选地，上述的螺杆真空泵，所述第一轴承结构还包括分隔件，所述分隔件挤压设置在第一轴承与所述第二轴承之间，所述分隔件上设有连通部，所述连通部适于供润滑介质在第一轴承与所述第二轴承之间流通；所述分隔件的外周与所述轴承座的内周抵靠，且所述分隔件的外周设有定位部，所述分隔件适于通过所述定位部与所述轴承座在圆周方向上形成限位。
[0013]可选地，上述的螺杆真空泵，所述螺杆真空泵还包括冷却组件，所述冷却组件设置在所述泵壳和/或驱动组件上，用于对所述螺杆真空泵进行降温冷却。
[0014]可选地，上述的螺杆真空泵，所述驱动组件包括驱动电机和变频器，所述冷却组件包括第一冷却结构和第二冷却结构，所述第一冷却结构设置在所述驱动电机内，所述第一冷却结构具有与外接冷却设备连通的冷却腔，适于通过所述外接冷却设备向第一冷却结构通入冷却液对驱动电机进行降温；所述第二冷却结构包括设置在所述变频器外侧的吸热件以及设置在所述吸热件内的冷却管，所述吸热件与所述变频器贴合以吸收所述变频器的热量，所述冷却管适于外接冷却介质以对所述吸热件和所述变频器进行降温。
[0015]可选地，上述的螺杆真空泵，所述泵壳包括壳主体和端盖，所述端盖位于所述壳主体远离所述驱动组件的一端，所述端盖内设有适于向第一轴承结构提供润滑介质的第一导流机构，所述冷却组件还包括第三冷却结构和第四冷却结构，所述第三冷却结构设置在所述端盖内，所述第三冷却结构具有与外接冷却设备连通的冷却腔，所述第三冷却结构适于通过对所述端盖内的导流机构进行降温，实现对第一轴承结构进行降温冷却；所述第四冷却结构设置在所述壳主体与所述驱动电机之间，所述第四冷却结构内设有适于向第二轴承结构提供润滑介质的第二导流机构，以及适于向所述驱动电机提供润滑介质的通油孔。
[0016]可选地，上述的螺杆真空泵，所述壳主体包括位于中间的主体部和设置在主体部两侧的第一安装部和第二安装部，其中第一安装部适于容置安装所述第一轴承结构，第二安装部适于容置安装所述第二轴承结构；所述第一安装部和第二安装部上分别设有适于通入氮气的吹扫孔；所述螺杆真空泵还包括设置在所述端盖和第四冷却结构内的液位检测机构，所述液位检测机构适于检测所述端盖内和所述第四冷却结构内腔内的润滑介质液位。
[0017]可选地，上述的螺杆真空泵，所述螺杆转子具有两个，所述驱动电机为双驱电机；
所述驱动组件还包括两个传动件，两个传动件对应固设在两个螺杆转子远离所述驱动电机的一端，且两个所述传动件相互啮合以同步两个所述螺杆转子的运动。
[0018]本专利技术提供的技术方案，具有如下优点：
[0019]1.本专利技术提供的螺杆真空泵，包括泵壳、螺杆转子和轴承组件，螺杆转子设置在泵壳内；轴承组件设置于螺杆转子和泵壳之间，轴承组件包括固定设置在泵壳内的轴承座；轴承座的内周沿轴向间隔设有若干第一环形密封槽，螺杆转子的外周对应设置有若干第二环形密封槽，若干第一环形密封槽和若干第二环形密封槽一一对应配合，以实现轴承座与螺杆转子的转动密封。
[0020]此结构的螺杆真空泵，螺杆真空泵通过螺杆转子的转动来产生真空效果，其中的密封系统能够有效地防止气体泄漏，从而提高泵的效率和性能。该泵壳和轴承组件的设计使得螺杆转子能够稳定地运行，并且能够承受较大的压力和负荷。轴承座与螺杆转子的密封配合设计能够有效地减少泵本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种螺杆真空泵，其特征在于，包括：泵壳(1)；螺杆转子(2)，所述螺杆转子(2)设置在所述泵壳(1)内；轴承组件(3)，设置于所述螺杆转子(2)和所述泵壳(1)之间，所述轴承组件(3)包括固定设置在泵壳(1)内的轴承座，所述螺杆转子(2)可转动地设置在所述轴承座内；所述轴承座的内周和/或所述螺杆转子(2)外周沿轴向间隔设置有若干环形密封槽，若干所述环形密封槽适于在所述轴承座和螺杆转子(2)装配后在二者之间形成若干用于阻挡气流的环形扰流腔，以实现所述轴承组件(3)与所述螺杆转子(2)的转动密封。2.根据权利要求1所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述轴承座的内周若干第一环形密封槽(33)，所述第一环形密封槽(33)适于在所述轴承座和螺杆转子(2)装配后与所述螺杆转子(2)的外周面配合形成所述环形扰流腔；或者，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述螺杆转子(2)的外周若干第二环形密封槽(23)，所述第二环形密封槽(33)适于在所述轴承座和螺杆转子(2)装配后与所述轴承座的内周面配合形成所述环形扰流腔；或者，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述轴承座的内周若干第一环形密封槽(33)以及对应设置在所述螺杆转子(2)的外周的若干第二环形密封槽(23)，若干所述第一环形密封槽(33)和若干所述第二环形密封槽(23)一一对应配合，以在所述轴承座和所述螺杆转子(2)之间形成所述环形扰流腔。3.根据权利要求1所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆转子(2)包括：螺杆主体(21)；密封轴套(22)，套设固定于所述螺杆主体(21)上，所述环形密封槽包括成型于所述密封轴套的外周的第二环形密封槽(23)。4.根据权利要求1至3任一项所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述轴承组件(3)包括设置在所述螺杆转子(2)两端的第一轴承结构(31)和第二轴承结构(32)；所述第一轴承结构(31)包括第一轴承座(311)，所述第二轴承结构(32)包括第二轴承座(321)，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在第一轴承座(311)和第二轴承座(321)的内周的若干第一环形密封槽(33)以及对应设置在所述螺杆转子(2)两端的若干第二环形密封槽(23)，若干所述第一环形密封槽(33)和若干所述第二环形密封槽(23)一一对应配合，以在所述螺杆转子(2)两端分别形成若干环形扰流腔。5.根据权利要求4所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆真空泵还包括驱动组件(4)，所述驱动组件(4)设置在所述泵壳(1)的一端，适于驱动所述螺杆转子(2)转动，以抽取待抽真空对象内的介质；所述第一轴承结构(31)设置在远离所述驱动组件(4)的一端，所述第一轴承结构(31)还包括设置在第一轴承座(311)内的第一轴承(312)和第二轴承(313)，所述第一轴承(312)和第二轴承(313)沿轴向依次转动配合于所述螺杆转子(2)远离驱动组件(4)的一端外周；所述第二轴承结构(32)设置在靠近所述驱动组件(4)的一端，所述第二轴承结构(32)还包括设置在第二轴承座(321)内的第三轴承(322)，所述第三轴承(322)转动配合于所述螺杆转子(2)靠近所述驱动组件(4)的一端外周。6.根据权利要求5所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述第一轴承结构(31)还包括：
分隔件(314)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，唐海宏，邓高飞，杜勇，
申请(专利权)人：中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：