一种用于干式真空泵机组的冷却系统技术方案

本实用新型专利技术涉及真空泵技术领域，具体涉及一种用于干式真空泵机组的冷却系统，包括：第一管路进水端与第一腔室连通，第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；第二管路一端通过恒流阀与第一管路出水端连接，另一端与第二腔室连通，第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，第二部位为电机；或者，第一部位为后级主泵组处，相应的，第二部位为前级泵；本申请通过增设恒流阀，限制冷却液流量，降低电机端或前级泵的冷却速度，使得电机端或前级泵保持较高温度，避免形成温度差；使得干式真空泵机组的温度分布均衡。使得干式真空泵机组的温度分布均衡。使得干式真空泵机组的温度分布均衡。

【技术实现步骤摘要】
一种用于干式真空泵机组的冷却系统


[0001]本技术涉及真空泵
，具体涉及一种用于干式真空泵机组的冷却系统。

技术介绍

[0002]干式真空泵机组，尤其是由罗茨泵和无油螺杆真空泵组成的罗茨－螺杆干式真空泵机组，大量运用于半导体行业中。例如：在半导体产品加工的不同制程中会产生不同的气体，不同的气体具有一定的临界冷凝温度。为了防止气体冷凝，需要将罗茨－螺杆干式真空泵机组工作空间的温度保持一致。因此，罗茨－螺杆干式真空泵机组在运行的过程中需要利用冷却系统进行冷却，用于电机和真空泵腔体等的冷却，防止部分部件的温度过高而停机。但是，罗茨－螺杆干式真空泵机组在运行的过程中会存在罗茨泵的整体温度较低，无油螺杆真空泵的温度较高的现象，并且也会出现电机端较齿轮端温度低的现象；即罗茨－螺杆干式真空泵机组在工作时，存在温度分布不均衡的问题。

技术实现思路

[0003]因此，本技术要解决的技术问题在于克服罗茨－螺杆干式真空泵机组在工作时，存在温度分布不均衡的缺陷。
[0004]为了克服上述缺陷，本技术提供一种用于干式真空泵机组的冷却系统，包括：
[0005]第一管路，进水端与第一腔室连通，所述第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；
[0006]第二管路，一端通过恒流阀与第一管路的出水端连接，另一端与第二腔室连通，所述第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；所述第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，所述第二部位为电机；或者，所述第一部位为后级主泵组处，相应的，所述第二部位为前级泵；所述干式真空泵机组为依次串接的前级泵和后级主泵组；
[0007]第三管路，一端与第二腔室连通，所述第三管路适于将第二腔室中的冷却液输出。
[0008]可选地，还包括：
[0009]第四管路，与第三管路的另一端连接，所述第四管路适于将第三管路中的冷却液排出；
[0010]第五管路，一端与第四管路连接，另一端与第一管路连接。
[0011]可选地，还包括：
[0012]第一三通接头，第一端与第一管路的出水端连接，第一三通接头的第二端与恒流阀连接，第一三通接头的第三端与第五管路连接；
[0013]第二三通接头，第一端与第三管路连接，第二三通接头的第二端与第四管路连接，第二三通接头的第三端与第五管路连接。
[0014]可选地，所述恒流阀包括：
[0015]阀体，设有通孔，所述通孔适于流通冷却液；
[0016]阀芯，滑动连接于所述通孔中；在所述阀芯上沿冷却液流动方向下游一侧设有节流部，所述节流部的形状由端部向底部逐渐减小；在所述阀芯内还设有中间通道，所述中间通道连通所述阀芯上沿冷却液流动方向的上游和下游；
[0017]节流件，卡接设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯的下游，在所述节流件上设有节流孔；所述节流部适于随着冷却液对阀芯压力的增大，阀芯向靠近节流件的方向滑动，节流部置入所述节流孔中的深度越大；
[0018]弹性件，位于所述通孔中，弹性件的一端抵接于阀芯上，弹性件的另一端抵接于节流件上。
[0019]可选地，所述恒流阀还包括：
[0020]堵板，固定设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯的上游，在所述堵板上设有过孔，在所述过孔上设有滤网。
[0021]可选地，在所述阀体的通孔内壁设有环状槽，所述堵板的边缘嵌于所述环状槽中。
[0022]可选地，所述阀芯还设有：
[0023]与所述节流部连接的连接部，所述连接部的截面尺寸大于节流部的截面尺寸；
[0024]与所述连接部连接的滑动部，所述滑动部与所述通孔滑动贴合。
[0025]可选地，所述中间通道为连通设置的第一孔和第二孔，所述第一孔设置于所述阀芯上远离节流件的一端，且所述第一孔与所述阀芯上沿冷却液流动方向的上游连通；所述第二孔与第一孔垂直设置，且所述第二孔设置于所述连接部上，所述第二孔与所述阀芯上沿冷却液流动方向的下游连通。
[0026]可选地，所述弹性件为弹簧，且所述弹簧套设于所述连接部上。
[0027]可选地，所述节流件设有环状凸缘，所述阀体的通孔内设有环状台肩，所述环状凸缘通过与所述环状台肩抵接形成卡接设置。
[0028]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0029]1.本技术提供的用于干式真空泵机组的冷却系统，包括：第一管路，进水端与第一腔室连通，所述第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；第二管路，一端通过恒流阀与第一管路的出水端连接，另一端与第二腔室连通，所述第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；所述第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，所述第二部位为电机；或者，所述第一部位为后级主泵组处，相应的，所述第二部位为前级泵；所述干式真空泵机组为依次串接的前级泵和后级主泵组；第三管路，一端与第二腔室连通，所述第三管路适于将第二腔室中的冷却液输出；本申请采用上述技术方案，通过在用于干式真空泵机组的冷却系统中增设恒流阀，限制冷却液的流量，降低电机端或前级泵的冷却速度，使得电机端或前级泵保持较高的温度，避免在电机端与齿轮端之间，或者在前级泵与后级主泵组之间形成温度差；使得干式真空泵机组的温度分布均衡，防止半导体产品加工时的气体冷凝，有效提升气体的排除效率，尤其是提升抽排废气的能力。
[0030]2.本技术提供的用于干式真空泵机组的冷却系统，还包括：第四管路，与第三管路的另一端连接，所述第四管路适于将第三管路中的冷却液排出；第五管路，一端与第四管路连接，另一端与第一管路连接；本申请采用上述技术方案，通过第四管路将第三管路和第五管路中的冷却液排出，形成持续流动的冷却液，提高冷却液的冷却效率。
[0031]3.本技术提供的用于干式真空泵机组的冷却系统，还包括：第一三通接头，第
一端与第一管路的出水端连接，第一三通接头的第二端与恒流阀连接，第一三通接头的第三端与第五管路连接；第二三通接头，第一端与第三管路连接，第二三通接头的第二端与第四管路连接，第二三通接头的第三端与第五管路连接；本申请采用上述技术方案，通过第一三通接头方便连接第一管路、恒流阀和第五管路；通过第二三通接头方便连接第三管路、第四管路和第五管路；同时，也方便拆卸和维修。
[0032]4.本技术所述恒流阀包括：阀体，设有通孔，所述通孔适于流通冷却液；阀芯，滑动连接于所述通孔中；在所述阀芯上沿冷却液流动方向下游一侧设有节流部，所述节流部的形状由端部向底部逐渐减小；在所述阀芯内还设有中间通道，所述中间通道连通所述阀芯上沿冷却液流动方向的上游和下游；节流件，卡接设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯的下游，在所述节流件上设有节流孔；所述节流部适于随着冷却液对阀芯压力的增大，阀芯向靠近节流件的方向滑动，节流部置入所述节流孔中的深度越大；弹性件，位于所述通孔中，弹性件的一端抵接于阀芯上，弹性件的另一端抵接于节流件上；本申本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，包括：第一管路(1)，进水端与第一腔室连通，所述第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；第二管路(4)，一端通过恒流阀(3)与第一管路(1)的出水端连接，另一端与第二腔室连通，所述第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；所述第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，所述第二部位为电机；或者，所述第一部位为后级主泵组处，相应的，所述第二部位为前级泵；所述干式真空泵机组为依次串接的前级泵和后级主泵组；第三管路(5)，一端与第二腔室连通，所述第三管路(5)适于将第二腔室中的冷却液输出。2.根据权利要求1所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，还包括：第四管路(7)，与第三管路(5)的另一端连接，所述第四管路(7)适于将第三管路(5)中的冷却液排出；第五管路(8)，一端与第四管路(7)连接，另一端与第一管路(1)连接。3.根据权利要求2所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，还包括：第一三通接头(2)，第一端与第一管路(1)的出水端连接，第一三通接头(2)的第二端与恒流阀(3)连接，第一三通接头(2)的第三端与第五管路(8)连接；第二三通接头(6)，第一端与第三管路(5)连接，第二三通接头(6)的第二端与第四管路(7)连接，第二三通接头(6)的第三端与第五管路(8)连接。4.根据权利要求1－3任一项所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，所述恒流阀(3)包括：阀体(9)，设有通孔，所述通孔适于流通冷却液；阀芯(11)，滑动连接于所述通孔中；在所述阀芯(11)上沿冷却液流动方向下游一侧设有节流部，所述节流部的形状由端部向底部逐渐减小；在所述阀芯(11)内还设有中间通道，所述中间通道连通所述阀芯(11)上沿冷却液流动方向的上游和下游；节流件(13)，卡接设置于所述通孔中，且沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，杜勇，邓高飞，唐海宏，
申请(专利权)人：中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：