本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜用在线外观检测装置，包括真空检测箱，所述的真空检测箱内设有用于传输被镀膜工件的内传动组件和用于为检测提供光照的线性光源组件，所述的真空检测箱上设有观察窗组件，所述的观察窗组件上方设有工业相机组件，所述的工业相机组件包括工业相机和用于调节工业相机与被镀膜工件检测表面距离的调节件。本实用新型专利技术提供的真空镀膜用在线外观检测装置，可根据被镀膜工件的形状特征调节工业相机和被镀膜工件检测表面的距离，适用范围广，实用性强；同时，在镀膜过程中可以实时根据镀膜需求及时调整工业相机与被镀膜工件检测表面距离，及时发现镀膜缺陷并及时修正，避免因不能实时发现镀膜缺陷造成多次返工。多次返工。多次返工。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用在线外观检测装置
[0001]本技术涉及镀膜检测
，具体是一种真空镀膜用在线外观检测装置。
技术介绍
[0002]随着真空镀膜的技术改进和广泛应用，镀膜需求日益增长，但对于一些异形特种工件，因其结构原因，在镀膜过程中一些凹凸错落的位置容易出现镀膜表面不均匀或者镀膜厚度过薄或者过厚的情况，由于目前的工业相机一般为定焦镜头，在对被镀膜工件进行外观检测时，工业相机难以根据工件表面的形状调节相机焦距，导致工件表面的缺陷难以被及时检测，生产过程需要多次返工，不仅耗费大量的人力物力，而且延长镀膜所需要的时间，降低生产效率；特别是对于一些厚度要求厚、镀膜时间长的镀膜工件，如果不能在生产时就发现镀膜缺陷问题，容易造成巨大的经济损失。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种真空镀膜用在线外观检测装置，解决镀膜过程中因不能对镀膜工件进行有效的实时的外观检测造成多次返工而使生产效率低的问题。
[0004]为解决上述问题，本技术提供技术方案如下：
[0005]一种真空镀膜用在线外观检测装置，包括真空检测箱，所述的真空检测箱内设有用于传输被镀膜工件的内传动组件和用于为检测提供光照的线性光源组件，所述的真空检测箱上设有观察窗组件，所述的观察窗组件上方设有工业相机组件，所述的工业相机组件包括工业相机和用于调节工业相机与被镀膜工件检测表面距离的调节件。
[0006]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的工业相机组件包括与调节件固定连接的工业相机架，所述的工业相机架上设有便于工业相机上下移动的导轨。
[0007]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的工业相机架上设有多个工业相机，每个所述的工业相机均设有独立调节的调节件。
[0008]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的调节件为滚珠丝杠副，所述的调节件上设有控制所述调节件的驱动电机和伺服控制器。
[0009]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的观察窗组件包括与真空检测箱贯通的观察口和内嵌于观察口开口端的钢化玻璃。
[0010]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的钢化玻璃和观察口连接处设有密封圈。
[0011]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的线性光源组件包括线性光源和与线性光源固定连接且可带动线性光源沿轴向转动的转轴，所述的线性光源内设有供线性光源降温散热的水冷管。
[0012]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的水冷管两端从线性光源的同一侧伸出并进入所述的转轴与外界连通，所述的真空检测箱外设有与转轴固定连接且可供水冷管两端进出的旋转接头，所述的转轴与真空检测箱连接处采用磁流体密封。
[0013]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的真空检测箱外设有可带动所述的转轴旋转的调节电机。
[0014]如上所述的真空镀膜用在线外观检测装置，所述的内传动组件包括多个传动轴，所述的传动轴均匀排布在所述的真空检测箱的两侧。
[0015]与现有技术相比，本技术有以下优点：
[0016]本技术提供的真空镀膜用在线外观检测装置，工业相机组件采用调节件，可根据被镀膜工件的形状特征调节工业相机和被镀膜工件检测表面的距离，不仅能适应异形特种工件表面各检测位置的外观检测，还可适应因翻面镀膜造成靶基距变化的大平板工件的外观检测，适用范围广，实用性强；同时，在镀膜过程中检测人员可以实时根据镀膜需求及时调整工业相机与被镀膜工件检测表面距离，能及时发现镀膜缺陷并及时修正，避免因不能实时发现镀膜缺陷造成多次返工，特别是对于镀膜时间长，膜层厚且价格昂贵的工件可以避免产生巨大的经济损失。
【附图说明】
[0017]图1为本技术实施例的立体图。
[0018]图2为本技术实施例的立体图。
[0019]图3为本技术实施例的工业相机组件结构示意图。
[0020]图4为本技术实施例的观察窗组件结构示意图。
[0021]图5为图4中A-A的截面示意图。
[0022]图6为本技术实施例的线性光源组件结构示意图。
[0023]图7为本技术实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。
[0025]请参阅附图1至附图7，本实施例提供一种真空镀膜用在线外观检测装置。
[0026]本实施例包括真空检测箱1，所述的真空检测箱1内设有用于传输被镀膜工件6的内传动组件2和用于为检测提供光照的线性光源组件3，所述的真空检测箱1上设有观察窗组件4，所述的观察窗组件4上方设有工业相机组件5，所述的工业相机组件5包括工业相机51和用于调节工业相机51与被镀膜工件检测表面距离的调节件52。本技术提供的真空镀膜用在线外观检测装置，工业相机组件5采用调节件52，可根据被镀膜工件的形状特征调节工业相机51和被镀膜工件6检测表面的距离，不仅能适应异形特种工件表面各检测位置的外观检测，还可适应因翻面镀膜造成靶基距变化的大平板工件的外观检测，适用范围广，实用性强；同时，在镀膜过程中检测人员可以实时根据镀膜需求及时调整工业相机51与被镀膜工件6检测表面距离，能及时发现镀膜缺陷并及时修正，避免因不能实时发现镀膜缺陷造成多次返工，特别是对于镀膜时间长，膜层厚且价格昂贵的工件可以避免产生巨大的经济损失。
[0027]进一步地，所述的工业相机组件5包括与调节件52固定连接的工业相机架55，所述的工业相机架55上设有便于工业相机51上下移动的导轨56。本实施例中工业相机51与调节件52连接后安装在工业相机架55上，导轨56设于调节件52的两侧，当调节件52带动工业相机51上下移动时，两侧的导轨56使工业相机51的移动更加平稳和顺畅。
[0028]进一步地，所述的工业相机架55上设有多个工业相机51，每个所述的工业相机51均设有独立调节的调节件52。多个工业相机51配合共同检测，在检测时可对多个相机所拍摄的图像进行后期拼接处理，以获取被镀膜工件6的整体镀膜情况，使外观检测结果能更真实可靠，同时每个工业相机51均配有独立调节的调节件52，在使用时可以满足被镀膜工件6不同检测位置的检测要求，自适用于异形工件。
[0029]进一步地，所述的调节件52为滚珠丝杠副，所述的调节件52上设有控制所述调节件52的驱动电机53和伺服控制器54。本实施例采用滚珠丝杠副对工业相机51进行调节，结合驱动电机53和伺服控制器54，使调节更加精准和便捷，图像更加清晰，检测更加高效。
[0030]进一步地，所述的观察窗组件4包括与真空检测箱1贯通的观察口11和内嵌于观察口11开口端的钢化本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用在线外观检测装置，包括真空检测箱(1)，其特征在于：所述的真空检测箱(1)内设有用于传输被镀膜工件的内传动组件(2)和用于为检测提供光照的线性光源组件(3)，所述的真空检测箱(1)上设有观察窗组件(4)，所述的观察窗组件(4)上方设有工业相机组件(5)，所述的工业相机组件(5)包括工业相机(51)和用于调节工业相机(51)与被镀膜工件检测表面距离的调节件(52)。2.根据权利要求1所述的真空镀膜用在线外观检测装置，其特征在于：所述的工业相机组件(5)包括与调节件(52)固定连接的工业相机架(55)，所述的工业相机架(55)上设有便于工业相机(51)上下移动的导轨(56)。3.根据权利要求2所述的真空镀膜用在线外观检测装置，其特征在于：所述的工业相机架(55)上设有多个工业相机(51)，每个所述的工业相机(51)均设有独立调节的调节件(52)。4.根据权利要求1-3任一项所述的真空镀膜用在线外观检测装置，其特征在于：所述的调节件(52)为滚珠丝杠副，所述的调节件(52)上设有控制所述调节件(52)的驱动电机(53)和伺服控制器(54)。5.根据权利要求1所述的真空镀膜用在线外观检测装置，其特征在于：所述的观察窗组件(4)包括与真空检测箱(1)贯通的观察...
【专利技术属性】
技术研发人员：李仕军，
申请(专利权)人：广东生波尔光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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