【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用旋转阴极
本技术涉及真空镀膜领域，具体涉及一种真空镀膜用旋转阴极。
技术介绍
众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电，使电解液电解，被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上，因此这种镀膜的条件，基体必须是电的良导体，而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成严重的污染。因此，这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术，通常称为干式镀膜技术。是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。常用的真空镀膜技术，是通过荷能粒子轰击靶材，靶材上逃逸出的粒子附在基板上，...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜用旋转阴极，其特征在于，包括安装座、外接管、内接管和固定座，所述外接管一端与安装座旋转连接，另一端经一靶管与固定座旋转连接，所述内接管一端固定在安装座上，另一端经一芯管与固定座连接，所述内接管位于外接管内，芯管位于靶管内，内接管和芯管导通，内接管和外接管之间留有缝隙，芯管和靶管之间留有缝隙，所述安装座上设置有进水管和出水管，所述进水管连通至内接管，所述出水管连通至外接管，芯管通过通水套安装固定座上，通水套上设置有若干通水孔，芯管的管口与固定座留有缝隙；/n所述安装座上固定有电机，所述电机连接有一个齿轮，所述外接管上对应齿轮的位置设置有一圈齿条，齿轮与齿条啮合...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用旋转阴极，其特征在于，包括安装座、外接管、内接管和固定座，所述外接管一端与安装座旋转连接，另一端经一靶管与固定座旋转连接，所述内接管一端固定在安装座上，另一端经一芯管与固定座连接，所述内接管位于外接管内，芯管位于靶管内，内接管和芯管导通，内接管和外接管之间留有缝隙，芯管和靶管之间留有缝隙，所述安装座上设置有进水管和出水管，所述进水管连通至内接管，所述出水管连通至外接管，芯管通过通水套安装固定座上，通水套上设置有若干通水孔，芯管的管口与固定座留有缝隙；
所述安装座上固定有电机，所述电机连接有一个齿轮，所述外接管上对应齿轮的位置设置有一圈齿条，齿轮与齿条啮合，所述安装座上还设置有电刷，电刷贴合到外接管上，所述芯管上设置有磁钢组件；
所述芯管与靶管之间还设置有螺旋桨，所述螺旋桨包括内环和外环，以及设置在内环和外环之间的螺旋叶，所述内环与芯管...
【专利技术属性】
技术研发人员：李忠，
申请(专利权)人：成都齐荣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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