下载一种真空镀膜用旋转阴极的技术资料

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本实用新型公开了一种真空镀膜用旋转阴极,安装座、外接管、内接管和固定座,所述外接管一端与安装座旋转连接,另一端经一靶管与固定座旋转连接,所述内接管一端固定在安装座上,另一端经一芯管与固定座连接,所述内接管位于外接管内,芯管位于靶管内,内接管...
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