真空镀膜机用高密封观察窗制造技术

本实用新型专利技术公开了真空镀膜机用高密封观察窗，所述观察窗安装在镀膜机的机箱上，包括窗盖、密封玻璃、防污玻璃和防污板，所述机箱上设置有观察口，密封玻璃遮盖观察口，所密封玻璃的中心位置设置有穿孔，所述穿孔中穿入密封座，所述密封座包括密封头，以及密封杆，密封座的外端面上设置有螺纹盲孔，所述螺纹盲孔内螺纹连接有螺套，还包括一转轴，所述转轴从外到内，依次贯穿螺套、密封头、密封杆，连接防污板。本实用新型专利技术具有的优点是在密封玻璃与转轴之间设置密封座，密封座两侧与密封玻璃之间有密封圈，通过螺母保证密封性，而密封座与转轴之间还设置螺套，通过螺套压迫密封座和转轴之间的密封垫，使得密封垫与转轴紧紧贴合，保证了密封性。密封性。密封性。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机用高密封观察窗


[0001]本技术涉及密封领域，具体涉及真空镀膜机用高密封观察窗。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]现有的磁控溅射真空镀膜机，如仅仅设置一密封玻璃，加工过程中，溅射出的镀膜物质会附着在密封玻璃上，在一段时间后，密封玻璃即会变得模糊，需要更换密封玻璃，而因为密封玻璃的成本非常高，所以现有在在密封玻璃内侧设置一个防污挡板，该防污挡板上设置一个观察孔，只有在需要查看时，才选择防污板，将观察孔对准溅射位置，而大部分时间，则将观察孔，远离溅射位置，保证了密封玻璃上很少被镀膜物质附着，这样大大降低密封玻璃更换的频率，减少了成本支出，但是防污板的安装需要在密封玻璃上打孔，穿过转轴连接防污板，这样会设计到密封性，但仅仅在转轴和密封玻璃之间设置一个密封垫，密封效果比较差。

技术实现思路

[0004]本技术的一个目的是解决至少上述问题，并提供至少后面将说明的优点。
[0005]本技术的目的在于提供真空镀膜机用高密封观察窗，为解决现有真空镀膜机上的观察窗的密封效果差的缺陷。
[0006]为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了真空镀膜机用高密封观察窗，所述观察窗安装在镀膜机的机箱上，包括窗盖、密封玻璃、防污玻璃和防污板，所述机箱上设置有观察口，所述密封玻璃通过窗盖固定在观察口的外侧，密封玻璃遮盖观察口，密封玻璃与机箱之间设置有第一密封垫，所密封玻璃的中心位置设置有穿孔，所述穿孔中穿入密封座，所述密封座包括位于密封玻璃外侧的密封头，以及连接密封头，且穿过穿孔的密封杆，所述密封杆从密封玻璃内侧露出部分设置有螺纹，位于密封玻璃内侧的密封杆依次套有第一螺母、防污玻璃和第二螺母，所述第一螺母和第二螺母都与密封杆螺纹连接，所述密封玻璃被密封头和第一螺母夹持在中间，密封头和密封玻璃之间设置有第一密封圈，第一螺母和密封玻璃之间设置有第二密封圈，所述防污玻璃被第一螺母和第二螺母夹持在中间，密封座的外端面上设置有螺纹盲孔，所述螺纹盲孔内螺纹连接有螺套，还包括一转轴，所述转轴从外到内，依次贯穿螺套、密封头、密封杆，连接防污板，所述防污板上设置有观察孔，所述螺套与螺纹盲孔的孔底之间设置有第二密封垫，所述第二密封垫与转轴套接。
[0007]在一个可能的设计中，上述螺套与所述第二密封垫之间设置有第一压环，第一压环也与转轴套接。
[0008]在一个可能的设计中，上述第二密封垫与所述螺纹盲孔的孔底之间还设置有第三密封垫和第二压环，所述第二压环一侧为第二密封垫，另一侧为第三密封垫，第三密封垫和
第二压环也与转轴套接。
[0009]在一个可能的设计中，上述第一螺母与防污玻璃之间设置有第三密封圈，第二螺母与防污玻璃之间设置第四密封圈。
[0010]在一个可能的设计中，上述防污板与转轴通过螺钉固定连接。
[0011]在一个可能的设计中，上述防污板与转轴之间设置有第一压垫。
[0012]在一个可能的设计中，上述螺钉的螺盖与防污板之间设置第二压垫。
[0013]在一个可能的设计中，上述转轴远离防污板的一端连接有旋转把手。
[0014]本技术至少包括以下有益效果：（1）本装置在密封玻璃与转轴之间设置密封座，密封座两侧与密封玻璃之间有密封圈，通过螺母保证密封性，而密封座与转轴之间还设置螺套，通过螺套压迫密封座和转轴之间的密封垫，使得密封垫与转轴紧紧贴合，保证了密封性；
[0015]（2）螺套与密封垫之间设置了压环，避免了螺套旋转时，使得密封垫形成扭曲，破坏密封垫的密封性能。
[0016]本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
[0017]图1 为本技术的剖视图；
[0018]图2 为密封玻璃、防污玻璃和防污板的位置关系图；
[0019]图3 为安装座、螺套、转轴的拆分示意图。
具体实施方式
[0020]下面结合附图及具体实施例来对本技术作进一步阐述。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明虽然是用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。本文公开的特定结构和功能细节仅用于描述本技术的示例实施例。然而，可用很多备选的形式来体现本技术，并且不应当理解为本技术限制在本文阐述的实施例中。
[0021]需要说明的是，下述实施方案中所述实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，所述试剂和材料，如无特殊说明，均可从商业途径获得；在本技术的描述中，术语“横向”、“纵向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]如图1~3，真空镀膜机用高密封观察窗，所述观察窗安装在镀膜机的机箱100上，包括窗盖200、密封玻璃300、防污玻璃400和防污板500，所述机箱100上设置有观察口101，所述密封玻璃300通过窗盖200固定在观察口101的外侧，密封玻璃300遮盖观察口101，密封玻璃300与机箱100之间设置有第一密封垫301，所密封玻璃300的中心位置设置有穿孔302，所述穿孔302中穿入密封座600，所述密封座600包括位于密封玻璃300外侧的密封头601，以及连接密封头601，且穿过穿孔302的密封杆602，所述密封杆602从密封玻璃300内侧露出部分
设置有螺纹，位于密封玻璃300内侧的密封杆602依次套有第一螺母603、防污玻璃400和第二螺母604，所述第一螺母603和第二螺母604都与密封杆602螺纹连接，所述密封玻璃300被密封头601和第一螺母603夹持在中间，密封头601和密封玻璃300之间设置有第一密封圈605，第一螺母603和密封玻璃300之间设置有第二密封圈606，所述防污玻璃400被第一螺母603和第二螺母604夹持在中间，密封座600的外端面上设置有螺纹盲孔607，所述螺纹盲孔607内螺纹连接有螺套700，还包括一转轴800，所述转轴800从外到内，依次贯穿螺套700、密封头601、密封杆602，连接防污板500，所述防污板500上设置有观察孔501，所述螺套700与螺纹盲孔607的孔底之间设置有第二密封垫701，所述第二密封垫701与转轴800套接。
[0023]本观察窗是安装在真空镀膜机中的镀膜室，用于观看镀膜进度所用，所以观察窗的窗口必然有部分对准溅射区域，所以为防止溅射出的镀膜材料附着在密封玻璃300上，设置了防污板500和防污玻璃400，安装位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空镀膜机用高密封观察窗，其特征在于，所述观察窗安装在镀膜机的机箱上，包括窗盖、密封玻璃、防污玻璃和防污板，所述机箱上设置有观察口，所述密封玻璃通过窗盖固定在观察口的外侧，密封玻璃遮盖观察口，密封玻璃与机箱之间设置有第一密封垫，所密封玻璃的中心位置设置有穿孔，所述穿孔中穿入密封座，所述密封座包括位于密封玻璃外侧的密封头，以及连接密封头，且穿过穿孔的密封杆，所述密封杆从密封玻璃内侧露出部分设置有螺纹，位于密封玻璃内侧的密封杆依次套有第一螺母、防污玻璃和第二螺母，所述第一螺母和第二螺母都与密封杆螺纹连接，所述密封玻璃被密封头和第一螺母夹持在中间，密封头和密封玻璃之间设置有第一密封圈，第一螺母和密封玻璃之间设置有第二密封圈，所述防污玻璃被第一螺母和第二螺母夹持在中间，密封座的外端面上设置有螺纹盲孔，所述螺纹盲孔内螺纹连接有螺套，还包括一转轴，所述转轴从外到内，依次贯穿螺套、密封头、密封杆，连接防污板，所述防污板上设置有观察孔，所述螺套与螺纹盲孔的孔底之间设置有第二密封垫，所述第二密封垫与...

【专利技术属性】
技术研发人员：李忠，
申请(专利权)人：成都齐荣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：