【技术实现步骤摘要】
一种方硅芯铸锭炉热场结构
本技术涉及多晶硅
，特别涉及一种方硅芯铸锭炉热场结构。
技术介绍
多晶硅是硅产品产业链中的一个非常重要的中间产品，是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料，是信息产业和新能源产业最基础的原材料。世界多晶硅的生产技术已经逐渐成熟，绝大部分厂家都采用改良西门子法技术，实现了生产过程的闭路循环生产。改良西门子法其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。通常，硅芯的直径在7-10毫米，可以是圆形也可以是方型，或是其他形状，最终通过氢还原反应使直径不断地增大到目标尺寸，生产出高纯太阳能级6N或电子级11N的多晶硅。硅芯铸锭炉生产的长方体硅锭经切割加工成方形硅芯，铸锭型方硅芯其能耗、产能、电阻率均匀性等均较传统的直拉法和区熔法有优势。现有技术热场结构长晶时采用侧部隔热层提升散热的方式，由于隔热层整体长度约4米，提升过程中侧部极易变形鼓起，造成热场温度分布不均匀，铸出的的硅锭品质差、极易开裂等问题。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种方硅芯铸锭炉热场结构，其特征在于，包括：/n炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；/n隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；/n立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；/n热交换台，所述热交换台固定在所述立柱上；/n隔热板，所述隔热板设置在所述隔热层的底部，所述立柱穿过所述隔热板，所述隔热板能够在所述立柱上升降。/n
【技术特征摘要】
1.一种方硅芯铸锭炉热场结构，其特征在于，包括：
炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；
隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；
立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；
热交换台，所述热交换台固定在所述立柱上；
隔热板，所述隔热板设置在所述隔热层的底部，所述立柱穿过所述隔热板，所述隔热板能够在所述立柱上升降。
2.根据权利要求1所述的一种方硅芯铸锭炉热场结构，其中，所述隔热层中设有加热器。
3.根据权利要求1所述的一种方硅芯铸锭炉热场结构，其中，所述隔热板上设有隔热条。
4.根据权利要求1所述的一种方...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐永亮，李振，徐养毅，张国华，
申请(专利权)人：苏州昀丰半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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