本技术涉及镀膜的技术领域，具体涉及应用于镀膜设备中的挡板机构及具有该机构的镀膜设备。包括驱动组件以及挡板，所述驱动组件连接在机架外且驱动端伸入至真空腔内，所述挡板连接在驱动端上且位于机架的观察窗一侧，其所述挡板上端面与观察窗内侧面间隔设...

本申请提供一种新型防污挡板机构，包括离子源，设于所述离子源上的驱动机构以及设于所述离子源上侧的挡板组件，所述挡板组件通过连接轴与所述驱动机构传动连接，所述驱动机构可驱动所述连接轴带动所述挡板组件旋转，以相对所述离子源呈展开状态和闭合状态...

本申请提供一种平面阴极用新型防污机构，通过将溅射阴极的挡板组件与内置的阴极集成在一起，挡板组件结构简单，两者占用空间较小，大大提高空间利用，这种结构挡板可以跟随溅射阴极一起移动，有利于采用磁控溅射方式在异形产品上制备膜层时，溅射阴极可以...

本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，包括箱体及门阀机构，箱体包括进料仓、真空箱及设于所述真空箱上供工件进出的进料口，密封进料组件能密封进料口，使得进料仓的内部与真空箱内部能相互独立，进料仓能独立破空，有助于缩短破空时间，提...

本实用新型提供一种真空镀膜生产线用平移架，包括底架组件和可移动地设于底架组件上的平移框组件，底架组件与平移框组件之间设有用于驱动平移框组件沿X轴方向运动的第一驱动装置，平移框组件上设有用于对基片架小车进行定位和导向的定位导向组件，平移框...

本实用新型提供一种用于连续式镀膜生产线的单体双室型真空箱体，包括前侧板组件、后侧板组件、顶板组件、底板组件、左侧板组件和右侧板组件，顶板组件、底板组件、左侧板组件和右侧板组件之间设有隔板组件，前侧板组件、顶板组件、底板组件、左侧板组件、...

本实用新型提供一种前倾斜式镀膜生产线的基片装夹装置，包括设于基片架四周的固定边框、设于所述固定边框上的定位块和合页式弹性夹具，所述合页式弹性夹具包括与基片架固定连接的固定块、与所述固定块转动连接的活动块和设于活动块与所述固定块之间且用于...

本实用新型属于自动化镀膜的技术领域，尤其涉及一种可调靶基距的基片装夹装置。包括基片架框架，所述基片架框架上设有多个可用于安装垫片的安装位，通过安装不同高度的垫片可调节基片镀膜表面与靶材表面之间的靶基距使异型基片正面镀膜时的靶基距与反面镀...

本实用新型属于自动化镀膜的技术领域，尤其涉及应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构。包括机架平台、行走平台、升降架以及多工位传动平台，所述多工位传动平台上有多个可容置基片架的暂存区，所述行走平台可带动所述多工位传动平台在机架平台上行走...

本实用新型实施例公开了一种特种工件镀膜控制系统，至少包括：主控制单元；90°翻转输送驱动单元，驱动90°翻转装置对工件进行90°翻转；自动抓取移载驱动单元，驱动自动抓取移载装置移动至缓冲传送工位抓取工件；180°翻转驱动单元，对移载至其...

本实用新型实施例公开了一种特种工件真空镀膜控制系统，至少包括：第二控制单元；翻板阀启闭驱动单元，驱动翻板阀向上或向下翻转；传送驱动单元，驱动传送机构运转，以传送工件；第一泵组驱动单元，驱动第一泵组启动；第一插板阀启闭驱动单元，驱动第一插...

本实用新型实施例公开了一种特种工件辅助镀膜的自动控制生产线，至少包括由前向后延伸的下平台及设于下平台上的四工位平移升降装置；在第一反向接料状态，四工位平移升降装置沿下平台向前移动至与真空镀膜设备相对的位置，上层传动平台先后反向传动，以反...

本实用新型实施例公开了一种特种工件镀膜设备，包括工件输送及初处理配合线、自动控制生产线以及真空镀膜生产线；真空镀膜生产线包括真空镀膜设备，该真空镀膜设备设有工艺室和静放室；工件输送及初处理配合线，用于在工件上料后，将工件翻转并送入自动控...

本实用新型实施例公开了一种特种工件辅助镀膜的自动控制系统，用于控制四工位平移升降装置；自动控制系统至少包括：第一控制单元；工作状态接收单元，与第一控制单元电连接，用于接收工作状态信号，并发送至第一控制单元；行走驱动单元，在第一控制单元的...

本实用新型涉及检修维护镀膜线设备的技术领域，尤其涉及一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构。包括维修架底架，所述维修架底架上设有翻转架框架，所述翻转架框架上设有定位并固定带有圆柱靶的靶门的定位结构，所述翻转架框架两端设有用于转动...

本实用新型公开了一种大尺寸工件转运及装箱用翻转机构，包括翻转组件，所述的翻转组件包括水平放置的第一底架和与第一底架的一端垂直且固定连接的第二底架，所述的第一底架上设有与第一底架铰接且可带动大尺寸工件翻转变换卧立状态的翻转架，所述的第二底...

本实用新型公开了一种真空镀膜用在线外观检测装置，包括真空检测箱，所述的真空检测箱内设有用于传输被镀膜工件的内传动组件和用于为检测提供光照的线性光源组件，所述的真空检测箱上设有观察窗组件，所述的观察窗组件上方设有工业相机组件，所述的工业相...

本实用新型属于自动化镀膜的技术领域，尤其涉及一种可实现多规格产品的180

本实用新型涉及真空镀膜基板温度冷却的技术领域，尤其涉及一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置。包括设于镀膜箱体内的冷却水管安装底板、与冷却水管安装底板拼装的防污板以及设于所述冷却水管安装底板与防污板之间输送冷却水的冷却水管，其特征在于：...

本实用新型属于自动化镀膜的技术领域，尤其涉及一种特种工件自动抓取移载机构。包括移载平台、设于所述移载平台上的抓取组件以及设于移载平台上用于带动所述抓取组件上下升降的升降组件，所述抓取组件包括两相对设置的机械夹爪组件、用于调节两机械夹爪组...