一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统技术方案

本实用新型专利技术涉及真空泵技术领域，具体涉及一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统，包括：冷却液通道设置于泵体上；第一管路和第二管路分别与冷却液通道两侧连通；温度检测贴片设置于泵体上；冷却液供给结构与第一管路、第二管路均连接；主控制器与第一控制器、第二控制器、冷却液供给结构、温度检测贴片均信号连接。本申请通过主控制器获取检测温度，主控制器通过第一控制器和第二控制器调节冷却液在泵体内循环的流量，进而调节泵体温度分布均匀。进而调节泵体温度分布均匀。进而调节泵体温度分布均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统


[0001]本技术涉及真空泵
，具体涉及一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统。

技术介绍

[0002]干式螺杆真空泵应用在半导体行业。干式螺杆真空泵的螺杆转子主要分为等螺距螺杆转子与变螺距螺杆转子两种。采用等螺距螺杆转子的干式螺杆真空泵的特点为：螺杆转子与泵体所形成的封闭腔容积始终恒定，无内压缩，气体温升不明显，但效率较低。
[0003]采用变螺距螺杆转子的干式螺杆真空泵的特点为：螺杆转子与泵体所形成的封闭腔容积逐渐减小，压缩平稳，效率较高，但气体温升较大。由于气体温升较大，泵体极易发生热膨胀，从而造成螺杆转子与泵体的间隙减小。并且，由于泵体各处受热不均匀，膨胀量各不相同，如果螺杆转子与泵体的间隙初始值设计较小，则螺杆转子与泵体之间会出现摩擦现象，甚至会出现卡死的现象；如果螺杆转子与泵体的间隙初始值设计较大，虽然螺杆转子与泵体之间避免了运行过程中的摩擦与卡死现象，但是，由于间隙较大，气体极易由高压侧反流回低压测，从而出现无法达到要求的真空度的现象。具体的，气体从进气端到排气端逐渐被压缩，导致泵体内部温度升高，从进气端到排气端的气体压缩量逐渐加大，温度也逐渐升高，泵体各段的膨胀量不均匀，造成螺杆转子与泵体各段的间隙出现差异，导致真空度达不到要求或螺杆转子与泵体卡死

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于克服干式螺杆真空泵在工作时，泵体由于受热不均匀，膨胀量不相同，螺杆转子与泵体各段的间隙出现差异，导致真空度达不到要求或螺杆转子与泵体卡死的缺陷。
[0005]为了克服上述缺陷，本技术提供一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统，包括：
[0006]多个冷却液通道，沿所述干式螺杆真空泵的轴向间隔设置于所述干式螺杆真空泵的泵体的内壁上，每个冷却液通道沿所述泵体的周向环绕；
[0007]多组第一管路，分别通过多个第一阀门与多个冷却液通道的一侧连通；
[0008]多组第二管路，分别通过多个第二阀门与多个冷却液通道的另一侧连通；
[0009]温度检测贴片，设置于靠近冷却液通道的泵体的外壁上，所述温度检测贴片与所述冷却液通道一一对应；
[0010]第一控制器，与所述多个第一阀门信号连接；
[0011]第二控制器，与所述多个第二阀门信号连接；
[0012]冷却液供给结构，与多组第一管路、多组第二管路均连接；所述冷却液供给结构适于提供冷却液；
[0013]主控制器，与所述第一控制器、第二控制器、冷却液供给结构、温度检测贴片均信号连接。
[0014]可选地，所述干式螺杆真空泵的螺杆转子为变螺距螺杆转子。
[0015]可选地，所述第一阀门和第二阀门均为电磁阀。
[0016]可选地，所述温度检测贴片的数量为多组，所述温度检测贴片的组数与冷却液通道的数量相同；每组温度检测贴片包括多个温度检测贴片；每组温度检测贴片的多个温度检测贴片沿所述泵体的外壁间隔设置。
[0017]可选地，所述冷却液为冷却水。
[0018]可选地，所述冷却液供给结构为冷水机。
[0019]可选地，所述第一控制器、第二控制器均与所述温度检测贴片信号连接；
[0020]所述主控制器与第一控制器、第二控制器均信号连接。
[0021]可选地，每组第一管路包括多个并行的冷却管；
[0022]每组第二管路包括多个并行的冷却管。
[0023]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0024]1.本技术提供的用于干式螺杆真空泵的冷却系统，包括：多个冷却液通道，沿所述干式螺杆真空泵的轴向间隔设置于所述干式螺杆真空泵的泵体的内壁上，每个冷却液通道沿所述泵体的周向环绕；多组第一管路，分别通过多个第一阀门与多个冷却液通道的一侧连通；多组第二管路，分别通过多个第二阀门与多个冷却液通道的另一侧连通；温度检测贴片，设置于靠近冷却液通道的泵体的外壁上，所述温度检测贴片与所述冷却液通道一一对应；第一控制器，与所述多个第一阀门信号连接；第二控制器，与所述多个第二阀门信号连接；冷却液供给结构，与多组第一管路、多组第二管路均连接；所述冷却液供给结构适于提供冷却液；主控制器，与所述第一控制器、第二控制器、冷却液供给结构、温度检测贴片均信号连接；本申请采用上述技术方案，通过整个连接结构，可以实现温度检测贴片检测温度，并传送给主控制器，主控制器通过第一控制器和第二控制器分别控制第一阀门和第二阀门，调节冷却液在泵体内壁循环的流量，进而调节泵体的温度，达到受热均匀，膨胀量基本相同，螺杆转子与泵体各段的间隙基本一致，克服真空度达不到要求或螺杆转子与泵体卡死的缺陷。
[0025]2.本技术所述干式螺杆真空泵的螺杆转子为变螺距螺杆转子；本申请采用上述技术方案，使得采用变螺距螺杆转子的干式螺杆真空泵不仅压缩平稳，效率较高，并且克服气体温升的缺陷；泵体各处受热均匀，膨胀量基本相同。
[0026]3.本技术所述第一阀门和第二阀门均为电磁阀；本申请采用上述技术方案，限定第一阀门和第二阀门均为电磁阀；方便通过第一控制器和第二控制器分别控制第一阀门和第二阀门，调节冷却液在泵体内壁循环的流量，进而调节泵体的温度，达到受热均匀，膨胀量基本相同。
[0027]4.本技术所述温度检测贴片的数量为多组，所述温度检测贴片的组数与冷却液通道的数量相同；每组温度检测贴片包括多个温度检测贴片；每组温度检测贴片的多个温度检测贴片沿所述泵体的外壁间隔设置；本申请采用上述技术方案，针对每个冷却液通道，在间隔的多处设置温度检测贴片，使得对泵体各部位温度的测量更加全面，以便分别根据不同部位的温度状况，采取不同的冷却程度，进而使得泵体的温度分布更加均匀。
[0028]5.本技术所述冷却液为冷却水；本申请采用上述技术方案，限制冷却液为冷却水，冷却介质方便获得，成本更低。
[0029]6.本技术所述冷却液供给结构为冷水机；本申请采用上述技术方案，通过冷水机为泵体冷却提供充足可靠的冷却水。
[0030]7.本技术所述第一控制器、第二控制器均与所述温度检测贴片信号连接；所述主控制器与第一控制器、第二控制器均信号连接；本申请采用上述技术方案，当主控制器与温度检测贴片的连接有问题时，可以通过第一控制器和第二控制器将不同部位的温度值传送给主控制器；从而提高用于干式螺杆真空泵的冷却系统的可靠性。
[0031]8.本技术每组第一管路包括多个并行的冷却管；每组第二管路包括多个并行的冷却管；本申请采用上述技术方案，通过多路输送冷却液，防止某一路堵塞，提高冷却液输送的可靠程度；同时采用相对较小的管径，降低成本。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统，其特征在于，包括：多个冷却液通道(12)，沿所述干式螺杆真空泵的轴向间隔设置于所述干式螺杆真空泵的泵体(1)的内壁上，每个冷却液通道(12)沿所述泵体(1)的周向环绕；多组第一管路(4)，分别通过多个第一阀门与多个冷却液通道(12)的一侧连通；多组第二管路(5)，分别通过多个第二阀门与多个冷却液通道(12)的另一侧连通；温度检测贴片(13)，设置于靠近冷却液通道(12)的泵体(1)的外壁上，所述温度检测贴片(13)与所述冷却液通道(12)一一对应；第一控制器(2)，与所述多个第一阀门信号连接；第二控制器(3)，与所述多个第二阀门信号连接；冷却液供给结构(6)，与多组第一管路(4)、多组第二管路(5)均连接；所述冷却液供给结构(6)适于提供冷却液；主控制器(7)，与所述第一控制器(2)、第二控制器(3)、冷却液供给结构(6)、温度检测贴片(13)均信号连接。2.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的冷却系统，其特征在于，所述干式螺杆真空泵的螺杆转子为变螺距螺杆转子。3.根据权利要求1所述的用于干式螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，吕茂宇，邓高飞，
申请(专利权)人：中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：