【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及分子泵，具体涉及一种轴承冷却结构及具有其的分子泵。
技术介绍
1、涡轮分子泵是一种通过高速旋转的动叶片将动量传递给气体分子以使气体分子产生定向流动的传输式分子泵，分子泵的转速对抽气性能有着至关重要的作用，分子泵的转速一般为几万转，当机械转动部分转速比较高时，会给轴承带来很大的负担，使轴承温度的升高，造成轴承受损，影响分子泵寿命。
2、中国专利文献cn115977990a公开了一种轴承冷却组件，在其轴承套内部设有冷却槽，在冷却槽内设置冷却液用于吸收热量，从而降低轴承的温度，防止轴承受损。
3、然而，上述方案中，冷却液在轴承套内吸收热量后，热量向泵体外部传输时仅依靠泵体的热传导散热，存在散热缓慢、冷却效果较差的问题。
技术实现思路
1、因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中轴承存在散热缓慢、冷却效果较差的问题，从而提供一种轴承冷却结构及具有其的分子泵。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种轴承冷却结构，包括：轴承座，所述轴承座的内部具有用于安装轴承的安装腔以及围绕所述安装腔设置的用于容纳冷却介质的环形冷却腔；所述轴承座上设有冷却介质进口和冷却介质出口，所述冷却介质进口和所述冷却介质出口分别与所述环形冷却腔连通。
3、可选地，所述冷却介质进口具有多个，多个所述冷却介质进口位于所述轴承座的第一层，所述轴承座的内部的第一层设有多个第一通道，所述冷却介质进口分别通过所述第一通道与所述环形冷却腔连通。
5、可选地，所述第一通道和所述第二通道分别围绕所述环形冷却腔的周向倾斜设置，所述第一通道和所述第二通道相对所述环形冷却腔的倾斜方向相反。
6、可选地，所述轴承座的外壁上在位于所述冷却介质进口和所述冷却介质出口之间的区域具有用于容纳第一密封圈的第一凹槽。
7、可选地，所述轴承座的外壁上在位于所述冷却介质进口和所述冷却介质出口的上方区域和下方区域，分别具有用于容纳第二密封圈的第二凹槽。
8、可选地，所述轴承座包括：可拆卸的本体和轴套，所述轴套内用于安装轴承，所述本体和所述轴套之间形成所述环形冷却腔。
9、可选地，所述本体和/或所述轴套上在所述本体和所述轴套的结合面的侧壁上设有用于形成所述环形冷却腔的环形凹槽。
10、可选地，所述本体和/或所述轴套上在所述环形凹槽的上方区域和下方区域，分别设有用于容纳第三密封圈的第三凹槽。
11、本专利技术提供一种分子泵，包括：泵体，所述泵体上设置有上述方案中任一项所述的轴承冷却结构。
12、本专利技术技术方案，具有如下优点：
13、1.本专利技术提供的轴承冷却结构，通过轴承座上的冷却介质进口向环形冷却腔内输送冷却介质，冷却介质吸收轴承转动产生的热量后，经过轴承座上的冷却介质出口将热量向泵体外部传输，因为通过冷却介质的外循环散热，相比仅依靠泵体热传导散热效率更高，从而解决了现有技术中轴承存在散热缓慢、冷却效率较差的问题，延长轴承的使用寿命。
14、2.本专利技术提供的轴承冷却结构，通过轴承座第一层的多个第一通道分别将冷却介质从多个冷却介质进口输送至环形冷却腔内，使环形冷却腔内的冷却介质围绕轴承均匀分布，提高冷却效率。
15、3.本专利技术提供的轴承冷却结构，吸收热量后的冷却介质通过轴承座第二层的第二通道分别输送至冷却介质出口处，使热量能够向泵体外部传输，设置多个第二通道和冷却介质出口有利于环形冷却腔内的冷却介质均匀分布。
16、4.本专利技术提供的轴承冷却结构，围绕环形冷却腔的周向斜切设置第一通道和第二通道使冷却介质能够平滑进入或离开环形冷却腔体，为了减小冷却介质流动的阻力，将第一通道和第二通道相对环形冷却腔的斜切方向相反设置。
17、5.本专利技术提供的轴承冷却结构，通过在第一凹槽内安装的第一密封圈将轴承座外壁上的冷却介质进口和冷却介质出口分隔开，避免吸收热量后的冷却介质与未吸收热量的冷却介质发生混合而影响冷却效果。
18、6.本专利技术提供的轴承冷却结构，通过在轴承座外壁上的第二凹槽内安装的第二密封圈，能够对轴承座的外壁上冷却介质进口和冷却介质出口所在的区域进行密封，避免冷却介质发生溢流。
19、7.本专利技术提供的轴承冷却结构，轴承安装在轴套内，轴套对轴承的外环进行固定，轴承转动产生的热量经过热传递传输至本体和轴套之间的环形冷却腔，通过环形冷却内的冷却介质将热量向泵体外部传输。
20、8.本专利技术提供的轴承冷却结构，通过本体和/或轴套上的环形凹槽相结合形成环形冷却腔，从而使冷却介质在本体与轴套之间环绕输送，吸收轴承转动产生的热量。
21、9.本专利技术提供的轴承冷却结构，通过在第三凹槽内安装的第三密封圈对本体和/或轴套上的环形凹槽进行密封，避免冷却介质发生溢流。
22、10.本专利技术提供的分子泵，由于采用上述轴承冷却结构，因此具有上述任一项优点。
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1.一种轴承冷却结构，其特征在于，包括：轴承座(1)，所述轴承座(1)的内部具有用于安装轴承(2)的安装腔以及围绕所述安装腔设置的用于容纳冷却介质的环形冷却腔(3)；所述轴承座(1)上设有冷却介质进口(4)和冷却介质出口(5)，所述冷却介质进口(4)和所述冷却介质出口(5)分别与所述环形冷却腔(3)连通。
2.根据权利要求1所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述冷却介质进口(4)具有多个，多个所述冷却介质进口(4)位于所述轴承座(1)的第一层，所述轴承座(1)的内部的第一层设有多个第一通道(6)，所述冷却介质进口(4)分别通过所述第一通道(6)与所述环形冷却腔(3)连通。
3.根据权利要求2所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述冷却介质出口(5)具有多个，多个所述冷却介质出口(5)位于所述轴承座(1)的第二层，所述轴承座(1)的内部的第二层设有多个第二通道(7)，所述冷却介质出口(5)分别通过所述第二通道(7)与所述环形冷却腔(3)连通。
4.根据权利要求3所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述第一通道(6)和所述第二通道(7)分别围绕所述环形冷却腔
5.根据权利要求3所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述轴承座(1)的外壁上在位于所述冷却介质进口(4)和所述冷却介质出口(5)之间的区域具有用于容纳第一密封圈(9)的第一凹槽(8)。
6.根据权利要求5所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述轴承座(1)的外壁上在位于所述冷却介质进口(4)和所述冷却介质出口(5)的上方区域和下方区域，分别具有用于容纳第二密封圈(11)的第二凹槽(10)。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述轴承座(1)包括：可拆卸的本体(12)和轴套(13)，所述轴套(13)内用于安装轴承(2)，所述本体(12)和所述轴套(13)之间形成所述环形冷却腔(3)。
8.根据权利要求7所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述本体(12)和/或所述轴套(13)上在所述本体(12)和所述轴套(13)的结合面的侧壁上设有用于形成所述环形冷却腔(3)的环形凹槽(14)。
9.根据权利要求8所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述本体(12)和/或所述轴套(13)上在所述环形凹槽(14)的上方区域和下方区域，分别设有用于容纳第三密封圈(16)的第三凹槽(15)。
10.一种分子泵，其特征在于，包括：泵体(17)，所述泵体(17)上设置有权利要求1-9中任一项所述的轴承冷却结构。
...【技术特征摘要】
1.一种轴承冷却结构，其特征在于，包括：轴承座(1)，所述轴承座(1)的内部具有用于安装轴承(2)的安装腔以及围绕所述安装腔设置的用于容纳冷却介质的环形冷却腔(3)；所述轴承座(1)上设有冷却介质进口(4)和冷却介质出口(5)，所述冷却介质进口(4)和所述冷却介质出口(5)分别与所述环形冷却腔(3)连通。
2.根据权利要求1所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述冷却介质进口(4)具有多个，多个所述冷却介质进口(4)位于所述轴承座(1)的第一层，所述轴承座(1)的内部的第一层设有多个第一通道(6)，所述冷却介质进口(4)分别通过所述第一通道(6)与所述环形冷却腔(3)连通。
3.根据权利要求2所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述冷却介质出口(5)具有多个，多个所述冷却介质出口(5)位于所述轴承座(1)的第二层，所述轴承座(1)的内部的第二层设有多个第二通道(7)，所述冷却介质出口(5)分别通过所述第二通道(7)与所述环形冷却腔(3)连通。
4.根据权利要求3所述的轴承冷却结构，其特征在于，所述第一通道(6)和所述第二通道(7)分别围绕所述环形冷却腔(3)的周向倾斜设置，所述第一通道(6)和所述第二通道(7)相对所述环形冷却腔(3)的倾斜方向相反。
5.根据权利要求3所述的轴承冷却结...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，罗守庚，邓高飞，张智明，
申请(专利权)人：中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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