一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构制造技术

本实用新型专利技术涉及碳化硅单晶生长设备的结构设计领域，特别涉及一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构。包括支撑座，支撑座有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座间设有平行的支撑柱和导向杆，支撑柱上设有线性驱动组件；回转支撑台一端通过第一滑套和第二滑套分别与导向杆和线性驱动组件相连，另一端与旋转托架相连，旋转托架上端面通过缓冲结构设有炉底板，炉底板能在线性驱动组件的作用下实现升降以及旋转运动；支撑柱上设有多个限位传感器和限位组件。本实用新型专利技术一方面实现了炉底板升降旋开的自动化，另一方面实现炉底板升降、旋开、旋回的位置的控制，避免人工操作的不确定性。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构
本技术涉及碳化硅单晶生长设备的结构设计领域，特别涉及一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构。
技术介绍
目前碳化硅单晶生长设备普遍采用以下两种方法取放炉底板上的物料，一种是配置升降机构实现炉底板升降，使用该结构需要二次取放物料。另外一种是使用升降小车实现炉底板升降以及移栽，升降小车与设备位置对接操作较繁琐，操作过程中容易损坏物料，造成不必要的损失。因此碳化硅炉单晶生长设备配置一种炉底板同时具有升降以及移栽功能的结构意义重大。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有技术的不足，提供一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构。为解决上述的技术问题，本技术采用的解决方法是：提供一种用于碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，包括支撑座、旋转托架、回转支撑台和导向杆；支撑座有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座间设有平行的支撑柱和导向杆，支撑柱上设有线性驱动组件；回转支撑台一端通过第一滑套和第二滑套分别与导向杆和线性驱动组件相连，另一端与旋转托架相连，旋转托架上端面通过缓冲结构设有炉底板，炉底板能在线性驱动组件的作用下实现升降以及旋转运动；支撑柱上设有多个限位传感器和限位组件，能发送信号至线性驱动组件，进而限位炉底板升降位置，限位组件，用于限位炉底板旋开角度。作为一种改进，导向杆圆周面设有导向槽，用于对炉底板旋转运动时进行导向。作为一种改进，限位组件位置能进行调整以满足炉底板位置定位需求。作为一种改进，线性驱动组件包括电机、减速装置和滚珠丝杆。<br>作为一种改进，限位组件上设有自动吸合装置，用于实现炉底板旋开、旋回位置的固定。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术一方面实现了炉底板升降旋开的自动化，另一方面实现炉底板升降、旋开、旋回的位置的控制，避免人工操作的不确定性。附图说明图1为炉底板升降旋开结构的整体结构示意图；图2为炉底板升降旋开结构的工作过程示意图。其中附图标记为：1-支撑座，2-限位传感器，3-限位传感器，4-第一滑套，5-旋转托架，6-回转支撑台，7-第二滑套，8-线性驱动组件，9-导向杆，10-限位传感器，11-炉底板，12-缓冲结构，13-支撑托架，14-限位组件，15-减速装置，16-限位组件，17-电机。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式进行详细表述。一种用于碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，包括支撑座1、旋转托架5、回转支撑台6和导向杆9。支撑座1有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座1间设有平行的支撑柱和导向杆9，支撑柱上设有线性驱动组件8。线性驱动组件8包括电机17、减速装置15和滚珠丝杆。回转支撑台6一端通过第一滑套4和第二滑套7分别与导向杆9和线性驱动组件8相连，另一端与旋转托架5相连，旋转托架5上端面通过缓冲结构12设有炉底板11，炉底板11能在导向杆9的作用下实现升降以及旋转运动。支撑柱上部设有两个限位传感器2、3，底部设有限位传感器10，能发送信号至线性驱动组件8，进而限位炉底板11升降位置。支撑柱设有多个限位组件14、16，用于限位炉底板11旋开角度。限位组件14用于实现炉底板11旋开位置定位，限位组件16用于实现炉底板11旋回位置定位。限位组件14、16上设有自动吸合装置，用于实现炉底板11旋开、旋回位置的固定。限位组件14、16位置能进行调整以满足炉底板11位置定位需求。导向杆9圆周面设有导向槽能够实现炉底板11升降至减速区(限位传感器2、3间的区域)后自动脱开限位组件，炉底板11旋回至接触限位组件16后。炉底板11升降至上限位。本技术的工作过程为：本技术的原理为：如图1、2所示，当电机17开始运转，在电机17驱动线性驱动组件动作，丝杆组件带动回转支撑台6，旋转托架5，支撑托架13和炉底板11进行升降动作，限位传感器2用于上限位信号识别，限位传感器3用于减速信号识别，限位传感器10用于下限位信号识别，炉底板11在识别减速信号后可以进进行旋开状态与旋回状态的切换，其中限位组件14与限位组件16可以对炉底板11限位角度位置实现微调，待调整完毕进行位置固定。最后，需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本技术公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，其特征在于，包括支撑座、旋转托架、回转支撑台和导向杆；支撑座有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座间设有平行的支撑柱和导向杆，支撑柱上设有线性驱动组件；/n所述回转支撑台一端通过第一滑套和第二滑套分别与导向杆和线性驱动组件相连，另一端与旋转托架相连，旋转托架上端面通过缓冲结构设有炉底板，炉底板能在线性驱动组件的作用下实现升降以及旋转运动；/n所述支撑柱上设有多个限位传感器和限位组件，能发送信号至线性驱动组件，进而限位炉底板升降位置，限位组件，用于限位炉底板旋开角度。/n

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，其特征在于，包括支撑座、旋转托架、回转支撑台和导向杆；支撑座有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座间设有平行的支撑柱和导向杆，支撑柱上设有线性驱动组件；
所述回转支撑台一端通过第一滑套和第二滑套分别与导向杆和线性驱动组件相连，另一端与旋转托架相连，旋转托架上端面通过缓冲结构设有炉底板，炉底板能在线性驱动组件的作用下实现升降以及旋转运动；
所述支撑柱上设有多个限位传感器和限位组件，能发送信号至线性驱动组件，进而限位炉底板升降位置，限位组件，用于限位炉底板旋开角度。


2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶钢飞，胡建荣，倪军夫，石明智，阮文星，毛志飞，傅林坚，曹建伟，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33