晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉，底部冷却部件包括：底盘和冷却组件，底盘采用导热金属；冷却组件包括多个水冷管套，多个水冷管套固定在底盘的底端，多个水冷管套自底盘的中部向外依次分布且呈同心排布，每个水冷管套均具有进水口和出水口，多个水冷管套各自独立，每个水冷管套的流量和流速中的至少一个被构造成可调节。由此，调控每组管套的水流量可以有效控制不同区域热量的分布，从而对长晶界面有明显的作用，W型界面也可以通过底部水冷盘的温度分布得到解决；而且使得底部热量分布更加可控，可以实现更多的界面形状，拓宽工艺窗口。此外，还具有结构简单、安装成本低廉、安装方便的优点。

【技术实现步骤摘要】
晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉
本技术涉及晶体生长设备领域，尤其是涉及一种晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉。
技术介绍
类单晶的生长铸锭炉的底部设置一个水冷铜盘，主要作用为带走底部热量，让晶体生长定向凝固。晶体生长界面的控制是非常关键的，目前热场结构采用底部和侧部散热的方式进行底部散热，已有的生长炉的水冷铜盘下面盘踞水管，水管内水流带走底部热量，这是底部水冷铜盘的基本散热结构，水冷铜盘中只有一组进出水管套，整个铜盘的热量分布是固定的，造成最终晶体的生长的高度不一致，而且对工艺控制是一个固定量，在工艺控制中并不能起到一个控制量的作用。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉，该底部冷却部件能够使底部不同区域温度不同，从而时晶体生长高度更一致。根据本技术第一方面实施例的晶体生长炉的底部冷却部件包括：底盘和冷却组件，所述底盘采用导热金属；所述冷却组件包括多个水冷管套，多个所述水冷管套固定在所述底盘的底端，多个所述水冷管套自所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶体生长炉的底部冷却部件，其特征在于，包括：/n底盘，所述底盘采用导热金属；和/n冷却组件，所述冷却组件包括多个水冷管套，多个所述水冷管套固定在所述底盘的底端，多个所述水冷管套自所述底盘的中部向外依次分布且呈同心排布，每个所述水冷管套均具有进水口和出水口，多个水冷管套各自独立，每个所述水冷管套的流量和流速中的至少一个被构造成可调节。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉的底部冷却部件，其特征在于，包括：
底盘，所述底盘采用导热金属；和
冷却组件，所述冷却组件包括多个水冷管套，多个所述水冷管套固定在所述底盘的底端，多个所述水冷管套自所述底盘的中部向外依次分布且呈同心排布，每个所述水冷管套均具有进水口和出水口，多个水冷管套各自独立，每个所述水冷管套的流量和流速中的至少一个被构造成可调节。


2.根据权利要求1所述的晶体生长炉的底部冷却部件，其特征在于，每个所述水冷管套的进水口设有调节阀，所述调节阀用于控制所述水冷管道的流量和/或流速。


3.根据权利要求1所述的晶体生长炉的底部冷却部件，其特征在于，还包括控制阀组，多个所述水冷管套连接到同一个控制阀组。


4.根据权利要求3所述的晶体生长炉的底部冷却部件，其特征在于，所述控制阀组包括主流路以及多个支路，每个所述支路设有与相应水冷管套连接的流量控制阀。


5.根据权利要求1-4中任一项所述的晶体生长炉的底部冷却部件，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王全志，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，包头阿特斯阳光能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32