温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉热场结构，主要以解决热场温度分布不均匀，生长出的晶体易开裂的问题。包括：炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；热交换台，所述热交换台固定在所述...
该专利属于苏州昀丰半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昀丰半导体装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。