一种石墨坩埚盖板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。本实用新型专利技术能缓解硅蒸汽对石墨坩埚盖板的热应力冲击，从而有效抵抗盖板变形，提高盖板使用寿命，并改善氩气气流的循环状态。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨坩埚盖板
本技术涉及多晶硅铸锭设备领域，具体涉及一种石墨坩埚盖板。
技术介绍
在现有技术中，随着光伏技术以及微电子技术的发展，市场对多晶硅的需求日益提升，目前多晶硅锭一般采用多晶铸锭炉进行制备，操作时，包括将坩埚喷涂后进行装填料，再将装填好的坩埚放置于石墨底板上，其外侧通过石墨侧护板进行限位固定，再安装石墨坩埚盖板，在硅锭热成型过程中、石墨坩埚盖板起导热、传热作用，与此同时石墨坩埚盖板还能防止杂质落入石英坩埚内部污染硅料而产生不合格的产品。但是现有的石墨坩埚盖板通常为结构简单的平板结构，其内侧紧靠在石英坩埚和石墨侧护板的上表面，在硅锭热成型过程中受到硅蒸汽的热冲击，使用一段时间后石墨坩埚盖板中间位置会出现中间部分塌陷变形而四角翘起的情况，这种变形后的石墨坩埚盖板在热处理过程中容易产生移位而失去原本的使用效果，同时随着多晶铸锭投炉量的增加，变形后的石墨坩埚盖板还容易因为塌陷而导致盖板与硅料接触，致使大量碳杂质引入硅锭中，当碳含量过高，容易导致硅溶液在定向凝固长晶过程中形成碳沉淀、碳化硅夹杂物、位错等问题，从而降低产品品质，且切片机器对硅锭进行切片加工时也容易出现错位、断切的情况；而翘起的四角与顶板加热器接触会发生打火现象，造成停炉；同时也会在翘起边的边角位置出现裂纹，导致盖板报废，从而增加多晶铸锭辅材成本。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种石墨坩埚盖板，以解决上述技术背景中的缺陷。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。作为进一步限定，所述石墨面板为方形盖板。作为进一步限定，所述石墨面板与所述侧压块为同一块石墨材料一体成型制成。作为进一步限定，所述侧压块采用碳碳纤维或石墨材料成型制备。作为进一步限定，位置相邻的侧压块之间等间距设置，且位置相邻的侧压块在U型卡槽上靠石英坩埚侧通过连接边连接，且所述连接边的高度小于U型卡槽的高度。作为进一步限定，所述侧压块上设置有贯穿U型卡槽两侧边的螺纹孔，而对应的石墨侧护板在对应位置开有通孔，以通过在螺纹孔位置插装石墨螺栓来将侧压块与石墨侧护板进行固连。作为进一步限定，所述侧压块上的U型卡槽上靠石墨侧护板侧设置有螺纹孔，通过在螺纹孔位置插装石墨螺栓来将侧压块顶紧于石墨侧护板上。作为进一步限定，所述石墨面板的下表面上均成型有内凹弧面，而所述井格状凸肋成型于所述内凹弧面内，并与所述内凹弧面的外缘平齐。有益效果：本技术提供的一种石墨坩埚盖板结构简单，成型制备容易，能有效适应多晶铸锭炉中的热应力变化，能有效改善石墨坩埚盖板对于硅蒸汽的热冲击冲击，以防止石墨顶盖的中间塌陷以及四角翘起和边缘开裂的现象，进而有效防止打火现象的产生，有效提高了石墨顶盖的使用寿命，同时还能有效改善石墨坩埚盖板的密封性能使得，利于石墨侧护板内充入的氩气气流的循环。附图说明图1为本技术的石墨坩埚盖板的内侧面结构示意图。其中：1、石墨螺栓；2、石墨侧护板；3、U型卡槽；4、连接边；5、内凹弧面；6、井格状凸肋；7、石墨面板；8、侧压块；具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。参见图1的一种石墨坩埚盖板的较佳实施例，石墨坩埚盖板包括石墨面板7以及多个侧压块8，在本实施例中，石墨面板7为方形盖板，尺寸与石墨侧护板2所围成区域的外轮廓线尺寸一致，而侧压块8与石墨面板7为一整块石墨材料通过一体成型制成，设置于石墨面板7的四条边上，并在石墨面板7的四条边上等间距设置。而在另外的实施例中，侧压块8也可以采用碳碳纤维材料成型制成，并固定于石墨面板7的四条边上成型制成。在本实施例中，侧压块8的下部设置有一个口朝下的U型卡槽，该U型卡槽具有较高的外侧边以及较低的内侧边，并在内侧边位置通过高度小于U型卡槽的高度的连接边连接。侧压块8的U型卡槽的卡槽槽内宽度与石墨侧护板2的厚度一致，可在石墨侧护板2装配还之后，直接通过U型卡槽扣装在石墨侧护板2组成的方框上表面上，其扣装方式如图1中，左侧边上石墨侧护板2在U型卡槽内的卡装方式一致。在石墨面板7的下表面上成型有内凹弧面，该内凹弧面的轮廓线为圆形，且在内凹弧面内成型有井格状凸肋6，这些井格状凸肋6具有与内凹弧面外缘平齐的下表面以提高石墨面板的整体物理强度，并防止热应力集中而造成塌陷变形。为了保证石墨坩埚盖板在石墨侧护板2上装配的稳定性，并防止在石墨坩埚盖板在加热过程中变形，在侧压块8上设置有贯穿U型卡槽两侧边的螺纹孔，而对应的石墨侧护板2在对应位置开有通孔，以通过在螺纹孔位置插装石墨螺栓1来将侧压块8与石墨侧护板2进行固连，U型卡槽能对石墨坩埚盖板起到定位的作用，而在铸锭过程中，石墨螺栓1有一定的膨胀空间，石墨侧护板2设置为无螺纹面的通孔，可使石墨螺栓1安装在螺纹孔时，石墨螺栓1与石墨侧护板2有一定间隙，使得石墨坩埚盖板在热应力作用下有一定的缓冲空间，且也不至于使石墨坩埚盖板发生移位。而在另外的实施例中，若石墨侧护板2上未进行开孔，可以在U型卡槽的较高的外侧边上设置螺纹孔，通过在螺纹孔位置插装石墨螺栓1来将侧压块8顶紧于石墨侧护板2的外侧面上来获得类似的固定效果。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应当理解，这些实施例的用途仅用于说明本技术而非意欲限制本技术的保护范围。此外，也应理解，在阅读了本技术的
技术实现思路
之后，本领域技术人员可以对本技术作各种改动、修改和/或变型，所有的这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，其特征在于，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。/n

【技术特征摘要】
1.一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，其特征在于，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。


2.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述石墨面板为方形盖板。


3.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述石墨面板与所述侧压块为同一块石墨材料一体成型制成。


4.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述侧压块采用碳碳纤维或石墨材料成型制备。


5.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨九福，
申请(专利权)人：汨罗市福缘新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43