下载晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉的技术资料

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本实用新型公开了一种晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉,底部冷却部件包括:底盘和冷却组件,底盘采用导热金属;冷却组件包括多个水冷管套,多个水冷管套固定在底盘的底端,多个水冷管套自底盘的中部向外依次分布且呈同心排布,每个水冷管套均具有进水口...
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