温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种轴承冷却结构及具有其的分子泵，属于分子泵技术领域，包括：轴承座，所述轴承座的内部具有用于安装轴承的安装腔以及围绕所述安装腔设置的用于容纳冷却介质的环形冷却腔；所述轴承座上设有冷却介质进口和冷却介质出口，所述冷却介质进口和所述冷...
该专利属于中科九微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科九微科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。