应用于镀膜设备中的挡板机构及镀膜设备制造技术

本技术涉及镀膜的技术领域，具体涉及应用于镀膜设备中的挡板机构及具有该机构的镀膜设备。包括驱动组件以及挡板，所述驱动组件连接在机架外且驱动端伸入至真空腔内，所述挡板连接在驱动端上且位于机架的观察窗一侧，其所述挡板上端面与观察窗内侧面间隔设置，利用挡板阻挡在观察窗的下侧以阻挡真空镀膜所产生的镀膜材料分子或原子、以及其它杂质等游离物会附着于观察窗上，从而可有效维持观察窗的洁净，减少了更换或清洗观察片的频率，提高了生产效率，而且需要观察时只需通过驱动组件将挡板转动一定角度即可，结构设计比较简单，使用过程以及维护检修也十分方便，从而大大提高了观察窗结构的运行率和可操作性，并还具有成本低等优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜的，具体涉及应用于镀膜设备中的挡板机构及具有该机构的镀膜设备。

技术介绍

1、目前在真空镀膜设备中，通常设有真空腔体以及与真空腔体连通的观察窗。这样，真空设备的操作人员就能透过该观察窗很方便地观察到真空腔体内的镀膜状况以及其它现象，以便随时调整镀膜的工艺参数。然而，在实际的生产过程中，真空镀膜所产生的镀膜材料分子或原子、以及其它杂质等游离物会附着于观察窗上，使得观察窗的视野清晰度降低，从而使得操作人员无法清楚地观察到真空腔体内的生产状况，相对造成产品的品质良率难以确定。

技术实现思路

1、本技术在于提供应用于镀膜设备中的挡板机构，其利用挡板阻挡在观察窗的下侧，从而可有效维持观察窗的洁净，减少了更换或清洗观察片的频率。

2、为解决上述问题，本技术提供技术方案如下：

3、应用于镀膜设备中的挡板机构，包括驱动组件以及挡板，所述驱动组件连接在机架外且驱动端伸入至真空腔内，所述挡板连接在驱动端上且位于机架的观察窗一侧，其所述挡板上端面与观察窗内侧面间隔设置，所述驱动组件用于带动所述挡板转动以转动至与观察窗相对的阻挡姿态或与观察窗错开的开启位置。

4、如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，所述驱动组件包括安装套、驱动件以及转轴，所述安装套用于与机架固定安装，所述转轴连接在所述驱动件的输出端上，且所述转轴穿过所述安装套伸入至真空腔内与所述挡板连接。

5、如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，所述安装套上设有供所述转轴穿过的安装通道，所述转轴与所述安装通道内壁之间还设有转动密封件。

6、如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，所述转动密封件包括多个间隔排列的轴承以及多个设置在多个轴承之间的密封圈。

7、如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，所述安装套包括安装座和底座，所述底座可拆卸连接在所述安装座的底部。

8、如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，所述转轴的下端部为定位安装部，所述定位安装部的两侧为平直段，所述挡板上设有与所述定位安装部形状配合的安装孔。

9、如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，所述驱动件与转轴之间还设有变速组件。

10、如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，所述驱动件为气缸。

11、如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，所述挡板采用不锈钢材料制成，且表面进过喷砂处理。

12、本技术还提供了一种镀膜设备，包括镀膜箱体，所述镀膜箱体上设有观察窗，且所述观察窗一侧设有如上所述的应用于镀膜设备中的挡板机构。

13、与现有技术相比，本技术具有以下优点：

14、本技术通过在真空腔内设置挡板，利用挡板阻挡在观察窗的下侧以阻挡真空镀膜所产生的镀膜材料分子或原子、以及其它杂质等游离物会附着于观察窗上，从而可有效维持观察窗的洁净，减少了更换或清洗观察片的频率，提高了生产效率，而且需要观察时只需通过驱动组件将挡板转动一定角度即可，结构设计比较简单，使用过程以及维护检修也十分方便，从而大大提高了观察窗结构的运行率和可操作性，并还具有成本低等优点。

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【技术保护点】

1.应用于镀膜设备中的挡板机构，包括驱动组件(1)以及挡板(2)，其特征在于，所述驱动组件(1)连接在机架(91)外且驱动端伸入至真空腔(92)内，所述挡板(2)连接在驱动端上且位于机架(91)的观察窗(93)一侧，其所述挡板(2)上端面与观察窗(93)内侧面间隔设置，所述驱动组件(1)用于带动所述挡板(2)转动以转动至与观察窗(93)相对的阻挡姿态或与观察窗(93)错开的开启位置；

2.根据权利要求1所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，其特征在于，所述安装套(11)上设有供所述转轴(13)穿过的安装通道(111)，所述转轴(13)与所述安装通道(111)内壁之间还设有转动密封件。

3.根据权利要求2所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，其特征在于，所述转动密封件包括多个间隔排列的轴承(31)以及多个设置在多个轴承(31)之间的密封圈(32)。

4.根据权利要求1所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，其特征在于，所述安装套(11)包括安装座(112)和底座(113)，所述底座(113)可拆卸连接在所述安装座(112)的底部。

5.根据权利要求1所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，其特征在于，所述驱动件(12)与转轴(13)之间还设有变速组件(14)。

6.根据权利要求1所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，其特征在于，所述驱动件(12)为气缸。

7.根据权利要求1所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，其特征在于，所述挡板(2)采用不锈钢材料制成，且表面进过喷砂处理。

8.一种镀膜设备，其特征在于，包括镀膜箱体，所述镀膜箱体上设有观察窗(93)，且所述观察窗(93)一侧设有如权利要求1-7中任一项所述的应用于镀膜设备中的挡板机构。

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【技术特征摘要】

1.应用于镀膜设备中的挡板机构，包括驱动组件(1)以及挡板(2)，其特征在于，所述驱动组件(1)连接在机架(91)外且驱动端伸入至真空腔(92)内，所述挡板(2)连接在驱动端上且位于机架(91)的观察窗(93)一侧，其所述挡板(2)上端面与观察窗(93)内侧面间隔设置，所述驱动组件(1)用于带动所述挡板(2)转动以转动至与观察窗(93)相对的阻挡姿态或与观察窗(93)错开的开启位置；

2.根据权利要求1所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，其特征在于，所述安装套(11)上设有供所述转轴(13)穿过的安装通道(111)，所述转轴(13)与所述安装通道(111)内壁之间还设有转动密封件。

3.根据权利要求2所述的应用于镀膜设备中的挡板机构，其特征在于，所述转动密封件包括多个间隔排列的轴承(31)以及多个设置在多个轴承(31)之间的密...

【专利技术属性】
技术研发人员：李培东，
申请(专利权)人：广东生波尔光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：